2025-02-22T10:01:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-99822%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T10:01:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-99822%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T10:01:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T10:01:35-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію

Показана можливість створення багатошарових покрить шляхом модифікування методики електролітичного травлення поверхні монокристалічного кремнію. При травленні використовували добавки HСl і HBr. Методами електронної мікроскопії, рентгенофазового аналізу встановлено, що варіювання складом електроліт...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Зубко, Є.І.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99822
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!