Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы

Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы

Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты (Zr, Ti)N твердого раствора на основе...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2010
Автори: Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Соболь, О.В., Грудницкий, В.В., Турбин, П.В., Колесников, Д.А., Толмачева, Г.Н.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98870
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-98870
record_format dspace
spelling irk-123456789-988702016-04-19T03:02:29Z Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Грудницкий, В.В. Турбин, П.В. Колесников, Д.А. Толмачева, Г.Н. Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области 60 ÷70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N формируется наноструктурная фаза µ-TiN с квазиаморфными фазами α-Si₃N₄ и HfSi₂ -nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 ± 7 ГПа. Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних параметрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 ÷ 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза ε-TiN з квазіаморфнимі фазами α-Si₃N₄ і HfSi₂-nc. Максимальне значення твердості становить Н = 42,7 ± ГПа. The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is insignificant and is in the range 60 ÷ 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed ε-TiN phase with quasi α-Si₃N₄ and HfSi₂-nc. The maximum hardness is H = 42,7 ± 7 GPa. 2010 Article Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98870 621.793 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области 60 ÷70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N формируется наноструктурная фаза µ-TiN с квазиаморфными фазами α-Si₃N₄ и HfSi₂ -nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 ± 7 ГПа.
format Article
author Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д.
Соболь, О.В.
Грудницкий, В.В.
Турбин, П.В.
Колесников, Д.А.
Толмачева, Г.Н.
spellingShingle Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д.
Соболь, О.В.
Грудницкий, В.В.
Турбин, П.В.
Колесников, Д.А.
Толмачева, Г.Н.
Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
Физическая инженерия поверхности
author_facet Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д.
Соболь, О.В.
Грудницкий, В.В.
Турбин, П.В.
Колесников, Д.А.
Толмачева, Г.Н.
author_sort Береснев, В.М.
title Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
title_short Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
title_full Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
title_fullStr Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
title_full_unstemmed Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
title_sort структура и свойства твердых покрытий систем (ti-zr-si)n и (ti-hf-si)n, полученных из потоков металлической плазмы
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2010
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98870
citation_txt Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT beresnevvm strukturaisvojstvatverdyhpokrytijsistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskojplazmy
AT pogrebnâkad strukturaisvojstvatverdyhpokrytijsistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskojplazmy
AT sobolʹov strukturaisvojstvatverdyhpokrytijsistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskojplazmy
AT grudnickijvv strukturaisvojstvatverdyhpokrytijsistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskojplazmy
AT turbinpv strukturaisvojstvatverdyhpokrytijsistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskojplazmy
AT kolesnikovda strukturaisvojstvatverdyhpokrytijsistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskojplazmy
AT tolmačevagn strukturaisvojstvatverdyhpokrytijsistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskojplazmy
first_indexed 2023-10-18T20:00:42Z
last_indexed 2023-10-18T20:00:42Z
_version_ 1796148516665425920

Схожі ресурси