Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок
В работе на примере измерения параметров ультратонких (3 – 5 нм) TiNx пленок показана возможность использования рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины и сплошности пленок наноразмерной толщины. Пленки TiNx были получены на кремнии методом слаботочного ионно-лучевого рас...
Збережено в:
Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
---|---|
Дата: | 2010 |
Автори: | , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98851 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок / А.Н. Стервоедов, В.М. Береснев, Н.В. Сергеева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 88–92. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineБудьте першим, хто залишить коментар!