Способ диагностики состояния поверхности вакуумной камеры торсатрона Ураган-2М

• Main Authors: Глазунов, Г.П., Пашнев, В.К.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
• Series: Физическая инженерия поверхности
• Online Access: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98944

Предложен метод оперативной оценки степени загрязненности стенки вакуумной камеры установки Ураган-2М основанный на процессе десорбции газов в вакууме c поверхности образца нержавеющей стали 12Х18Н10Т при его нагреве до 250 – 300 °С. Изготовлено, откалибровано на специальном стенде, и установлено в установке У-2М устройство, позволяющее регистрировать малые потоки десорбирующихся газов во время импульсного нагрева образца. Апробация метода во время предварительной откачки У-2М в течение нескольких дней показала снижение уровня загрязнения поверхности (уменьшение газовыделения при нагреве до 250 °С) примерно в 40 раз при улучшении вакуума с 1,6⋅10⁻⁶ Торр до 6,4⋅10⁻⁷ Торр. Предполагается использовать данную методику для оценки качества различных сценариев процесса чистки поверхности вакуумной камеры (wall conditioning) при подготовке торсатрона Ураган-2М к плазменным экспериментам.