Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения

Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скорос...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2013
Автори:	Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кошевой, К.И., Опалев, О.А., Стрельницкий, В.Е.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
Назва видання:	Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99810
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-99810
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-998102016-05-04T03:02:10Z Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Стрельницкий, В.Е. Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скоростями роста. На основании анализа приведенных данных определены наиболее перспективные направления дальнейших исследований при разработке процессов производства высококачественных алмазных материалов. Проведено літературний огляд деяких особливостей та загальних закономірностей процесу отримання алмазних покриттів хімічним газофазним осадженням. Наведено теоретичні й експериментальні результати досліджень, що присвячені питанню отримання високоякісних алмазних покриттів з великою швидкістю росту. На підставі аналізу наведених даних визначені найбільш перспективні напрямки подальших досліджень при розробці процесів виробництва високоякісних алмазних матеріалів. Literature review of some features and common mechanism of processes of diamond coatings synthesis by a chemical vapor deposition have been presented. Theoretical and experimental results of study of high-quality diamond coatings synthesis with high deposition growth rates have been given. On the basis of the analysis of the given data the most perspective directions of further developments of technology of industrial production of high-quality diamond materials are determined. 2013 Article Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99810 537.534.2:679.826 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скоростями роста. На основании анализа приведенных данных определены наиболее перспективные направления дальнейших исследований при разработке процессов производства высококачественных алмазных материалов.
format	Article
author	Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Стрельницкий, В.Е.
spellingShingle	Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Стрельницкий, В.Е. Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения Физическая инженерия поверхности
author_facet	Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Стрельницкий, В.Е.
author_sort	Грицына, В.И.
title	Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_short	Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_full	Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_fullStr	Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_full_unstemmed	Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_sort	получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate	2013
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99810
citation_txt	Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.
series	Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv	AT gricynavi polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytijmetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT dudniksf polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytijmetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT koševojki polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytijmetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT opalevoa polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytijmetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT strelʹnickijve polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytijmetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ
first_indexed	2023-10-18T20:02:57Z
last_indexed	2023-10-18T20:02:57Z
_version_	1796148609366884352

Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения

Репозитарії

Схожі ресурси