Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂
By means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target, the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficie...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , , , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100317 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-100317 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Torianik, I.N. Beresnev, V.M. Pogrebnjak, A.D. Sobol, O.V. Beresneva, Ye.V. Podcherniaieva, I.A. Kropotov, A.Yu. Stiervoiedov, N.G. Turbin, P.V. Kolesnikov, D.A. Grankin, S.S. Nyemchenko, U.S. Srebniuk, P.A. Novikov, V.Yu. 2016-05-19T17:06:03Z 2016-05-19T17:06:03Z 2013 Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100317 539.2: 538.975 By means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target, the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficient of 0.07. The hardness of the coatings reaches 15.3 GPa, and the modulus of elasticity is 206 GPa. The coatings are characterized by high adhesion strength to the substrate. Магнетронным методом распыления, с применением постоянного и импульсного напряжений намишень, полученыпокрытия на основе керамики AlN-TiB₂-TiSi₂. Выявлено аморфноподобную структуру сформированных покрытий с областью упорядочения ~ 1 нм и коэффициентом вязкопластичности 0,07. Твердость покрытий достигает 15,3 ГПа, а модуль упругости составляет 206 ГПа. Покрытия характеризуются высокой адгезионной прочностью по отношению к подложке. Магнетронним методом розпилення, іззастосуванням постійної та імпульсної напруг на мішень, отримані покриття на основі кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂. Виявлено аморфноподібну структуру сформованих покриттів із областю впорядкування ~1 нм і коефіцієнтом в’язкопластичності 0,07. Твердість покриттів досягає 15,3 ГПа, а модуль пружності складає 206 ГПа. Покриття характеризуються високою адгезійною міцністю по відношенню до підкладинки. en Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ Магнетронное распыление высокотемпературной композиционной керамики AlN-TiB₂-TiSi₂ Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂ Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| spellingShingle |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ Torianik, I.N. Beresnev, V.M. Pogrebnjak, A.D. Sobol, O.V. Beresneva, Ye.V. Podcherniaieva, I.A. Kropotov, A.Yu. Stiervoiedov, N.G. Turbin, P.V. Kolesnikov, D.A. Grankin, S.S. Nyemchenko, U.S. Srebniuk, P.A. Novikov, V.Yu. |
| title_short |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_full |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_fullStr |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_full_unstemmed |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_sort |
magnetron sputtering of high temperature composite ceramics aln-tib₂-tisi₂ |
| author |
Torianik, I.N. Beresnev, V.M. Pogrebnjak, A.D. Sobol, O.V. Beresneva, Ye.V. Podcherniaieva, I.A. Kropotov, A.Yu. Stiervoiedov, N.G. Turbin, P.V. Kolesnikov, D.A. Grankin, S.S. Nyemchenko, U.S. Srebniuk, P.A. Novikov, V.Yu. |
| author_facet |
Torianik, I.N. Beresnev, V.M. Pogrebnjak, A.D. Sobol, O.V. Beresneva, Ye.V. Podcherniaieva, I.A. Kropotov, A.Yu. Stiervoiedov, N.G. Turbin, P.V. Kolesnikov, D.A. Grankin, S.S. Nyemchenko, U.S. Srebniuk, P.A. Novikov, V.Yu. |
| publishDate |
2013 |
| language |
English |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Магнетронное распыление высокотемпературной композиционной керамики AlN-TiB₂-TiSi₂ Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| description |
By means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target,
the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the
obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficient
of 0.07. The hardness of the coatings reaches 15.3 GPa, and the modulus of elasticity is 206 GPa.
The coatings are characterized by high adhesion strength to the substrate.
Магнетронным методом распыления, с применением постоянного и импульсного напряжений
намишень, полученыпокрытия на основе керамики AlN-TiB₂-TiSi₂. Выявлено аморфноподобную
структуру сформированных покрытий с областью упорядочения ~ 1 нм и коэффициентом вязкопластичности 0,07. Твердость покрытий достигает 15,3 ГПа, а модуль упругости составляет 206 ГПа. Покрытия характеризуются высокой адгезионной прочностью по отношению к подложке.
Магнетронним методом розпилення, іззастосуванням постійної та імпульсної напруг на мішень,
отримані покриття на основі кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂. Виявлено аморфноподібну структуру
сформованих покриттів із областю впорядкування ~1 нм і коефіцієнтом в’язкопластичності
0,07. Твердість покриттів досягає 15,3 ГПа, а модуль пружності складає 206 ГПа. Покриття
характеризуються високою адгезійною міцністю по відношенню до підкладинки.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100317 |
| citation_txt |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT torianikin magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT beresnevvm magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT pogrebnjakad magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT sobolov magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT beresnevayev magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT podcherniaievaia magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT kropotovayu magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT stiervoiedovng magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT turbinpv magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT kolesnikovda magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT grankinss magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT nyemchenkous magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT srebniukpa magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT novikovvyu magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT torianikin magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT beresnevvm magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT pogrebnjakad magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT sobolov magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT beresnevayev magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT podcherniaievaia magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT kropotovayu magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT stiervoiedovng magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT turbinpv magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT kolesnikovda magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT grankinss magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT nyemchenkous magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT srebniukpa magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT novikovvyu magnetronnoeraspylenievysokotemperaturnoikompozicionnoikeramikialntib2tisi2 AT torianikin magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT beresnevvm magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT pogrebnjakad magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT sobolov magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT beresnevayev magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT podcherniaievaia magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT kropotovayu magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT stiervoiedovng magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT turbinpv magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT kolesnikovda magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT grankinss magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT nyemchenkous magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT srebniukpa magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 AT novikovvyu magnetronnerozpilennâvisokotemperaturnoíkompozicíinoíkeramíkialntib2tisi2 |
| first_indexed |
2025-12-07T19:26:30Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:26:30Z |
| _version_ |
1850878816810958848 |