Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2015
• Main Authors: Жавжаров, Е.Л., Матюшин, В.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2015
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100564
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2015. — № 5-6. — С. 41-44. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Приведены результаты экспериментального исследования процесса получения металлических нанопленок Ag, Cu, Au в среде атомарного водорода. Предложено два метода, позволяющих контролируемо получать пленки металлов толщиной 1—20 нм при вакууме в камере порядка 20 Па. В основе этих методов лежит процесс...