Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы

• Дата: 2010
• Автори: Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Соболь, О.В., Грудницкий, В.В., Турбин, П.В., Колесников, Д.А., Толмачева, Г.Н.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
• Назва видання: Физическая инженерия поверхности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98870
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области 60 ÷70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N формируется наноструктурная фаза µ-TiN с квазиаморфными фазами α-Si₃N₄ и HfSi₂ -nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 ± 7 ГПа.