Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач по упрочнению инструмента. Установлено, чт...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98874 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом / В.М. Хороших, С.А. Леонов, Г.И. Носов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 150–154. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-98874 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-988742016-04-19T03:02:31Z Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом Хороших, В.М. Леонов, С.А. Носов, Г.И. Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач по упрочнению инструмента. Установлено, что при горении вакуумной дуги в присутствии азота в области давлений 1,5 ÷ 5 Па наблюдается высокая степень корреляции зависимостей тока положительно заряженных частиц и скорости осаждения нитридсодержащих покрытий от величины магнитного поля. Такими частицами могут быть положительно заряженные кластеры, состоящие из 15 ÷ 20 молекул нитрида титана. При горении дуги в области более низких давлений азота (0,5 ÷ 0,8 Па) подобная корреляция отсутствует. Вивчений вплив індукції магнітного поля на швидкість осадження нітридних покриттів, що отримують в області підвищеного тиску (1,5 ÷ 5 Па) і в області тиску менше 1,5 Па, традиційно використовуваною для вирішення технологічних завдань по зміцненню інструменту. Встановлено, що при горінні вакуумної дуги у присутності азоту в області тиску 1,5 ÷ 5 Па спостерігається високий ступінь кореляції залежностей струму позитивно заряджених частинок і швидкості осадження нітридних покриттів від величини магнітного поля. Такими частинками можуть бути позитивно заряджені кластери яки складаються з 15 ÷ 20 молекул нітриду титану. При горінні дуги в області нижчого тиску азоту (0,5 ÷ 0,8 Па) подібна кореляція відсутня. Influence of magnetic field induction is studied on deposition rate of vacuum-arc nitride coatings, got: in range of the promoted pressures (1,5 ÷ 5 Pa) and in area of pressures a less than 1,5 Pa, traditionally used for the decision of technological tasks on instrument hardening. It is set that at burning of a vacuum arc in presence nitrogen in area of pressures 1,5 ÷ 5 Pa are observed high degree of correlation of dependences of current of the positively charged particles and deposition rate of nitride coatings for the magnetic field value. Such particles can be the positively charged clusters consisting of 15 ÷ 20 molecules of titanium nitride. At operating of arc in range of more low nitrogen pressures (0,5 ÷ 0,8 Pa) similar correlation is absent. 2010 Article Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом / В.М. Хороших, С.А. Леонов, Г.И. Носов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 150–154. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98874 537.525.5 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач
по упрочнению инструмента. Установлено, что при горении вакуумной дуги в присутствии
азота в области давлений 1,5 ÷ 5 Па наблюдается высокая степень корреляции зависимостей
тока положительно заряженных частиц и скорости осаждения нитридсодержащих покрытий
от величины магнитного поля. Такими частицами могут быть положительно заряженные кластеры, состоящие из 15 ÷ 20 молекул нитрида титана. При горении дуги в области более низких
давлений азота (0,5 ÷ 0,8 Па) подобная корреляция отсутствует. |
| format |
Article |
| author |
Хороших, В.М. Леонов, С.А. Носов, Г.И. |
| spellingShingle |
Хороших, В.М. Леонов, С.А. Носов, Г.И. Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Хороших, В.М. Леонов, С.А. Носов, Г.И. |
| author_sort |
Хороших, В.М. |
| title |
Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом |
| title_short |
Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом |
| title_full |
Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом |
| title_fullStr |
Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом |
| title_full_unstemmed |
Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом |
| title_sort |
влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2010 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98874 |
| citation_txt |
Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом / В.М. Хороших, С.А. Леонов, Г.И. Носов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 150–154. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT horošihvm vliâniedavleniâazotanaprocessfokusirovkipotokovčasticgeneriruemyhvakuumnymdugovymrazrâdom AT leonovsa vliâniedavleniâazotanaprocessfokusirovkipotokovčasticgeneriruemyhvakuumnymdugovymrazrâdom AT nosovgi vliâniedavleniâazotanaprocessfokusirovkipotokovčasticgeneriruemyhvakuumnymdugovymrazrâdom |
| first_indexed |
2023-10-18T20:00:43Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:00:43Z |
| _version_ |
1796148517097439232 |