Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
Improvement of physical, mechanical and chemical properties of thin nitride films depends on the methods of their deposition and improvement of the structure, which determines the obtained properties. In the production of nitride films, which are promising in solid-state microelectronics and instrum...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут енергетичних машин і систем ім. А. М. Підгорного Національної академії наук України
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://journals.uran.ua/jme/article/view/19925 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Journal of Mechanical Engineering |
Репозитарії
Journal of Mechanical EngineeringСхожі ресурси
Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
за авторством: Василенко, Наталья Афанасьевна, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Василенко, Наталья Афанасьевна, та інші
Опубліковано: (2014)
Surface microhardness of stainless steel which are modified by ionic implantation
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович
Опубліковано: (2014)
Surface microhardness of stainless steel which are modified by ionic implantation
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович
Опубліковано: (2014)
The choice of methods znosotyykosty improving vehicle appointment
за авторством: Остапчук, Віктор Миколайович
Опубліковано: (2014)
за авторством: Остапчук, Віктор Миколайович
Опубліковано: (2014)
The choice of methods znosotyykosty improving vehicle appointment
за авторством: Остапчук, Віктор Миколайович
Опубліковано: (2014)
за авторством: Остапчук, Віктор Миколайович
Опубліковано: (2014)
Energy-saving processing of galvanic sludge by the feritization method
за авторством: Yemchura, Bogdan, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Yemchura, Bogdan, та інші
Опубліковано: (2020)
Analysis and features work modes specifics charger nickelmetal hydrid and lithium-iron batteries
за авторством: Budko, V.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Budko, V.
Опубліковано: (2017)
VARIATIONS OF PLASMA TEMPERATURES IN IONOSPHERE OVER KHARKIV DURING EXTREME SOLAR MINIMUM
за авторством: Siusiuk, M. M., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Siusiuk, M. M., та інші
Опубліковано: (2016)
Influence of climate change and enlargement of irrigated soils on qualitative indicators of river water
за авторством: Ganiyeva, Sachli A., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Ganiyeva, Sachli A., та інші
Опубліковано: (2022)
A study of applications of nanotexturized sapphire as a template for MOCVD-heteroepitaxy of III-nitrides
за авторством: Sukhovii, N. O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Sukhovii, N. O., та інші
Опубліковано: (2018)
VARIATIONS OF PLASMA TEMPERATURES IN IONOSPHERE OVER KHARKIV IN THE SOLAR ACTIVITY GROWTH PHASE
за авторством: Siusiuk, M. M., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Siusiuk, M. M., та інші
Опубліковано: (2016)
Simulation of ion-atom interactions at the corpuscular bombardment of the surface of steel samples
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович, та інші
Опубліковано: (2014)
Simulation of ion-atom interactions at the corpuscular bombardment of the surface of steel samples
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, Виталий Викторович, та інші
Опубліковано: (2014)
ADAPTIVE ALGORITHM FOR CONTROLLING THE CHARGING PROCESS OF USED LITHIUM-ION BATTERIES BASED ON FUZZY LOGIC
за авторством: Havryliuk , S., та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Havryliuk , S., та інші
Опубліковано: (2025)
Mathematical modeling of working cycle of perspective pneumatic engine
за авторством: Крамской, А. В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Крамской, А. В., та інші
Опубліковано: (2016)
Mathematical modeling of working cycle of perspective pneumatic engine
за авторством: Крамской, А. В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Крамской, А. В., та інші
Опубліковано: (2016)
Advanced resource-efficient technologies for Chromium (VI) removal from industrial wastewater: analysis and reuse potential
за авторством: Poroshenko, Serhii, та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Poroshenko, Serhii, та інші
Опубліковано: (2025)
Underground hydrosphere and geofluids of the Earth’s crust and upper mantle
за авторством: Kudelsky, A.V.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kudelsky, A.V.
Опубліковано: (2017)
ОСОБЛИВОСТІ ДОСЛІДЖЕННЯ АНТРОПОГЕНОВИХ ВІДКЛАДІВ ТЕРМОЛЮМІНЕСЦЕНТНИМ МЕТОДОМ
за авторством: Prylypko, S., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Prylypko, S., та інші
Опубліковано: (2013)
ГЕОХРОНОЛОГІЯ СУБАЕРАЛЬНИХ ВІДКЛАДІВ РОЗРІЗУ МАКСИМІВКА ЗА ДАНИМИ РАДІОТЕРМОЛЮМІНЕСЦЕНТНОГО АНАЛІЗУ
за авторством: Shovkoplyas, V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Shovkoplyas, V., та інші
Опубліковано: (2012)
Numerical modeling of multidiensional gas flows with implicit iterative scheme
за авторством: Гризун, М. Н., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гризун, М. Н., та інші
Опубліковано: (2015)
Numerical modeling of multidiensional gas flows with implicit iterative scheme
за авторством: Гризун, М. Н., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гризун, М. Н., та інші
Опубліковано: (2015)
ПРУЖНІ ВЛАСТИВОСТІ І ПЛАСТИЧНІСТЬ ПОЛІКРИСТАЛІВ ТА РІЖУЧИХ КОМПОЗИЦІЙНИХ МАТЕРІАЛІВ НА ОСНОВІ КУБІЧНОГО НІТРИДУ БОРУ
за авторством: Запорожець, О. І, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Запорожець, О. І, та інші
Опубліковано: (2019)
Numerical implementation of boundary conditions at permeable boundaries for the gasdynamics equations
за авторством: Ершов, С. В.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ершов, С. В.
Опубліковано: (2016)
The problems of elaboration of methods of a finish machining application by intensive thermal fluxes
за авторством: Планковский, С. И., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Планковский, С. И., та інші
Опубліковано: (2016)
The problems of elaboration of methods of a finish machining application by intensive thermal fluxes
за авторством: Планковский, С. И., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Планковский, С. И., та інші
Опубліковано: (2016)
Numerical implementation of boundary conditions at permeable boundaries for the gasdynamics equations
за авторством: Ершов, С. В.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ершов, С. В.
Опубліковано: (2016)
High-tempe-rature reflective coatings for long-term storage media
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2019)
A tabu search approach to the jump number problem
за авторством: Krysztowiak, Przemysław, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Krysztowiak, Przemysław, та інші
Опубліковано: (2015)
Experimental study of the formation of surface roughness of the sprayed ceramic layer on the necks of the rotor shafts of gas turbine
за авторством: Лебедев, Владимир, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Лебедев, Владимир, та інші
Опубліковано: (2014)
Experimental study of the formation of surface roughness of the sprayed ceramic layer on the necks of the rotor shafts of gas turbine
за авторством: Лебедев, Владимир, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Лебедев, Владимир, та інші
Опубліковано: (2014)
The numerical simulation of a 3D flow in the VKI-GENOA turbine cascade taking into account the laminar-turbulent transition
за авторством: Ершов, С. В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ершов, С. В., та інші
Опубліковано: (2015)
The numerical simulation of a 3D flow in the VKI-GENOA turbine cascade taking into account the laminar-turbulent transition
за авторством: Ершов, С. В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ершов, С. В., та інші
Опубліковано: (2015)
Physicochemical Properties and Antimicrobial Activity of the Streptomyces sp. B19 Antibiotic
за авторством: Matselyukh, B.P., та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Matselyukh, B.P., та інші
Опубліковано: (2025)
Annual cycle of phytoplankton in the Pacific ocean near Guatemala in relation to physicochemical parameters
за авторством: Paz-Cordón, K.E., та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: Paz-Cordón, K.E., та інші
Опубліковано: (2024)
Numerical Analysis of Working Processes in the Blade Channels of the Highly-Loaded Turbine of a Marine Gas Turbine Engine, Using a Refined Finite Element Model
за авторством: Morhun, Serhii O.
Опубліковано: (2019)
за авторством: Morhun, Serhii O.
Опубліковано: (2019)
Numerical Analysis of Working Processes in the Blade Channels of the Highly-Loaded Turbine of a Marine Gas Turbine Engine, Using a Refined Finite Element Model
за авторством: Morhun, Serhii O.
Опубліковано: (2019)
за авторством: Morhun, Serhii O.
Опубліковано: (2019)
Cryptographic Protection of Information Objects by Block Transformation from the Positional Namber System into the Residual Classes System
за авторством: Матов, О. Я., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Матов, О. Я., та інші
Опубліковано: (2012)
On various rank conditions in infinite groups
за авторством: Dixon, M. R., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dixon, M. R., та інші
Опубліковано: (2018)
REACTIVE POWER COMPENSATION IN ASYNCHRONOUS ELECTRIC DRIVES.
за авторством: Malyar, V. S., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Malyar, V. S., та інші
Опубліковано: (2013)