Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
Рассмотрены особенности применения метода рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) для
 исследования химического состава тонких покрытий многокомпонентных нитридов. Показано,
 что расчет концентрации методом фундаментальных параметров для толстых покрытий
 (∼10 мкм) достаточно т...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100589 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов / Е.Н. Решетняк // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 318–325. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862533718151790592 |
|---|---|
| author | Решетняк, Е.Н. |
| author_facet | Решетняк, Е.Н. |
| citation_txt | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов / Е.Н. Решетняк // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 318–325. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Рассмотрены особенности применения метода рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) для
исследования химического состава тонких покрытий многокомпонентных нитридов. Показано,
что расчет концентрации методом фундаментальных параметров для толстых покрытий
(∼10 мкм) достаточно точно позволяет оценивать соотношение металлических компонентов.
Использование такого расчета при анализе тонких слоев в ряде случаев приводит к существенным ошибкам. Предложен способ введения поправки весовой концентрации на толщину
покрытия, позволяющий повысить точность определения состава. Представлены результаты
экспериментов по определению элементного состава тонких покрытий (Ti, Al)N методом РФА
на спектрометре “Спрут-ВМ”.
Розглянуто особливості застосування методу рентгенофлуоресцентного аналізу (РФА) для
дослідження хімічного складу тонких покриттів багатокомпонентних нітридів. Показано, що
розрахунок концентрації методом фундаментальних параметрів для товстих покриттів (10 мкм)
досить точно дозволяє оцінювати співвідношення металевих компонентів. Використання такого
розрахунку при аналізі тонких шарів у ряді випадків призводить до суттєвих помилок. Запропоновано спосіб введення поправки вагової концентрації на товщину покриття, яка дозволяє
підвищити точність визначення складу. Представлені результати експериментів по визначенню
елементного складу покриттів (Ti, Al) N методом РФА на спектрометрі “Спрут-ВМ”.
Features of the application of X-ray fluorescence (XRF) method to the study the chemical composition
of thin multi-component nitride coatings are discussed. It was shown that the calculation of the concentration
for thick coatings (∼10 µm) using the fundamental parameter method allows to estimate the ratio
of metal components accurately. Using such a calculation for the analysis of thin layers in some
cases leads to significant errors. Method of correcting the mass concentration on the thickness of the
coating has been proposed to improve the accuracy of determining the composition. Results of experiments
to determine the elemental composition of thin coatings (Ti, Al)N by XRF spectrometer “SprutVM”
are given.
|
| first_indexed | 2025-11-24T06:03:42Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-100589 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T06:03:42Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Решетняк, Е.Н. 2016-05-24T12:43:17Z 2016-05-24T12:43:17Z 2013 Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов / Е.Н. Решетняк // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 318–325. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100589 543.427.4 Рассмотрены особенности применения метода рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) для
 исследования химического состава тонких покрытий многокомпонентных нитридов. Показано,
 что расчет концентрации методом фундаментальных параметров для толстых покрытий
 (∼10 мкм) достаточно точно позволяет оценивать соотношение металлических компонентов.
 Использование такого расчета при анализе тонких слоев в ряде случаев приводит к существенным ошибкам. Предложен способ введения поправки весовой концентрации на толщину
 покрытия, позволяющий повысить точность определения состава. Представлены результаты
 экспериментов по определению элементного состава тонких покрытий (Ti, Al)N методом РФА
 на спектрометре “Спрут-ВМ”. Розглянуто особливості застосування методу рентгенофлуоресцентного аналізу (РФА) для
 дослідження хімічного складу тонких покриттів багатокомпонентних нітридів. Показано, що
 розрахунок концентрації методом фундаментальних параметрів для товстих покриттів (10 мкм)
 досить точно дозволяє оцінювати співвідношення металевих компонентів. Використання такого
 розрахунку при аналізі тонких шарів у ряді випадків призводить до суттєвих помилок. Запропоновано спосіб введення поправки вагової концентрації на товщину покриття, яка дозволяє
 підвищити точність визначення складу. Представлені результати експериментів по визначенню
 елементного складу покриттів (Ti, Al) N методом РФА на спектрометрі “Спрут-ВМ”. Features of the application of X-ray fluorescence (XRF) method to the study the chemical composition
 of thin multi-component nitride coatings are discussed. It was shown that the calculation of the concentration
 for thick coatings (∼10 µm) using the fundamental parameter method allows to estimate the ratio
 of metal components accurately. Using such a calculation for the analysis of thin layers in some
 cases leads to significant errors. Method of correcting the mass concentration on the thickness of the
 coating has been proposed to improve the accuracy of determining the composition. Results of experiments
 to determine the elemental composition of thin coatings (Ti, Al)N by XRF spectrometer “SprutVM”
 are given. Автор выражает признательность сотрудникам Института физики твердого тела материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ Васильеву В.В., Аксенову Д.С. и Заднепровскому Ю.А. за изготовление образцов покрытий, исследованных в работе ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов Особливості використання рентгенівського флуоресцентного аналізу для визначення складу вакуумно-дугових покриттів нітридів Features of using the x-ray fluorescence analysis for determine the composition of vacuum-arc nitride coatings Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов Решетняк, Е.Н. |
| title | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов |
| title_alt | Особливості використання рентгенівського флуоресцентного аналізу для визначення складу вакуумно-дугових покриттів нітридів Features of using the x-ray fluorescence analysis for determine the composition of vacuum-arc nitride coatings |
| title_full | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов |
| title_fullStr | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов |
| title_full_unstemmed | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов |
| title_short | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов |
| title_sort | особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100589 |
| work_keys_str_mv | AT rešetnâken osobennostiispolʹzovaniârentgenovskogofluorescentnogoanalizadlâopredeleniâsostavavakuumnodugovyhpokrytiinitridov AT rešetnâken osoblivostívikoristannârentgenívsʹkogofluorescentnogoanalízudlâviznačennâskladuvakuumnodugovihpokrittívnítridív AT rešetnâken featuresofusingthexrayfluorescenceanalysisfordeterminethecompositionofvacuumarcnitridecoatings |