Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства

Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства

Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако заметна тенденция к повышению тв...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2007
Автори: Андреев, А.А., Шулаев, В.М., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98832
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-98832
record_format dspace
spelling irk-123456789-988322016-04-19T03:02:09Z Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим, несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует. Досліджено залежність твердості надтвердих вакуумно-дугових TіN покриттів від тиску азоту в процесі осадження в діапазоні 0,02 ÷ 1 Па. Показано, що на відміну від звичайних вакуумно-дугових TіN покриттів явно вираженої залежності від тиску немає, однак помітна тенденція до підвищення твердостіз його збільшенням. Кількість краплинної фази в покриттях, осаджених при низькому тиску азоту (0,02 Па), залишається відносно великим, незважаючи на наявність високовольтних імпульсів на подкладинці в процесі осадження. У покриттях, осаджених при тиску 0,66 Па й більше, краплинна фаза відсутня. The hardness of superhard vacuum-arc TiN coatings has been investigated versus nitrogen pressure during deposition in the pressure range from 0,02 to 1 Pa. It has been demonstrated that unlike usual vacuum-arc TiN coatings, the superhard coatings show no pronounced dependence on pressure, though there is a noticeable tendency for hardness to increase with pressure. The quantity of drop phase in the coatings deposited at a low nitrogen pressure (0,02 Pa) remains relatively great despite the presence of high-voltage pulses on the substrate during deposition. In the coatings deposited at a pressure of 0,66 Pa and higher, the drop phase is absent. 2007 Article Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98832 621.793.7 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим, несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует.
format Article
author Андреев, А.А.
Шулаев, В.М.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
spellingShingle Андреев, А.А.
Шулаев, В.М.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
Физическая инженерия поверхности
author_facet Андреев, А.А.
Шулаев, В.М.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
author_sort Андреев, А.А.
title Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
title_short Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
title_full Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
title_fullStr Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
title_full_unstemmed Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
title_sort влияние давления азота при осаждении сверхтвердых tin покрытий на их свойства
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2007
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98832
citation_txt Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT andreevaa vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytijnaihsvojstva
AT šulaevvm vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytijnaihsvojstva
AT gorbanʹvf vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytijnaihsvojstva
AT stolbovojva vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytijnaihsvojstva
first_indexed 2023-10-18T20:00:37Z
last_indexed 2023-10-18T20:00:37Z
_version_ 1796148512617922560

Схожі ресурси