Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда
Экспериментально исследованы микроструктура и морфология границ зерен поликристаллического кремния полученного разными способами. Поверхность зерен размером 100 – 300 мкм изобилует выступами и микропустотами размером ∼ 10 мкм. На межзеренных границах имеются скопления примесей, определяющие совмес...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98848 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда / Б.М. Абдурахманов, Л.О. Олимов, Ф. Абдуразаков // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 72–76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-98848 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-988482016-04-19T03:02:21Z Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда Абдурахманов, Б.М. Олимов, Л.О. Абдуразаков, Ф. Экспериментально исследованы микроструктура и морфология границ зерен поликристаллического кремния полученного разными способами. Поверхность зерен размером 100 – 300 мкм изобилует выступами и микропустотами размером ∼ 10 мкм. На межзеренных границах имеются скопления примесей, определяющие совместно с зарядовыми состояниями ход температурной зависимости удельного сопротивления поликристаллического кремния. Експериментально досліджена мікроструктура та морфологія границь зерен полікристалічного кремнію отриманого різними способами. Поверхня зерен розміром 100 – 300 мкм покрита численними виступами та мікропорожнечами розміром ∼ 10 мкм. На міжзерених границях присутні скупчення домішок, що визначають разом із зарядовими станами хід температурної залежності питомого опору полікристалічного кремнію. Experimentally studied the microstructure and morphology of grain boundaries of polycrystalline silicon obtained by different methods. The surface of the grain size of 100 – 300 microns is replete with bumps and micro-sized voids? ∼ 10 microns. In between the grain boundaries are accumulations of impurities that determine the charge states with the temperature dependence of resistivity of polycrystalline silicon. 2010 Article Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда / Б.М. Абдурахманов, Л.О. Олимов, Ф. Абдуразаков // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 72–76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1999-8074 PACS: 61.82.Fk; 61.72.Mm; 73.61.-r; 73.63.-b; 68.55.Ln; 61.72.-y; 61.72.Ff; 61.72.Hh; 61.72.Qq; 61.72.S-; 61.72.sd; 61.72.sh; 64.75.Qr; 64.75.St; 68.37.-d; 73.90.+f. http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98848 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Экспериментально исследованы микроструктура и морфология границ зерен поликристаллического кремния полученного разными способами. Поверхность зерен размером 100 –
300 мкм изобилует выступами и микропустотами размером ∼ 10 мкм. На межзеренных границах
имеются скопления примесей, определяющие совместно с зарядовыми состояниями ход температурной зависимости удельного сопротивления поликристаллического кремния. |
| format |
Article |
| author |
Абдурахманов, Б.М. Олимов, Л.О. Абдуразаков, Ф. |
| spellingShingle |
Абдурахманов, Б.М. Олимов, Л.О. Абдуразаков, Ф. Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Абдурахманов, Б.М. Олимов, Л.О. Абдуразаков, Ф. |
| author_sort |
Абдурахманов, Б.М. |
| title |
Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_short |
Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_full |
Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_fullStr |
Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_full_unstemmed |
Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_sort |
микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2010 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98848 |
| citation_txt |
Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда / Б.М. Абдурахманов, Л.О. Олимов, Ф. Абдуразаков // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 72–76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT abdurahmanovbm mikrostrukturamežzerennyhgranicvpolikristalličeskomkremniiieevliânienaperenosnositelejzarâda AT olimovlo mikrostrukturamežzerennyhgranicvpolikristalličeskomkremniiieevliânienaperenosnositelejzarâda AT abdurazakovf mikrostrukturamežzerennyhgranicvpolikristalličeskomkremniiieevliânienaperenosnositelejzarâda |
| first_indexed |
2023-10-18T20:00:39Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:00:39Z |
| _version_ |
1796148514321858560 |