Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2013
• Main Author: Решетняк, Е.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100589
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов / Е.Н. Решетняк // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 318–325. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Рассмотрены особенности применения метода рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) для исследования химического состава тонких покрытий многокомпонентных нитридов. Показано, что расчет концентрации методом фундаментальных параметров для толстых покрытий (∼10 мкм) достаточно точно позволяет оценивать...