Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки

The system of constructive geometrical parameters of the model of electrodes’ systems of high voltage glow discharge electron guns, producing the profile electron beams with the ring-like focus, is considered in the article. The distinguishing feature of a proposed model is taking the slope angle of...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2019
Hauptverfasser:	Melnyk, Igor V., Pochynok, Alina V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	The National Technical University of Ukraine "Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute" 2019
Schlagworte:	система параметрів моделі конструктивні параметри геометричні параметри електронна гармата електродна система високовольтний тліючий розряд профільний електронний пучок
Online Zugang:	https://journal.iasa.kpi.ua/article/view/168261
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	System research and information technologies
Завантажити файл:

Institution

System research and information technologies

_version_	1866302380025315328
author	Melnyk, Igor V. Pochynok, Alina V.
author_facet	Melnyk, Igor V. Pochynok, Alina V.
author_sort	Melnyk, Igor V.
baseUrl_str	http://journal.iasa.kpi.ua/oai
collection	OJS
datestamp_date	2019-08-07T15:26:27Z
description	The system of constructive geometrical parameters of the model of electrodes’ systems of high voltage glow discharge electron guns, producing the profile electron beams with the ring-like focus, is considered in the article. The distinguishing feature of a proposed model is taking the slope angle of generating line of the conic anode surface relatively to the electrodes’ system symmetry axis as the basic parameter. The set of inequalities has been constructed which defines the geometrical, physical and computing limitations on the constructive parameters of a simulated system, as well as its technological tolerable limits. The complete, closed and consistent system of geometrical parameters of a model of electrodes’ systems of high voltage glow discharge electron guns, producing profile electron beams with the ring-like focus, have been created as a result of conducted research. Formed limitations to the constructive model’s parameters, written as the set of inequalities, have been used in the software application, intended for simulation of high voltage glow discharge electron guns electrodes’ systems, for the purpose of control of input model parameters at the first step of a computer simulation.
doi_str_mv	10.20535/SRIT.2308-8893.2019.1.04
first_indexed	2025-07-17T10:25:06Z
format	Article
fulltext	© І.В. Мельник, А.В. Починок, 2019 50 ISSN 1681–6048 System Research & Information Technologies, 2019, № 1 УДК 004.942:537.525 DOI: 10.20535/SRIT.2308-8893.2019.1.04 СИСТЕМА КОНСТРУКТИВНИХ ГЕОМЕТРИЧНИХ ПАРАМЕТРІВ МОДЕЛІ ЕЛЕКТРОННИХ ГАРМАТ ВИСОКОВОЛЬТНОГО ТЛІЮЧОГО РОЗРЯДУ, ЯКІ ФОРМУЮТЬ ПРОФІЛЬНІ ЕЛЕКТРОННІ ПУЧКИ І.В. МЕЛЬНИК, А.В. ПОЧИНОК Анотація. Розглянуто систему конструктивних параметрів моделі електродних систем електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки з кільцевим фокусом. Відмітною рисою запропо- нованої моделі є те, що як ключовий параметр обрано кут нахилу твірної по- верхні конусного анода до осі симетрії електродної системи. Сформовано сис- тему нерівностей, які визначають геометричні, фізичні та обчислювальні обмеження на конструктивні параметри модельованої електродної системи, а також технологічні допуски на них. Як результат проведених досліджень ство- рено повну, замкнену та несуперечливу систему геометричних параметрів мо- делі електродних систем електронних гармат високовольтного тліючого роз- ряду, які формують профільні електронні пучки із кільцевим фокусом. Сформовані обмеження на конструктивні параметри моделі, подані у вигляді системи нерівностей, використано у програмному комплексі, призначеному для моделювання електродних систем електронних гармат високовольтного тліючого розряду, з метою контролю вхідних параметрів моделі на початково- му етапі комп’ютерного моделювання. Ключові слова: система параметрів моделі, конструктивні параметри, геомет- ричні параметри, електронна гармата, електродна система, високовольтний тліючий розряд, профільний електронний пучок. ВСТУП Електронні гармати на основі високовольтного тліючого розряду (ВТР) ши- роко застосовують для реалізації електронно-променевих технологій у різ- них галузях промисловості, зокрема в електронній промисловості, приладо- будуванні, металургії, машинобудуванні, автобудуванні та авіабудуванні [1–7]. Це зумовлено тим, що гармати ВТР мають низку переваг порівняно із традиційними технологічними електронними гарматами з розжарюваними катодами, серед яких варто відзначити такі [1, 2, 7]: 1) стабільність роботи гармат ВТР протягом тривалого часу в середо- вищі різних газів, зокрема інертних та активних; 2) відносну дешевизну електронних гармат ВТР і технологічного ваку- умного обладнання, яке забезпечує їх роботу; 3) простоту керування струмом розряду електронних гармат газодина- мічним способом та з використанням допоміжних низьковольтних розрядів; 4) можливість формування профільних електронних пучків з кільцевим фокусом, які забезпечують рівномірне прогрівання циліндричних виробів по всьому периметру. Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат … Системні дослідження та інформаційні технології, 2019, № 1 51 Серед цих переваг однією з найбільш значущих є можливість форму- вання профільних електронних пучків, оскільки вони забезпечують швидко- дійне проведення технологічних операцій, які неможливо виконувати з ви- користанням електронних пучків з точковим фокусом або лазерних пучків. Серед таких операцій слід виокремити автоматичне моноімпульсне зварю- вання корпусів електронних приладів і термічне оброблення циліндричних виробів з їх рівномірним прогріванням по всьому периметру [1, 7]. Спрощену конструктивну схему електродної системи ВТР, призначеної для формування порожнистого конусного електронного пучка з кільцевим фокусом, зображено на рис. 1. Така електродна система (рис. 1) — один з можливих варіантів форму- вання електронного пучка з кільцевим фокусом. Крім цього, у літературі розглядаються й аналізуються електродні системи ВТР, які формують дис- кові та трубчасті електронні пучки [1, 7, 8]. Проте теоретично можна пока- зати, що з геометричного погляду такі системи є окремим випадком елект- родної системи, показаної на рис. 1, яка формує порожнистий конусний електронний пучок із заданим кутом збіжності. Проблема полягає у тому, що натепер не існує точних та адекватних математичних моделей, які б описували складні фізичні процеси, що перебі- гають в електродних системах технологічних гармат ВТР, які формують профільні електронні пучки. Тут окремим складним завданням є формуван- ня системи конструктивних геометричних параметрів для такої моделі. Саме ця важлива науково-технічна та інженерна проблема і буде розглянута у ро- боті. ЗАГАЛЬНА КОНЦЕПЦІЯ ФОРМУВАННЯ ФІЗИКО-ТОПОЛОГІЧНОЇ МОДЕЛІ ДЖЕРЕЛ ЕЛЕКТРОНІВ ВИСОКОВОЛЬТНОГО ТЛІЮЧОГО РОЗРЯДУ, ЯКІ ФОРМУЮТЬ ПРОФІЛЬНІ ЕЛЕКТРОННІ ПУЧКИ Узагальнену методику формування фізико-топологічних моделей джерел електронів ВТР, які формують профільні електронні пучки, розглянуто 1 2 3 4 5 6 7 8 9 Рис. 1. Конструктивна схема аксіально-симетричної електродної системи ВТР, призначеної для формування порожнистого конусного електронного пучка: 1 — катод; 2 — високовольтний ізолятор; 3 — електронний пучок; 4 — анод; 5 — пла- змова межа; 6 — електронний пучок; 7 — анодна плазма; 8 — допоміжний цилінд- ричний електрод; 9 — виріб, який обрамляється І.В. Мельник, А.В. Починок ISSN 1681–6048 System Research & Information Technologies, 2019, № 1 52 у працях [9, 10]. Вона полягає у тому, що межа анодної плазми 5, яка окремо показана на рис. 1, розглядається як прозорий для електронів електрод із фіксованим потенціалом, який є близьким до анодного. За умови великих значень струму розряду можна вважати, що плазмова межа паралельна поверхні сферичного катода [1, 9, 10], а за умови малих значень струму форма плазмової межі зазвичай визначається експеримента- льно через фотографування розрядного проміжку та комп’ютерний аналіз отриманих фотографій з використанням карт зображень і методів розпізна- вання образів [10, 11]. Якщо розглядати лише перший випадок, який відпо- відає значенням максимального струму розряду, положення плазмової межі визначається на підставі того, що об’єм, який займає плазма, не залежить від геометрії електродної системи. Це дозволяє спочатку визначити положення анодної плазми у простій лінійній системі із плоскими електродами, а після цього перерахувати це значення для об’єму анодної порожнини в елект- родній системі, зображеній на рис. 1. Правомірність такого підходу також теоретично й експериментально обґрунтовано у працях [1, 9]. За умови відомої геометрії плазмової межі для моделювання самоузго- дженої електронно-іонної оптики в електродній системі ВТР, зображеній на рис. 1, можуть бути застосовані відомі алгоритми, сформульовані у працях [9, 10]. Для аналізу розподілу електричного поля використовується число- вий розв’язок рівняння Пуассона в циліндричних координатах, а для розра- хунку просторового заряду — модифікований метод недеформованих тру- бок струму. Отже, важливим завданням є формування замкненої та несуперечливої системи геометричних параметрів для електродної системи, конструктивну схему якої зображено на рис. 1. Така система параметрів передбачає не ли- ше формування набору конкретних геометричних величин, але і введення взаємозв’язків між ними та відповідних обмежень [12–14]. ГЕОМЕТРИЧНІ ПАРАМЕТРИ ЕЛЕКТРОДНОЇ СИСТЕМИ ВИСОКОВОЛЬТНОГО ТЛІЮЧОГО РОЗРЯДУ, ЯКА ФОРМУЄ ПОРОЖНИСТИЙ КОНУСНИЙ ЕЛЕКТРОННИЙ ПУЧОК, ТА ЇХ ЗВ’ЯЗОК ІЗ ЗАВДАННЯМИ ПРОЕКТУВАННЯ ЕЛЕКТРОННИХ ГАРМАТ Головними вимогами до системи геометричних параметрів фізико- топологічної моделі електродної системи ВТР, яку необхідно сформувати, є повнота, несуперечливість та простота визначення цих параметрів [12]. Крім цього, необхідно зменшити до мінімуму кількість розмірних параметрів, вимірювання яких під час інженерного проектування гармати може давати значні похибки. Виходячи із цих міркувань, усі параметри фізико- топологічної моделі розглядалися через зв’язок з кутом нахилу α твірної ко- нусної поверхні анода до осі симетрії електродної системи. За такої умови зв’язки між конструктивними геометричними розмірами електродної систе- ми формувалися через тригонометричні співвідношення. Такий підхід до формування системи параметрів моделі відповідає не лише вимогам повноти та несуперечливості, але й умові універсальності моделі. Річ у тім, що через зміну параметра α можна моделювати різні типи Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат … Системні дослідження та інформаційні технології, 2019, № 1 53 електродних систем ВТР, які формують профільні електронні пучки з кіль- цевим фокусом. Наприклад, електродні системи, які формують трубчасті електронні пучки, можна розглядати як системи, для яких значення o0=α , а для систем, які формують дискові пучки, значення o90=α [8]. У праці [8] розглянуто базові рівняння для фізико-топологічних моделей електродних систем ВТР, які формують дискові та профільні електронні пучки, і через числове розв’язування цих рівнянь знайдено залежності положення плазмо- вої межі відносно катода від геометричних розмірів електродної системи. Проте через велику кількість розмірних параметрів та складність системи нелінійних рівнянь для отриманої системи рівнянь не знайдено аналітичного розв’язку [8]. У зв’язку з цим відмітною рисою системи параметрів моделі елект- родних систем ВТР, яка пропонується у роботі, є її простота, яка полягає у тому, що взаємозалежні геометричні розміри зв’язуються між собою через значення кута α. За такої умови зв’язки між параметрами значно спрощу- ються і відсутність функції квадратного кореня, використання якої є прита- манним для систем геометричних параметрів у разі формування зв’язків між лінійними розмірами, дозволяє звести математичну модель до кубічного рів- няння відносно висоти анодної плазми, а таке рівняння може бути розв’язано аналітично. Базові геометричні розміри для електродної системи ВТР, конструк- тивну схему якої зображено на рис. 1, показано на рис. 2. Головними із цих розмірів є висота анодної плазми пd , положення плазмової межі відносно катода кпd , товщина катода кh , висота анода ah , максимальний радіус ос- нови конусного анода ar , мінімальний радіус основи конусного анода конr , який відповідає області виведення електронного пучка з електронної гарма- ти до технологічної камери, радіус сфери катода кR , максимальний по- перечний розмір сферичної поверхні катода біля анода ,к1r мінімальний поперечний розмір сферичної поверхні катода біля циліндричного електро- да к2r , радіус циліндра пr та його висота пh . Зрозуміло, що геометричні параметри пd і кпd є внутрішніми парамет- рами моделі, а кR , конr , пк2к1 ,, rrr , пh — конструктивними. Тому пошук залежностей пd від конструктивних параметрів завжди є головним завдан- ням моделювання на першому етапі проектування газорозрядних елект- ронних гармат, оскільки анодна плазма в електронно-оптичних системах ВТР розглядається як рухомий електрод із заданим потенціалом, положення якого залежить від конструктивних параметрів електродної системи, а також від тиску в камері гармати, перерахованого на довжину електродної системи [1], та від прискорювальної напруги [1, 9, 10]. У теорії ВТР система алгебричних рівнянь, які описують положення плазмової межі відносно катода, записується у вигляді [2, 15]: , )( * 0 ϕε =⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ ∂ ϕ∂ Γ∈ A kTn n ee r ,221 4 1)( 2 * ⎟ ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ −+ ϕ +=ϕ ϕ − ekT q e e kT qA (1) І.В. Мельник, А.В. Починок ISSN 1681–6048 System Research & Information Technologies, 2019, № 1 54 де en — концентрація електронів у плазмі; eT — їх температура; q — заряд іонів плазми; 0ε — електрична стала; k — стала Больцмана; ϕ — приелек- тродний потенціал, який залежить від складу використовуваного технологіч- ного газу. Зазвичай значення параметра ϕ лежить у межах кількох вольтів. Проте, оскільки розв’язування нелінійної системи рівнянь (1) для елек- тродних систем ВТР із складною геометрією викликає певні обчислювальні труднощі, фахівці під час формування відповідних математичних моделей намагаються використовувати спрощені підходи, основані на апроксимації експериментальних даних про положення плазмової межі. Зокрема, у працях [9, 10] показано й обґрунтовано припущення, що для великих струмів роз- ряду плазмова межа паралельна поверхні катода, а об’єм анодної плазми не залежить від геометрії електродної системи. Це дозволяє визначати об’єм плазмової межі у системах ВТР зі складною геометрією електродів з вико- ристанням простого співвідношення [1] кл VV = , (2) де лV — об’єм плазмової межі в еквівалентній лінійній електродній систе- мі; кV — її об’єм в електродній системі (див. рис. 1). У лінійній електродній системі об’єм анодної можна розрахувати за таким співвідношенням [1]: , 5 2 0 2 к 0 0 л2 ал ⎟ ⎟ ⎟ ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎜ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ μ −⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ +χγ −π= e i a ei e i e kT m epR kT m mQ ILrV (3) Rк α rц dп hц rк2 rк1 rкон hк ha dк п rа Рис. 2. Геометричні параметри електродної системи ВТР, спрощену конструктивну схему якої зображено на рис. 1 Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат … Системні дослідження та інформаційні технології, 2019, № 1 55 де лI — струм розряду в лінійній електродній системі; LRr ,, кa — геомет- ричні розміри лінійної системи; imm ,e — маса електрона та маса іонів за- лишкового газу відповідно; Qe0 — усереднений перетин перезарядження іо- нів на атомах газу; χ — середній коефіцієнт подовження траєкторій електронів у ВТР; eT — температура електронів у плазмі; γ — коефіцієнт відбиття електронів від поверхні анода; 0iμ — рухомість електронів в анод- ній плазмі. Щодо обчислення положення плазмової межі у системі електро- дів ВТР, яка формує порожнистий конічний електронний пучок, конструк- тивну схему якої зображено на рис. 2, то для неї об’єм, який займає анодна плазма, можна розрахувати як об’єм тіла обертання [16]: ∫= b a dzzrV ,)(2 к (4) де )(zr — аналітична функція, яка описує геометрію плазмової межі; a та b —межі інтегрування, які визначаються лінійними розмірами електродної системи (рис. 2). Якщо плазмова межа вважається паралельною поверхні катода, тоді об’єм анодної плазми обчислюється через кут α як об’єм кульового сегмента. Ураховуючи формулу (4), маємо −⎜⎜ ⎝ ⎛ −−⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ α ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ −−π= )( 2 sinr)( 3 4 пк 2 ц 3 1к 3 пк dRrdRVk ( )⎟⎟ ⎠ ⎞ −+⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ α− пкон 2 ц 2 ц 2 sin 3 4 drrr . (5) Прирівнюючи співвідношення (3) та (5) з урахуванням співвідношення (2), можна отримати кубічне рівняння залежно від параметра кпd і розв’язати його з використанням формул Кордано [16]. Якщо плазмова межа не є паралельною поверхні катода, для описання її геометричної форми можна використовувати співвідношення [10, 11]: ))(ln)((ln)( BzACzr −−= , (6) де CBA ,, — напівемпіричні коефіцієнти, які визначаються за допомогою фотографування розрядного проміжку та комп’ютерного аналізу яскравості отриманих фотографій з використанням карт зображень та методів розпізнавання образів [11]. Але рівняння (6) можна розв’язати лише числовим способом. Щодо товщини катода кh , то цей геометричний параметр не впливає на електронно-оптичні властивості електродної системи, проте, оскільки сту- пінь нагрівання катода іонним потоком суттєво впливає на значення коефі- цієнта вторинної іонно-електронної емісії, цей конструктивний параметр з урахуванням внутрішніх термодинамічних параметрів системи охоло- дження визначає енергетику розряду та струм електронного пучка. Матема- тичні моделі для визначення температури катода та залежності коефіцієнта вторинної іонно-електронної емісії від температури для електродних систем ВТР, які формують електронні пучки з точковим фокусом, наведено у пра- І.В. Мельник, А.В. Починок ISSN 1681–6048 System Research & Information Technologies, 2019, № 1 56 цях [10, 17]. З іншого боку, параметр hк пов’язаний з геометричними параме- трами кR і гh тригонометричним співвідношенням ⎟ ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ +−α= 2 ц ц кк 1)(cos h r Rh . (7) Із використанням співвідношення (7) можна оцінити температуру катода та струм електронного пучка [17]. ОБМЕЖЕННЯ, ЯКІ НАКЛАДАЮТЬСЯ НА ПАРАМЕТРИ МОДЕЛІ Зрозуміло, що не для всіх значень параметрів електродної системи, наведе- них на рис. 2, можлива технічна реалізація такої системи. Тому на визначені у попередньому розділі конструктивні параметри моделі накладається низка обмежень, зумовлених різними факторами. У зв’язку з цим у теорії проекту- вання електронних систем розрізняють геометричні, фізичні, обчислювальні та технологічні обмеження [12–14]. Найпростішими є геометричні обме- ження, які зумовлені можливою некоректністю описання топології визначе- ної електродної системи через невиконання законів геометрії для визначе- них значень параметрів. Невиконання геометричних обмежень зазвичай призводить до обчислювальних помилок під час розв’язання задачі моделю- вання, тому перевірка цих обмежень на початку виконання програми моде- лювання є важливим критерієм надійності роботи таких комп’ютерних про- грам. Фізичні обмеження накладаються на значення геометричних параметрів моделі у тому випадку, коли вони не суперечать законам геометрії, але є не- можливими з огляду на відповідні фізичні закономірності. Наприклад, зна- чення )( цк2 rr − для параметрів електродної системи (див. рис. 1) має відпові- дати правилу забезпечення надійної електричної ізоляції для заданих значень прискорювальної напруги і тиску технологічного газу [18]. Обчис- лювальні обмеження на значення параметрів моделі накладаються тоді, коли вони не мають ні геометричних, ні фізичних обмежень, але гранична вели- чина точності числових алгоритмів розрахунку та можливості наявних комп’ютерних засобів не дозволяють виконувати точні розрахунки для па- раметрів зі значеннями, більшими або меншими за задану граничну величи- ну [19]. Зазвичай обчислювальні обмеження накладаються на значення па- раметрів моделі тоді, коли немає відповідних геометричних та фізичних обмежень [12]. Технологічні обмеження визначаються технологією виготовлення еле- ментів електродної системи та інженерними вимогами до максимальних до- пусків на розкид значень заданих геометричних розмірів і кутів [19]. Насамперед слід відзначити, що система геометричних параметрів, за- даних на рис. 2, є надлишковою. Поздовжній розмір сферичної поверхні ка- тода, заданий радіусом к1r , пов’язаний із радіусом сфери катода кR та кутом α співвідношенням ,)(sinкк1 α= Rr (8) а відстань від плазмової межі до поверхні катода кпd виражається через ви- соту плазми пd та радіус сфери катода кR : Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат … Системні дослідження та інформаційні технології, 2019, № 1 57 кккп dRd −= . (9) Рівняння (8) зв’язує конструктивні параметри електродної системи, а рівняння (9) — внутрішні параметри з конструктивним параметром кR . Проте значення к1r і к2r зручно використовувати для обчислення фізи- чних обмежень, які зумовлюють ізоляційні властивості електродної систе- ми, а значення кпd є більш зручним для аналізу особливостей електронно- оптичних властивостей електродної системи, хоча під час розв’язування рів- няння (2) зазвичай зручніше шукати параметр пd [1, 9, 10]. Зрозуміло, що на параметри електродної системи (рис. 2) накладаються такі геометричні обмеження: ц2к r>r ; к1a rr > ; ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ >α ц цarctg h r . (10) Існує інше геометричне обмеження, яке накладається на мінімальний поздовжній розмір катода к2r : 2 ц ц ц цк ц ц к min к2 1 arctgsin ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ +⋅ =⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ = h r h rR h r Rr . (11) Проте на параметри к2r , ar та α накладаються більш строгі фізичні обмеження, пов’язані із забезпеченням вимог до електричної міцності роз- рядного проміжку. Згідно із теорією газового розряду мінімальна відстань між електродами, за умови заданої прискорювальної напруги прU і тиску в розрядній камері р , обчислюється відповідно до закону Пашена за спів- відношенням [18] ,11ln 72,2 пр min ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ + γ = pA U d (12) де A — напівемпіричний коефіцієнт; γ — коефіцієнт вторинної іонно- електронної емісії для визначеного матеріалу катода. Згідно зі співвідно- шенням (12) нерівності (10) переписуються у вигляді: minц2к r dr +> ; minк1a drr +> ; ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ + >α ц minцarctg h dr . (13) Співвідношення (11) з урахуванням першої нерівності системи (13) набирає вигляду ( ) minц2 ц ц ц к ц min к2 1 1 dr h r h Rrr > ⎟⎟ ⎟ ⎟ ⎟ ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎜ ⎜ ⎜ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ + −= . (14) І.В. Мельник, А.В. Починок ISSN 1681–6048 System Research & Information Technologies, 2019, № 1 58 Оскільки нерівність (14) є нелінійною, знайти залежність )( ц min к2 rr можна лише з використанням числових розрахунків. Відповідні графічні залежності для різних значень параметрів моделі кR і пh , які отримані з використанням засобів програмування системи MatLab [20, 21], показано на рис. 3. м ,min 2кr м ,цr 0,05 0,1 0,15 0,25 0,2 0,04 0,02 0,06 0,08 0,1 0,12 1 2 3 4 5 6 а 0 м ,min 2кr 0,0 0,1 0,1 0,2 0,2 0,05 0,1 0,15 0,2 1 2 3 4 5 м ,цr б 0 Рис. 3. Залежність мінімального значення поздовжнього розміру катода біля циліндра min 2кr від радіуса циліндра, радіуса сфери катода а — hц = 0,5 м; 1 — Rк = 0,85 м, 2 — Rк = 0,8 м, 3 — Rк = 0,75 м, 4 — Rк = 0,7 м, 5 — Rк = 0,65 м, 6 — Rк = 0,6 м та висоти циліндра; б — Rк = 0,8; 1 — hк = 0,5 м, 2 — hк = 0,45 м, 3 — hк = 0,4 м, 4 — hк = 0,35 м, 5 — hк = 0,3 м Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат … Системні дослідження та інформаційні технології, 2019, № 1 59 Іншим геометричним обмеженням на параметри моделі електродної системи ВТР можна надати вигляду кц Rh < , цкон rr > , кц hh > , к2к1 rr > , конa rr > . (15) На підставі наведених міркувань для мінімального значення кута α з урахуванням співвідношення (14) можна записати ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ =α ц min 2к min arctg h r , (16) тоді співвідношення (16) стає більш строгим, ніж третя нерівність системи (10). Максимальне значення кута α = 90° відповідає електродній системі, яка формує дисковий електронний пучок [8]. Для висоти анодного електрода ah також існують геометричні обмеження: кка hRh −< , цка hRh −< . (17) Мінімальне значення радіуса сфери катода кR задається обмеженнями: как hhR +> , цк hR > , (18) які є наслідком нерівностей (17). А на максимальне значення радіуса сфери катода геометричних та фізичних обмежень не існує; окремий випадок ∞=кR відповідає плоскій поверхні катода. Тому для цього випадку накла- дається лише обчислювальне обмеження, яке для використовуваних алгорит- мів розрахунку електронно-оптичних властивостей електродної системи та застосованих обчислювальних засобів встановлено на рівні м 106 к <R . (19) ТЕХНОЛОГІЧНІ ДОПУСКИ НА ГЕОМЕТРИЧНІ ПАРАМЕТРИ МОДЕЛІ Наведемо тепер оцінку технологічних допусків на конструктивні параметри електродної системи, наведеної на рис. 2. У загальному випадку можливі технологічні допуски можна оцінити в ході обчислювальних експериментів через аналіз впливу змін відповідного конструктивного розміру на фокальні параметри електронного пучка [14]. Такий метод в обчислювальній матема- тиці називається методом малих збурень і у загальному випадку записується у вигляді таких простих співвідношень [14]: x x xF F Δ ∂ ∂ =ε )( ; x x xd d Δ ∂ ∂ =ε )(п , (20) де х — змінний конструктивний параметр; F — положення фокуса елект- ронного пучка; пd — товщина фокального кільця; Fε — допустиме значен- ня зміни положення фокуса пучка; dε — допустиме значення зміни товщи- ни фокального кільця. Зрозуміло, що в разі використання співвідношення (20) значення Fε і dε задаються в абсолютних одиницях і мають розмір- ність вимірюваної величини. Якщо зручніше визначати технологічні допус- І.В. Мельник, А.В. Починок ISSN 1681–6048 System Research & Information Technologies, 2019, № 1 60 ки у відносних одиницях, співвідношення (20) можна переписати у вигляді [10, 14, 19]: ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ Δ ±= Δ=ε x x xx xFF )( обчp 1 ; ⎟⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎜ ⎝ ⎛ Δ ±= Δ=ε x x xx xdd )( обчp пп1 , (21) де обчx — модельне значення конструктивного параметра; px — його реа- льне значення з урахуванням відносної похибки виготовлення деталей елек- тродної системи. У співвідношеннях (21) знак ± відповідає можливій зміні заданого значення розміру x у бік як збільшення, так і зменшення. Проте часто у технології виготовлення точних приладів є допустимими лише од- нобічні зміни заданих параметрів. У такому випадку у співвідношеннях (21) замість знака ± ставиться або знак +, або знак – залежно від можливого на- прямку зміни відповідного параметра. Числові експерименти з моделювання електродної системи ВТР (рис. 2) показали, що на параметри моделі мають бути накладені такі технологічні обмеження: )0012,01(к.обчк.p ±= RR , )0014,01(обчp ±α=α , )0125,01(ц.обчц.p −= rr ; )0131,01(к2.обчк2.p += rr , )0142,01(к1.обчк1.p −= rr ; )0112,01(а.обча.p += rr , )014,01(кон.обчкон.p += rr ; )015,01(ц.обчц.p ±= hh , )0137,01(a.о.оa.p ±= hh ; )052,01(к.обчк.p ±= hh , (22) де індекс р відповідає реальним значенням параметрів, а індекс обч – модельним. Обчислені значення для технологічних допусків відповідають величині ,05,0= Δ x x тобто відносному відхиленню фокальних параметрів електронного пучка на 5%. З отриманих співвідношень (22) видно, що найбільш строгі обмеження близько 0,1% накладаються на значення радіуса сфери катода кR та на кут α . Це збігається з відомими з основ електронної оптики теоретичними відомостями про те, що радіус емісійної поверхні катода і кут нахилу анод- ної поверхні до осі симетрії системи найбільше впливають на електронно- оптичні властивості електродних систем [20]. Для більшості інших парамет- рів значення допустимого відхилення x xΔ =δ становило близько 1%, а для параметра кh — близько 5%. Слід зазначити, що величина δ визначалась за співвідношеннями (21), а потім обиралось мінімальне значення цієї величи- ни за параметрами Fε та пdε , тобто [12, 19] x x dF п,min εε Δ =δ . (23) Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат … Системні дослідження та інформаційні технології, 2019, № 1 61 Згідно з конструктивною схемою електродної системи (рис. 2) значення цr і к1r можуть змінюватись тільки у бік збільшення, а значення к2r і аr — лише у бік зменшення, що зумовлено необхідністю забезпечення електрич- ної міцності розрядного проміжку відповідно до співвідношення (12). Усі розрахунки величини mind виконувались для значень 15пр =U кВ; 5=p Па; 3,4=γ , матеріал катода — алюміній, робочий газ — азот. Пара- метр конr також вважався таким, що може змінюватись лише у бік збіль- шення, оскільки зменшення цього параметра призводить до значного збіль- шення втрат потужності електронного пучка через осідання електронів на стінці анода біля вихідного отвору. Отримані співвідношення (22) були ви- користані для розроблення технологічної документації на виготовлення екс- периментального зразка електронної гармати ВТР. КОНТРОЛЬ ВХІДНИХ ПАРАМЕТРІВ МОДЕЛІ ЕЛЕКТРОДНОЇ СИСТЕМИ ВИСОКОВОЛЬТНОГО ТЛІЮЧОГО РОЗРЯДУ З ВИКОРИСТАННЯМ ГРАФІЧНОГО ІНТЕРФЕЙСУ КОРИСТУВАЧА ТА ДІАЛОГОВИХ ВІКОН Отримані результати щодо обмежень на параметри моделі, задані співвід- ношеннями (10)–(22), використані у програмному комплексі, призначеному для моделювання електронно-оптичних властивостей електродних систем ВТР, які формують профільні електронні пучки. Це дозволило значною мі- рою підвищити надійність роботи створених програмних засобів та уникну- ти обчислювальних помилок під час роботи програми. Процедуру контролю вхідних параметрів моделі реалізовано з використанням засобів програму- вання системи MatLab [21, 22]. Вікно вхідного інтерфейсу цієї програми по- казано на рис. 4, а діалогове вікно для введення геометричних конструктив- них параметрів моделі — на рис. 5. Рис. 4. Вхідний інтерфейс програми моделювання електродної системи ВТР, конс- труктивна схема якої наведена на рис. 2, екранна копія І.В. Мельник, А.В. Починок ISSN 1681–6048 System Research & Information Technologies, 2019, № 1 62 Рис. 5. Діалогове вікно для введення конструктивних розмірів електродної системи ВТР, зображеної на рис. 2, екранна копія Рис. 6. Діалогові вікна контролю вхідних параметрів моделі газорозрядної гармати ВТР, яка формує профільні електронні пучки: а — вікно повідомлення про помил- ку вхідних параметрів, екранна копія; б — вікно з попередженням про необхідність строгого дотримання технологічних допусків, екранна копія a б Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат … Системні дослідження та інформаційні технології, 2019, № 1 63 Перевірити коректність уведених параметрів моделі за співвідношен- нями (7–19, 22) можна натисненням відповідної кнопки «Контроль вхідних даних» у діалоговому вікні. У разі натиснення кнопки «Розрахунок електро- дної системи» також виконується відповідний контроль параметрів моделі, що дозволяє уникнути помилки розрахунків. У випадку, коли в ході контро- лю вхідних параметрів моделі виявляються помилки, виводяться діалогові вікна з відповідними повідомленнями про необхідність коригування вхідних даних; одне з таких вікон показано на рис 6, а. У програмі окремо аналізу- ється випадок, коли обмеження (7)–(19) виконуються, але невиконання ви- мог до технологічних допусків, заданих співвідношеннями (22), може при- звести або до пробивання газового проміжку, або до істотних втрат струму електронного пучка в області його виведення з розрядної камери гармати в технологічну камеру. Одне з діалогових вікон із таким попередженням показано на рис. 6, б. АНАЛІЗ ОТРИМАНИХ РЕЗУЛЬТАТІВ ТА ВИСНОВКИ Запропонована система конструктивних параметрів фізико-топологічної мо- делі електродних систем ВТР, які формують профільні електронні пучки, є повною, замкненою та несуперечливою. Обмеження, які накладаються на геометричні параметри моделі, записані у вигляді строгих правил через ма- тематичні нерівності та реалізовані у програмному комплексі, призначеному для моделювання таких електродних систем. Головною відмітною особливі- стю запропонованої моделі та її перевагою над попередніми є те, що як ключовий конструктивний параметр розглядається кут нахилу твірної конус- ного анода до осі симетрії системи. Уведення цього ключового параметра дало змогу зробити розроблену модель досить універсальною і розглядати електродні системи ВТР, які формують не лише порожнисті конусні, але й дискові та трубчасті електронні пучки. Це дозволило звести до мінімуму кількість геометричних параметрів конструкції електродної системи та встановити зв’язки між взаємозалежними параметрами через прості триго- нометричні співвідношення. На базові конструктивні параметри моделі на- кладаються не лише геометричні, але й відповідні фізичні, технологічні та обчислювальні обмеження. Тестування розробленого програмного комплек- су, призначеного для моделювання електродних систем ВТР, які формують профільні електронні пучки, показало високу надійність роботи розробле- них програмних засобів. Отримані у роботі результати мають велику практичну цінність для фа- хівців, які займаються проектуванням електронних гармат ВТР та їх упрова- дженням для реалізації сучасних електронно-променевих технологій у се- рійному та масовому виробництві. ЛІТЕРАТУРА 1. Новиков А.А. Источники электронов высоковольтного тлеющего разряда с анодной плазмой / А.А. Новиков. — М.: Энергоатомиздат, 1983. — 96 с. І.В. Мельник, А.В. Починок ISSN 1681–6048 System Research & Information Technologies, 2019, № 1 64 2. Плазменные процессы в технологических электронных пушках / М.А. Завья- лов, Ю.Е. Крейндель, А.А. Новиков, Л.П. Шантурин. — М.: Атомиздат, 1989. — 256 с. 3. Ладохин С.В. Электронно-лучевая плавка в литейном производстве / С.В. Ла- дохин, Н.И. Левитский, В.Б. Черннявский, Т.В. Лапшук та ін. — К.: Сталь, 2007. — 605 с. 4. Feinaeugle P. A new generation of plasma-based electron beam sources with high power density as a novel tool for high-rate PVD / P. Feinaeugle, G. Mattausch, S. Schmidt, F.H. Roegner // Society of Vacuum Coaters, 54-th Annual Technical Conference Proceedings, Chicago. — 2011. — P. 202–209. 5. Mattausch G. Gas discharge electron sources – proven and novel tools for thin-film technologies / G. Mattausch, B. Zimmermann, F. Fietzke, J.P. Heinss et al. // Elektrotechnica and Electronica (E+E). — 2014. — Vol. 49, N 5–6. — P. 183–195. 6. Grechanyuk M.I. Modern electron beam technologies and equipment for melting and physical vapor deposition of different materials / M.I. Grechanyuk, A.G. Melnyk, I.M. Grechanyuk, V.G. Melnyk et al. // Elektrotechnica and Electronica (E+E). — 2014. — Vol. 49, N 5–6. — P. 115–121. 7. Denbnovetsky S.V. High voltage glow discharge electron sources and possibilities of its application in industry for realising of different technological operations / S.V. Denbnovetsky, V.G. Melnyk, I.V. Melnyk // IEEE Transactions on plasma science. — 2003. —Vol. 31, N 5. — P. 987–993. 8. Melnik I.V. Simulation of geometry of high voltage glow discharge electrodes’ sys- tems, formed profile electron beams / I.V. Melnik // Proceedings of SPIE, Vol. 6278, Seventh Seminar on Problems of Theoretical and Applied Electron and Ion Optics. — P. 627809-1–627809-13. 9. Denbnovetsky S.V. Model Of Beam Formation In A Glow Discharge Electron Gun With A Cold Cathode / S.V. Denbnovetsky, J. Felba, V.I. Melnik, I.V. Melnik // Applied Surface Science, 111 (1997). — P. 288–294. 10. Мельник И.В. Методика моделирования технологических источников электро- нов высоковольтного тлеющего разряда / И.В. Мельник, С.Б. Тугай // Элек- тронное моделирование. — 2010. — Т. 32. — № 6. — С. 31–43. 11. Мельник И.В. Исследование электронно-ионной оптики электродных систем высоковольтного тлеющего разряда с использованием методов компьютер- ного анализа зображений / И.В. Мельник // Электронное моделирование. — 2007. — Т. 29, № 1. — С. 45–58. 12. Норенков И.П. Основы теории и проектирования САПР / И.П. Норенков, В.Б. Маничев. — М.: Высш. шк., 1990. — 336 с. 13. Мельник И.В. Классификация моделей электронно-оптических систем с точки зрения методологии САПР / И.В. Мельник // Электроника и связь. — 2007. — № 2(37). — С. 20–31. 14. Мельник И.В. Инженерные допуски на конструктивные параметры технологи- ческих источников электронов высоковольтного тлеющего разряда / И.В. Мельник // Электроника и связь, темат. вып. «Проблемы электроники». — 2007. — Ч. 1. — С. 66–70. 15. Ильин В.П. Численные методы решения задач электрофизики / В.П. Ильин. — М.: Наука, 1985. — 336 с. 16. Справочник по математике для инженеров и учащихся ВУЗов / И.Н. Брон- штейн, К.А. Семендяев. — М.: Наука, 1981. — 720 с. 17. Мельник В.И. Моделирование температурных режимов работы катода источ- ников электронов высоковольтного тлеющего разряда на основе решения уравнения теплового баланса / В.И. Мельник, И.В. Мельник // Вестн. Херсон. нац. техн. ун-та. — 2010. — Вып. 3 (39). — С. 311–315. Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат … Системні дослідження та інформаційні технології, 2019, № 1 65 18. Райзер Ю.П. Физика газового разряда / Ю.П. Райзер. — М.: Наука, 1987. — 592 с. 19. Денбновецкий С.В. Основы автоматизированного проектирования электронных пирборов / С.В. Денбновецкий, Л.Д. Писаренко, В.К. Резниченко. — К.: Вища. шк.., 1987. — 335 с. 20. Силадьи М. Электронная и ионная оптика / М. Силадьи. — М.: Мир, 1990. — 640 с. 21. Мельник І.В. Система науково-технічних розрахунків MatLab та її використан- ня для розв’язання задач із електроніки: навч. посіб. у 2 т. Т. 1. Основи ро- боти та функції системи. — К.: Ун-т «Україна», 2009. — 507 с. 22. Мельник І.В. Система науково-технічних розрахунків MatLab та її використан- ня для розв’язання задач із електроніки: навч. посіб. у 2 т. Т. 2. Основи про- грамування та розв’язання прикладних задач. — К.: Ун-т «Україна», 2009. — 327 с. Надійшла 18.12.2018
id	journaliasakpiua-article-168261
institution	System research and information technologies
keywords_txt_mv	keywords
language	Ukrainian
last_indexed	2025-07-17T10:25:06Z
publishDate	2019
publisher	The National Technical University of Ukraine "Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute"
record_format	ojs
resource_txt_mv	journaliasakpiua/a8/72743e27e6a37d7f3b8da6c8362153a8.pdf
spelling	journaliasakpiua-article-1682612019-08-07T15:26:27Z The system of constructive geometrical parameters of model of high voltage glow discharge electron guns, producing profile electron beams Система конструктивных геометрических параметров модели электронных пушек высоковольтного тлеющего разряда, формирующих профильные электронные пучки Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки Melnyk, Igor V. Pochynok, Alina V. система параметров модели конструктивные параметры геометрические параметры электронная пушка электродная система высоковольтный тлеющий разряд профильный электронный пучок system of model parameters constructive parameters geometrical parameters electron gun electrodes’ system high voltage glow discharge profile electron beam система параметрів моделі конструктивні параметри геометричні параметри електронна гармата електродна система високовольтний тліючий розряд профільний електронний пучок The system of constructive geometrical parameters of the model of electrodes’ systems of high voltage glow discharge electron guns, producing the profile electron beams with the ring-like focus, is considered in the article. The distinguishing feature of a proposed model is taking the slope angle of generating line of the conic anode surface relatively to the electrodes’ system symmetry axis as the basic parameter. The set of inequalities has been constructed which defines the geometrical, physical and computing limitations on the constructive parameters of a simulated system, as well as its technological tolerable limits. The complete, closed and consistent system of geometrical parameters of a model of electrodes’ systems of high voltage glow discharge electron guns, producing profile electron beams with the ring-like focus, have been created as a result of conducted research. Formed limitations to the constructive model’s parameters, written as the set of inequalities, have been used in the software application, intended for simulation of high voltage glow discharge electron guns electrodes’ systems, for the purpose of control of input model parameters at the first step of a computer simulation. Рассмотрена система конструктивных геометрических параметров модели электродных систем электронных пушек высоковольтного тлеющего разряда, формирующих профильные электронные пучки с кольцевым фокусом. Отличительной чертой предложенной модели является то, что в качестве ключевого параметра выбран угол наклона образующей поверхности конического анода к оси симметрии электродной системы. Сформирована система неравенств, определяющих геометрические, физические и вычислительные ограничения на конструктивные параметры моделируемой электродной системы, а также технологические допуски на них. В результате проведенных исследований создана полная, замкнутая и непротиворечивая система геометрических параметров модели электродных систем электронных пушек высоковольтного тлеющего разряда, формирующих профильные электронные пучки с кольцевым фокусом. Сформированы ограничения на конструктивные параметры модели, представленные в виде системы неравенств, использованы в программном комплексе, предназначенном для моделирования электродных систем электронных пушек высоковольтного тлеющего разряда, с целью контроля входных параметров модели на начальном этапе компьютерного моделирования. Розглянуто систему конструктивних параметрів моделі електродних систем електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки з кільцевим фокусом. Відмітною рисою запропонованої моделі є те, що як ключовий параметр обрано кут нахилу твірної поверхні конусного анода до осі симетрії електродної системи. Сформовано систему нерівностей, які визначають геометричні, фізичні та обчислювальні обмеження на конструктивні параметри модельованої електродної системи, а також технологічні допуски на них. Як результат проведених досліджень створено повну, замкнену та несуперечливу систему геометричних параметрів моделі електродних систем електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки із кільцевим фокусом. Сформовані обмеження на конструктивні параметри моделі, подані у вигляді системи нерівностей, використано у програмному комплексі, призначеному для моделювання електродних систем електронних гармат високовольтного тліючого розряду, з метою контролю вхідних параметрів моделі на початковому етапі комп’ютерного моделювання. The National Technical University of Ukraine "Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute" 2019-03-25 Article Article application/pdf https://journal.iasa.kpi.ua/article/view/168261 10.20535/SRIT.2308-8893.2019.1.04 System research and information technologies; No. 1 (2019); 50-65 Системные исследования и информационные технологии; № 1 (2019); 50-65 Системні дослідження та інформаційні технології; № 1 (2019); 50-65 2308-8893 1681-6048 uk https://journal.iasa.kpi.ua/article/view/168261/168033 Copyright (c) 2021 System research and information technologies
spellingShingle	система параметрів моделі конструктивні параметри геометричні параметри електронна гармата електродна система високовольтний тліючий розряд профільний електронний пучок Melnyk, Igor V. Pochynok, Alina V. Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки
title	Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки
title_alt	The system of constructive geometrical parameters of model of high voltage glow discharge electron guns, producing profile electron beams Система конструктивных геометрических параметров модели электронных пушек высоковольтного тлеющего разряда, формирующих профильные электронные пучки
title_full	Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки
title_fullStr	Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки
title_full_unstemmed	Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки
title_short	Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки
title_sort	система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки
topic	система параметрів моделі конструктивні параметри геометричні параметри електронна гармата електродна система високовольтний тліючий розряд профільний електронний пучок
topic_facet	система параметров модели конструктивные параметры геометрические параметры электронная пушка электродная система высоковольтный тлеющий разряд профильный электронный пучок system of model parameters constructive parameters geometrical parameters electron gun electrodes’ system high voltage glow discharge profile electron beam система параметрів моделі конструктивні параметри геометричні параметри електронна гармата електродна система високовольтний тліючий розряд профільний електронний пучок
url	https://journal.iasa.kpi.ua/article/view/168261
work_keys_str_mv	AT melnykigorv thesystemofconstructivegeometricalparametersofmodelofhighvoltageglowdischargeelectrongunsproducingprofileelectronbeams AT pochynokalinav thesystemofconstructivegeometricalparametersofmodelofhighvoltageglowdischargeelectrongunsproducingprofileelectronbeams AT melnykigorv sistemakonstruktivnyhgeometričeskihparametrovmodeliélektronnyhpušekvysokovolʹtnogotleûŝegorazrâdaformiruûŝihprofilʹnyeélektronnyepučki AT pochynokalinav sistemakonstruktivnyhgeometričeskihparametrovmodeliélektronnyhpušekvysokovolʹtnogotleûŝegorazrâdaformiruûŝihprofilʹnyeélektronnyepučki AT melnykigorv sistemakonstruktivnihgeometričnihparametrívmodelíelektronnihgarmatvisokovolʹtnogotlíûčogorozrâduâkíformuûtʹprofílʹníelektronnípučki AT pochynokalinav sistemakonstruktivnihgeometričnihparametrívmodelíelektronnihgarmatvisokovolʹtnogotlíûčogorozrâduâkíformuûtʹprofílʹníelektronnípučki AT melnykigorv systemofconstructivegeometricalparametersofmodelofhighvoltageglowdischargeelectrongunsproducingprofileelectronbeams AT pochynokalinav systemofconstructivegeometricalparametersofmodelofhighvoltageglowdischargeelectrongunsproducingprofileelectronbeams

Система конструктивних геометричних параметрів моделі електронних гармат високовольтного тліючого розряду, які формують профільні електронні пучки

Institution

Ähnliche Einträge