Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
Improvement of physical, mechanical and chemical properties of thin nitride films depends on the methods of their deposition and improvement of the structure, which determines the obtained properties. In the production of nitride films, which are promising in solid-state microelectronics and instrum...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут енергетичних машин і систем ім. А. М. Підгорного Національної академії наук України
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://journals.uran.ua/jme/article/view/19925 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Journal of Mechanical Engineering |
Репозитарії
Journal of Mechanical EngineeringСхожі ресурси
Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
за авторством: Василенко, Наталья Афанасьевна, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Василенко, Наталья Афанасьевна, та інші
Опубліковано: (2014)
Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Use of detonation sputtering to increase the durability of hydraulic hammer critical parts
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2021)
The choice of methods znosotyykosty improving vehicle appointment
за авторством: Остапчук, Віктор Миколайович
Опубліковано: (2014)
за авторством: Остапчук, Віктор Миколайович
Опубліковано: (2014)
The choice of methods znosotyykosty improving vehicle appointment
за авторством: Остапчук, Віктор Миколайович
Опубліковано: (2014)
за авторством: Остапчук, Віктор Миколайович
Опубліковано: (2014)
Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
за авторством: N. A. Vasilenko, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: N. A. Vasilenko, та інші
Опубліковано: (2013)
The use of negative bias potential for structural engineering of vacuum-arc nitride coatings based on high-entropy alloys
за авторством: Sobol', O.V., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Sobol', O.V., та інші
Опубліковано: (2019)
Influence of surface pre-heating on the nitriding depth of steel 25CrMoVA used complex ion-plasma treatment
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2021)
TiO₂-2 radiating damages as a result of the irradiation helium ions with energies of 0.12 and 4 MeV on the linear accelerator
за авторством: Butenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Butenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2023)
New concept of the main part of multicharged ions linear accelerator on the combined RF focusing basis
за авторством: Tishkin, S.S., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Tishkin, S.S., та інші
Опубліковано: (2023)
On the possibility of obtaining a beam of heavy ions in the form of an “open umbrella” with subsequent deposition in the separator manifold
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2023)
Movement of charged particles in magnetic and nonuniform stochastic electric fields
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2021)
Spatial separation of ions of a given mass range in the demo-imitation separator at the first turn of ionic trajectory
за авторством: Katrechko, V.V., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Katrechko, V.V., та інші
Опубліковано: (2021)
Modernization of the helium ion accelerator microwave power supply system
за авторством: Gaponenko, N.I., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Gaponenko, N.I., та інші
Опубліковано: (2023)
Simulation of the compensation of a high-current ion beam by an electron beam in a cusp magnetic system
за авторством: Onishchenko, I.N., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Onishchenko, I.N., та інші
Опубліковано: (2021)
Surface microhardness of stainless steel which are modified by ionic implantation
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович
Опубліковано: (2014)
Surface microhardness of stainless steel which are modified by ionic implantation
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович
Опубліковано: (2014)
Simulation of ion-atom interactions at the corpuscular bombardment of the surface of steel samples
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович, та інші
Опубліковано: (2014)
Simulation of ion-atom interactions at the corpuscular bombardment of the surface of steel samples
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович, та інші
Опубліковано: (2014)
Kinetic regularities of the formation of gas products under the influence of ionizing radiation on biomass
за авторством: Khalilov, Z.Z., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Khalilov, Z.Z., та інші
Опубліковано: (2019)
Structure and properties of Fe-B-C powders alloyed with Cr, V, Mo or Nb for plasma-sprayed coatings
за авторством: Sukhova, O.V.
Опубліковано: (2020)
за авторством: Sukhova, O.V.
Опубліковано: (2020)
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
за авторством: Novikov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Novikov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)
Pure iron and nickel for new structural reactor materials
за авторством: Pylypenko, M.M., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Pylypenko, M.M., та інші
Опубліковано: (2019)
Structural stability of Ti-N and Zr-N coatings at emission tests in mode of pulses
за авторством: Shirokov, B.M., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Shirokov, B.M., та інші
Опубліковано: (2022)
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2021)
Rare-earth permanent magnet in magnetic system of electron accelerator with the energy of 10 MеV
за авторством: Bovda, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Bovda, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Study of nanomodification of nickel alloy GS3 with titanium carbide
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2023)
Effect of the matrix and filler phase composition on the erosion resistance of carbon-carbon composite materials fabricated by the gas-phase infiltration method
за авторством: Gribanov, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Gribanov, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2020)
Influence of the magnitude of the bias potential and thickness of the layers on the structure, substructure, stress-deformed state and mechanical characteristics of vacuum-arc multi-layered (TiMo)N/(TiSi)N coatings
за авторством: Sobol, O.V., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Sobol, O.V., та інші
Опубліковано: (2020)
Structure and properties of FeCr, CrAl and FeCrAl coatings deposited by cathodic arc evaporation
за авторством: Vasilenko, R.L., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Vasilenko, R.L., та інші
Опубліковано: (2021)
Erosion of Co-Cr-W alloy and coating on its basis under the action of cavitation
за авторством: Kovalenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Kovalenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)
Optimization of diamond-like carbon coatings for mechanical and tribological applications. Review
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)
Study of wear of the building-up zone of martensite-austenitic and secondary hardening steels of the Cr-Mn-Ti system
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2023)
Corrosion resistance of reinforced layers of 15Х11MF steel steam turbine blades
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2021)
Properties of 15Cr12WNiMoV steel after vacuum activated chromium plating of its surface
за авторством: Rudenky, S.G., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Rudenky, S.G., та інші
Опубліковано: (2021)
Studying the changes in the characteristics of radiation-protective composition materials in dependence on homogeneity of distributing of metal components
за авторством: Prokhorenko, E.M., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Prokhorenko, E.M., та інші
Опубліковано: (2019)
Влияние различных режимов термообработки на ударную вязкость металлического слоистого композита (МСК) на основе стали 3 и меди М1
за авторством: Воеводин, В.Н., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Воеводин, В.Н., та інші
Опубліковано: (2021)
Effect of chromium coatings on the mechanical properties of Zr1Nb fuel claddings in longitudinal and transverse directions
за авторством: Belous, V.А., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Belous, V.А., та інші
Опубліковано: (2019)
Strengthening of pipe tools for cold roller rolling of corrosion-resistant pipes by application of amorphous alloys
за авторством: Krivchik, L., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Krivchik, L., та інші
Опубліковано: (2021)
Welding of defects in cast cases of turbines with perlite electrodes without heating and thermal processing
за авторством: Efimenko, N.G., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Efimenko, N.G., та інші
Опубліковано: (2020)