Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію
Показана можливість створення багатошарових покрить шляхом модифікування методики електролітичного травлення поверхні монокристалічного кремнію. При травленні використовували добавки HСl і HBr. Методами електронної мікроскопії, рентгенофазового аналізу встановлено, що варіювання складом електроліт...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99822 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію / Є.І. Зубко // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 154–159. — Бібліогр.: 17 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-99822 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-998222016-05-05T03:02:10Z Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію Зубко, Є.І. Показана можливість створення багатошарових покрить шляхом модифікування методики електролітичного травлення поверхні монокристалічного кремнію. При травленні використовували добавки HСl і HBr. Методами електронної мікроскопії, рентгенофазового аналізу встановлено, що варіювання складом електроліту і густиною струму приводить до наноструктурування поверхні кремнію в виді шарів різної товщини (200 – 400 нм), морфології і поруватого кремнію. Показана возможность создания многослойных покрытий путем модифицирования методики электролитического травления поверхности монокристаллического кремния. При травлении использовали добавки HCl и HBr. Методами электронной микроскопии, рентгенофазового анализа установлено, что варьирование составом электролита и плотностью тока приводит к наноструктурированию поверхности кремния в виде слоев разной толщины (200 – 400 нм), морфологии и пористости. The possibility of creating multilayer coatings by modifying the method of electrolytic etching of single crystal silicon. Additives used in etching and HCl HBr. By electron microscopy, X-ray diffraction analysis showed that the variation in the composition of the electrolyte and the current density results in a nanostructured surface of silicon in the form of layers of different thickness (200 – 400 nm), morphology and porosity. 2013 Article Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію / Є.І. Зубко // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 154–159. — Бібліогр.: 17 назв. — укр. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99822 669.782 uk Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
Показана можливість створення багатошарових покрить шляхом модифікування методики
електролітичного травлення поверхні монокристалічного кремнію. При травленні використовували добавки HСl і HBr. Методами електронної мікроскопії, рентгенофазового аналізу
встановлено, що варіювання складом електроліту і густиною струму приводить до наноструктурування поверхні кремнію в виді шарів різної товщини (200 – 400 нм), морфології і поруватого кремнію. |
| format |
Article |
| author |
Зубко, Є.І. |
| spellingShingle |
Зубко, Є.І. Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Зубко, Є.І. |
| author_sort |
Зубко, Є.І. |
| title |
Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію |
| title_short |
Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію |
| title_full |
Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію |
| title_fullStr |
Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію |
| title_full_unstemmed |
Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію |
| title_sort |
функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2013 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99822 |
| citation_txt |
Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію / Є.І. Зубко // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 154–159. — Бібліогр.: 17 назв. — укр. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT zubkoêí funkcíonalízacíâínanostrukturuvannâpoverhnevihšarívporuvatogokremníû |
| first_indexed |
2023-10-18T20:02:59Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:02:59Z |
| _version_ |
1796148610647195648 |