Многослойные периодические композиции W/B₄C c периодом 1,35 нм

Рассмотреныпроцессывзаимодействия, происходящие в многослойных рентгеновских зеркалах W/B₄C с периодом 1,35 нм, при изготовлении и нагреве. Произведено сравнение их с процессами в многослойных периодических композициях W/B₄C с периодом 2,5 нм. Исследование производилось с помощью рентгенодифракт...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2012
Main Author: Копылец, И.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98929
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Многослойные периодические композиции W/B₄C c периодом 1,35 нм / И.А. Копылец // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 52–58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Description
Summary:Рассмотреныпроцессывзаимодействия, происходящие в многослойных рентгеновских зеркалах W/B₄C с периодом 1,35 нм, при изготовлении и нагреве. Произведено сравнение их с процессами в многослойных периодических композициях W/B₄C с периодом 2,5 нм. Исследование производилось с помощью рентгенодифрактометрического и электронномикроскопического методов. Установлено, что термическая стойкость многослойных зеркал W/B₄C зависит от толщины слоев B₄C. Образование боридов вольфрама в зеркалах с периодом 1,35 нм начинается при температуре 500 °С, что на 100 °С меньше чем в образцах с периодом 2,5 нм. Разрушение слоистости происходит в результате объединения вольфрам-содержащих слоев в глобулы при 800 °С.