Гладковский, В., Костин, Е., Полозов, Б., Федорович, О., & Петряков, В. (2014). Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Гладковский, В.В, Е.Г Костин, Б.П Полозов, О.А Федорович, und В.А Петряков. "Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2014.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Гладковский, В.В, et al. "Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2014.