Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок

Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок

В работе на примере измерения параметров ультратонких (3 – 5 нм) TiNx пленок показана возможность использования рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины и сплошности пленок наноразмерной толщины. Пленки TiNx были получены на кремнии методом слаботочного ионно-лучевого рас...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Дата:2010
Автори: Стервоедов, А.Н., Береснев, В.М., Сергеева, Н.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98851
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок / А.Н. Стервоедов, В.М. Береснев, Н.В. Сергеева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 88–92. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-98851
record_format dspace
spelling irk-123456789-988512016-04-19T03:02:23Z Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок Стервоедов, А.Н. Береснев, В.М. Сергеева, Н.В. В работе на примере измерения параметров ультратонких (3 – 5 нм) TiNx пленок показана возможность использования рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины и сплошности пленок наноразмерной толщины. Пленки TiNx были получены на кремнии методом слаботочного ионно-лучевого распыления титановой мишени в атмосфере азота. Показаны преимущества метода РФЭС по сравнению с другими распространенными методами исследования поверхности твердого тела, описана методика измерения толщины ультратонких пленок. У роботі на прикладі вимірювання параметрів ультратонких (3 – 5 нм) TiNx плівок показана можливість використання рентгенівської фотоелектронної спектроскопії для визначення товщини і суцільності плівок нанорозмірної товщини. Плівки TiNx були отримані на кремнії методом слаботочного іонно-променевого розпилення титанової мішені в атмосфері азоту. Показано переваги методу РФЕС в порівнянні з іншими поширеними методами дослідження поверхні твердого тіла, описана методика вимірювання товщини ультратонких плівок. In the current paper, the example of measuring the parameters of ultrathin (3 – 5 nm) TiNx films demonstrates the possibility of using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) for determination the thickness and continuity of the films of nanoscale thickness. TiNx films were obtained on silicon by the low-current ion-beam sputtering of titanium target in a nitrogen atmosphere. The advantages of XPS method in comparison with other common methods of solid surface analysis are shown. The method of measuring the thickness of ultrathin films by XPS was described in details. 2010 Article Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок / А.Н. Стервоедов, В.М. Береснев, Н.В. Сергеева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 88–92. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98851 539.121.8.04; 669.14.046 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description В работе на примере измерения параметров ультратонких (3 – 5 нм) TiNx пленок показана возможность использования рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины и сплошности пленок наноразмерной толщины. Пленки TiNx были получены на кремнии методом слаботочного ионно-лучевого распыления титановой мишени в атмосфере азота. Показаны преимущества метода РФЭС по сравнению с другими распространенными методами исследования поверхности твердого тела, описана методика измерения толщины ультратонких пленок.
format Article
author Стервоедов, А.Н.
Береснев, В.М.
Сергеева, Н.В.
spellingShingle Стервоедов, А.Н.
Береснев, В.М.
Сергеева, Н.В.
Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок
Физическая инженерия поверхности
author_facet Стервоедов, А.Н.
Береснев, В.М.
Сергеева, Н.В.
author_sort Стервоедов, А.Н.
title Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок
title_short Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок
title_full Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок
title_fullStr Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок
title_full_unstemmed Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок
title_sort особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2010
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98851
citation_txt Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок / А.Н. Стервоедов, В.М. Береснев, Н.В. Сергеева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 88–92. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT stervoedovan osobennostiprimeneniârentgenovskojfotoélektronnojspektroskopiidlâopredeleniâtolŝinyulʹtratonkihplenok
AT beresnevvm osobennostiprimeneniârentgenovskojfotoélektronnojspektroskopiidlâopredeleniâtolŝinyulʹtratonkihplenok
AT sergeevanv osobennostiprimeneniârentgenovskojfotoélektronnojspektroskopiidlâopredeleniâtolŝinyulʹtratonkihplenok
first_indexed 2023-10-18T20:00:40Z
last_indexed 2023-10-18T20:00:40Z
_version_ 1796148514641674240

Схожі ресурси