Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки

• Main Authors: Васильев, В.В., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
• Series: Физическая инженерия поверхности
• Online Access: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98943

Проведены исследования морфологии поверхности TiN и TiAlN покрытий, нанесенных из фильтрованных потоков вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки из инструментальной быстрорежущей стали и твердого сплава WСо. Обнаружено, что шероховатость покрытий на краях ферромагнитных подложек намного превосходит шероховатость покрытий, нанесенных на образцы из немагнитной нержавеющей стали. Показано, что возможной причиной увеличения шероховатости покрытий является образование униполярных дуг из-за повышенной концентрации напряженности магнитного поля на краях ферромагнитных подложек по сравнению с центральной областью. Установлено, что на подложках с неоднородными на поверхности ферромагнитными характеристиками, в частности, для твердосплавных WСо пластин, шероховатость наносимых покрытий намного выше, чем шероховатость исходной поверхности подложки. Сделано предположение, что основной причиной данного явления является концентрация силовых линий магнитного поля на Со связке, охватывающей WС зерна, приводящая к неоднородной скорости осаждения покрытия вдоль поверхности подложки. Повышение температуры подложки приводит к дальнейшему увеличению шероховатости поверхности покрытия.