2025-02-23T13:33:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98945%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:33:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98945%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:33:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T13:33:30-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления

Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные пленки имели преимущественную текстуру р...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Погребняк, А.Д., Мухаммед, А.К.М., Иващенко, М.Н., Опанасюк, Н.Н., Суджанская, И.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98945
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные пленки имели преимущественную текстуру роста (002). Также проведены экспериментальные исследования частотно-емкостной зависимости.

Similar Items