Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения

Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения

Исследовано влияние облучения протонами на газовыделение в тонкоплёночной системе. Установлено, что протонное облучение инициирует образование на границе раздела плёнка-подложка мелких сферических образований, размеры которых возрастают с ростом дозы. Это объясняется выходом на границу раздела внед...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2010
Автори: Борисенко, Ю.Н., Береснев, В.М., Литовченко, С.В., Шевцов, А.Б.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98916
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения / Ю.Н. Борисенко, В.М. Береснев, С.В. Литовченко, А.Б. Шевцов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 353–357. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-98916
record_format dspace
spelling irk-123456789-989162016-04-20T03:02:12Z Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения Борисенко, Ю.Н. Береснев, В.М. Литовченко, С.В. Шевцов, А.Б. Исследовано влияние облучения протонами на газовыделение в тонкоплёночной системе. Установлено, что протонное облучение инициирует образование на границе раздела плёнка-подложка мелких сферических образований, размеры которых возрастают с ростом дозы. Это объясняется выходом на границу раздела внедрённого в подложку водорода. В ходе статистической обработки микроинтерферограмм поверхности плёнки проведен расчёт силовой и энергетической характеристик адгезии плёнок к подложкам, а также получено уравнение кинетики роста пузыря на границе раздела и проделана оценка газокинетических характеристик. Досліджено вплив опромінення протонами на газовиділення в тонкоплівковій системі. З’ясовано, що протонне опромінення ініціює утворення на границі розподілу плівка-підкладинка дрібних сферичних утворень, розміри яких зростають зі зростанням дози. Це пояснюється виходом на границю розподілу водню, прониклого в підкладинку. Статистична обробка мікроінтерферограм поверхні плівки дозволила розрахувати силову та енергетичну характеристики адгезії плівок до підкладинок, а також отримати рівняння кінетики росту пузиря на границі розподілу та зробити оцінку газокінетичних характеристик. The processes of the stimulated gas release and gas blister growth are investigated at an interface of thin-film systems. The relationship of these processes to the adhesion of a system is established. A method to determine the adhesion and to compute the adhesion characteristics in the film-substrate system is described. Using the results of this study carried out a series of practical approaches is proposed to measure the adhesion of thin films to substrates with the method of stimulated gas release. 2010 Article Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения / Ю.Н. Борисенко, В.М. Береснев, С.В. Литовченко, А.Б. Шевцов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 353–357. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98916 539.612 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Исследовано влияние облучения протонами на газовыделение в тонкоплёночной системе. Установлено, что протонное облучение инициирует образование на границе раздела плёнка-подложка мелких сферических образований, размеры которых возрастают с ростом дозы. Это объясняется выходом на границу раздела внедрённого в подложку водорода. В ходе статистической обработки микроинтерферограмм поверхности плёнки проведен расчёт силовой и энергетической характеристик адгезии плёнок к подложкам, а также получено уравнение кинетики роста пузыря на границе раздела и проделана оценка газокинетических характеристик.
format Article
author Борисенко, Ю.Н.
Береснев, В.М.
Литовченко, С.В.
Шевцов, А.Б.
spellingShingle Борисенко, Ю.Н.
Береснев, В.М.
Литовченко, С.В.
Шевцов, А.Б.
Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения
Физическая инженерия поверхности
author_facet Борисенко, Ю.Н.
Береснев, В.М.
Литовченко, С.В.
Шевцов, А.Б.
author_sort Борисенко, Ю.Н.
title Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения
title_short Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения
title_full Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения
title_fullStr Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения
title_full_unstemmed Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения
title_sort пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2010
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98916
citation_txt Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения / Ю.Н. Борисенко, В.М. Береснев, С.В. Литовченко, А.Б. Шевцов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 353–357. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT borisenkoûn pograničnoegazovydelenievtonkoplenočnojsistemepoddejstviemprotonnogooblučeniâivozmožnostiegoprimeneniâ
AT beresnevvm pograničnoegazovydelenievtonkoplenočnojsistemepoddejstviemprotonnogooblučeniâivozmožnostiegoprimeneniâ
AT litovčenkosv pograničnoegazovydelenievtonkoplenočnojsistemepoddejstviemprotonnogooblučeniâivozmožnostiegoprimeneniâ
AT ševcovab pograničnoegazovydelenievtonkoplenočnojsistemepoddejstviemprotonnogooblučeniâivozmožnostiegoprimeneniâ
first_indexed 2023-10-18T20:00:47Z
last_indexed 2023-10-18T20:00:47Z
_version_ 1796148520389967872

Схожі ресурси