Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
Modernization of horizontal low pressure deposition system has been performed. The liquid source delivery system using the bubblers has been developed. The PSG and BPSG film deposition processes and film properties using TEOS-Dimethylphosphite-TEB system have been studied. It is shown that the use o...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100479 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system / A.S. Turtsevich, O.Y. Nalivaiko // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2015. — № 1. — С. 49-58. — Бібліогр.: 34 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
за авторством: A. S. Turtsevich, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: A. S. Turtsevich, та інші
Опубліковано: (2015)
Структура полимерных композитов на основе диоксида ванадия и их диэлектрические свойства в диапазоне радиочастот
за авторством: Колбунов, В.Р., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Колбунов, В.Р., та інші
Опубліковано: (2015)
Влияние отжига на ВАХ гетероперехода n-ZnO—p-InSe
за авторством: Ковалюк, З.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ковалюк, З.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
Исследование кристаллов Cu₂ZnSnTe₄ и гетеропереходов на их основе
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2015)
Молекулярная модель и химическая связь теллура
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
Получение и свойства пористого карбида кремния
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-TiO₂:Mn/p-CdTe
за авторством: Мостовой, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Мостовой, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Разработка сцинтилляторов на основе соединений AIIBVI для медицинского и технического радиационного приборостроения
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
за авторством: Горев, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Горев, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2008)
Влагоустойчивость транзисторов в пластмассовых корпусах на основе эпоксинаволачных смол
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Использование керамики на основе твердых растворов (Ni, Co, Mn, Cu)₃O₄для толстопленочных терморезисторов
за авторством: Шпотюк, О.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Шпотюк, О.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние содержания серы на сцинтилляционные свойства смешанных кристаллов ZnSxSe1–x
за авторством: Трубаева, O.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Трубаева, O.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
Сцинтиляційні матеріали на основі твердих розчинів ZnSxSe₁₋x
за авторством: Трубаєва, О.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Трубаєва, О.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Способ электродугового восстановления кремния
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Формирование резких границ раздела в эпитаксиальных структурах p+-AlGaAs/n-GaAs методом МОС-гидридной эпитаксии
за авторством: Вакив, Н.М., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Вакив, Н.М., та інші
Опубліковано: (2014)
Выращивание крупногабаритных монокристаллов вольфрамата кадмия с высокой оптической однородностью
за авторством: Сольский, И.М.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Сольский, И.М.
Опубліковано: (2005)
Моделирование деградации радиационно-оптических свойств халькогенидных стеклообразных полупроводников
за авторством: Вакив, Н.М.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Вакив, Н.М.
Опубліковано: (2000)
Нанокомпозиты на основе опаловых матриц с кристаллическими ферротороидальными мультиферроиками
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2012)
Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)
Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oy
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Формирование гетероструктур GaTe/CdSe для использования в солнечных элементах
за авторством: Балицкий, А.А.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Балицкий, А.А.
Опубліковано: (2005)
Влияние пластической деформации на анизотропию электропроводности трансформаторной стали
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
Нанокомпозиты на основе опаловых матриц с 3D-структурой, образованной магнитными наночастицами
за авторством: Ринкевич, А.Б., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ринкевич, А.Б., та інші
Опубліковано: (2008)
Фотоэлектростимулированная пассивация спектрометрических Cd1–xZnxTe-детекторов
за авторством: Загоруйко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Загоруйко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние морфологии поверхности подложек ZnSe:Te на их оптические свойства
за авторством: Махний, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Махний, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)
Исследование процесса термической деполяризации сегнетокерамики (Pb,Sr)(Zr,Ti)O₃
за авторством: Кузенко, Д.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Кузенко, Д.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Высокоэффективные катодные элементы для газоразрядных источников света
за авторством: Севастьянов, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Севастьянов, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Flexible composite scintillators based on ZnWO₄ micro- and nanopowders
за авторством: Tinkova, V.S., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Tinkova, V.S., та інші
Опубліковано: (2019)
Обзор мирового рынка арсенида галлия
за авторством: Наумов, А.В.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Наумов, А.В.
Опубліковано: (2005)
Система паст "Аналог-4" расширяет возможности толстопленочной технологии
за авторством: Пучкова, Н.С., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Пучкова, Н.С., та інші
Опубліковано: (2000)
Способ определения доли кристаллов в стеклокерамическом диэлектрике
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Механизм формирования межслоевых квантовых нитей в легированном цинком Bi₂Te₃
за авторством: Алиева, А.П., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Алиева, А.П., та інші
Опубліковано: (2012)
Механизм регулярных формоизменений микропроволоки при воздействии токовых нагрузок
за авторством: Моисеев, Л.М., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Моисеев, Л.М., та інші
Опубліковано: (2003)
Фотохромная чувствительность модифицированных пленок бактериородопсина для устройств молекулярной электроники
за авторством: Адамов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Адамов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2005)