Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля

• Видавець: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
• Дата: 2010
• Автори: Долгов, А.С., Гетьман, А.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
• Назва видання: Физическая инженерия поверхности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98900
• Цитувати: Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля / А.С. Долгов, А.А. Гетьман // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 242–249. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Теоретически рассматривается рассеяние медленных бомбардирующих атомов на твердой поверхности, имеющей геометрические дефекты условно-клиновидного профиля. Предполагается, что поверхность дефекта (“бороздки») представлена совокупностью атомных ступенек. В предположении о зеркальном отражении мононаправленного первичного потока на поверхностях ступенек найдены выражения для вероятностей выхода атома их бороздки для произвольного распределения параметров ступенек произвольного вида. Развиваемые приемы анализа распространяются на случаи изотропного распределения на входе в бороздку и условия диффузного рассеяния. Обсуждаются специальные варианты воздействия. Указываются области параметров, соответствующие высоким и низким вероятностям отражения, и зависимость этих величин от ориентации воздействия и макрогеометрии бороздок. Обсуждаются возможности технологического и диагностического применения результатов работы.