Гладковский, В., Костин, Е., Полозов, Б., Федорович, О., & Петряков, В. (2014). Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Гладковский, В.В, Е.Г Костин, Б.П Полозов, О.А Федорович, und В.А Петряков. Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Гладковский, В.В, et al. Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.