Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами

Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами

На основе анализа литературных данных составлена сводка физических явлений, проявляющихся в функциональных PVD покрытиях системы Ti-Al-N как в процессе осаждения, так и в течение последующей обработки и эксплуатации. Несмотря на ограниченный объем данных о физических параметрах взаимодействующих м...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2012
Автори: Лучанинов, А.А., Стрельницкий, В.Е.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98923
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами / А.А. Лучанинов, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 4–21. — Бібліогр.: 56 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-98923
record_format dspace
spelling irk-123456789-989232016-04-20T03:02:15Z Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами Лучанинов, А.А. Стрельницкий, В.Е. На основе анализа литературных данных составлена сводка физических явлений, проявляющихся в функциональных PVD покрытиях системы Ti-Al-N как в процессе осаждения, так и в течение последующей обработки и эксплуатации. Несмотря на ограниченный объем данных о физических параметрах взаимодействующих между собой потока осаждаемых частиц и поверхности твердого тела, приведенные сведения дают вполне определенные ориентиры для дизайна покрытий рассмотренного типа PVD методами, в том числе наиболее общие технологические характеристики процессов. Перспективы данного направления связаны с совершенствованием и более глубокими исследованиями методов осаждения из фильтрованной плазмы, модуляции энергии осаждаемых частиц путем подачи импульсного потенциала смещения на подложку, введения малых количеств легирующих элементов. На основі аналізу літературних даних розглянуто фізичні явища, що виявляються у функціональних PVD покриттях системи Ti-Al-N як в процесі осадження, так і протягом наступної обробки та експлуатації. Незважаючи на обмежений об’єм даних про физичні параметри взаємодіючих між собою потоку заряджених частинок і поверхні твердого тіла, наведені відомості дають цілком певні орієнтири для дизайну покриттів розглянутого типу PVD методами, в тому числі найбільш загальні технологічні характеристики процесів. Перспективи даного напряму пов’язані з удосконаленням і більш глибокими дослідженнями методів осадження з фільтрованої плазми, модуляції енергії заряджених частинок шляхом подачі імпульсного потенціалу зміщення на підкладинку, введення малих доз легуючих елементів. The main physical effects related to PVD Ti-Al-N coatings deposition and their further treatment and exploitation are reviewed on the basis of the literature data. In spite of limited information on the physical mechanisms of the effects reviewed, the presented materials give certain landmarks for design Ti-Al-N coatings by PVD methods including the main technological characteristics of the processes. Progress in these coatings is connected with in-depth study of the deposition from the filtered vacuum-arc plasma, modulation of the energy of the ions during deposition process through pulse substrate potential, doping with small amount of the alloying elements. 2012 Article Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами / А.А. Лучанинов, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 4–21. — Бібліогр.: 56 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98923 539.21:621.793 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description На основе анализа литературных данных составлена сводка физических явлений, проявляющихся в функциональных PVD покрытиях системы Ti-Al-N как в процессе осаждения, так и в течение последующей обработки и эксплуатации. Несмотря на ограниченный объем данных о физических параметрах взаимодействующих между собой потока осаждаемых частиц и поверхности твердого тела, приведенные сведения дают вполне определенные ориентиры для дизайна покрытий рассмотренного типа PVD методами, в том числе наиболее общие технологические характеристики процессов. Перспективы данного направления связаны с совершенствованием и более глубокими исследованиями методов осаждения из фильтрованной плазмы, модуляции энергии осаждаемых частиц путем подачи импульсного потенциала смещения на подложку, введения малых количеств легирующих элементов.
format Article
author Лучанинов, А.А.
Стрельницкий, В.Е.
spellingShingle Лучанинов, А.А.
Стрельницкий, В.Е.
Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
Физическая инженерия поверхности
author_facet Лучанинов, А.А.
Стрельницкий, В.Е.
author_sort Лучанинов, А.А.
title Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
title_short Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
title_full Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
title_fullStr Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
title_full_unstemmed Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами
title_sort покрытия системы ti-al-n, нанесенные pvd методами
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2012
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98923
citation_txt Покрытия системы Ti-Al-N, нанесенные PVD методами / А.А. Лучанинов, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 4–21. — Бібліогр.: 56 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT lučaninovaa pokrytiâsistemytialnnanesennyepvdmetodami
AT strelʹnickijve pokrytiâsistemytialnnanesennyepvdmetodami
first_indexed 2023-10-18T20:00:48Z
last_indexed 2023-10-18T20:00:48Z
_version_ 1796148521130262528

Схожі ресурси