Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ
Досліджено трансформацію кристалічної ґратки в іонно-імплантованих шарах монокристалів ґалій-ґадолінієвого ґранату. Встановлено, що у площині пластин монокристалів ҐҐҐ при імплантації іонами Не⁺ деформація кристалічної ґратки в імплантованому шарі відбувається тільки у перпендикулярному до площи...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99833 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ / І.П. Яремій, У.О. Томин, М.М. Уманців, В.І. Кравець // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 237–242. — Бібліогр.: 14 назв. — укр. |