Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление

Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное
 сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление
 наноструктурных...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2013
Main Authors: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кошевой, К.И., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100591
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев,
 Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862745423214542848
author Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кошевой, К.И.
Опалев, О.А.
Решетняк, Е.Н.
Стрельницкий, В.Е.
author_facet Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кошевой, К.И.
Опалев, О.А.
Решетняк, Е.Н.
Стрельницкий, В.Е.
citation_txt Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев,
 Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
description Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное
 сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление
 наноструктурных алмазных покрытий можно изменять по величине более чем на 3 порядка. Наведено експериментальні результати впливу складу газової фази при синтезі легованих азотом
 наноструктурних алмазних покриттів у плазмі тліючого розряду на їхній питомий опір. Показано,
 що за рахунок зміни складу газової фази питомий опір наноструктурных алмазних покриттів
 можна змінювати по величині більш ніж на 3 порядки. Experimental results of study of influence of gas phase composition on nitrogen-doped nanostructured
 diamond coatings synthesized in glow discharge plasma on their specific resistance have been discussed.
 It was shown, that due to change of gas phase composition the specific resistance of nanostructured
 diamond coatings can be changed by its value more than to 3 orders.
first_indexed 2025-12-07T20:40:25Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-100591
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-12-07T20:40:25Z
publishDate 2013
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кошевой, К.И.
Опалев, О.А.
Решетняк, Е.Н.
Стрельницкий, В.Е.
2016-05-24T12:45:53Z
2016-05-24T12:45:53Z
2013
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев,
 Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100591
537.534.2:679.826
Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное
 сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление
 наноструктурных алмазных покрытий можно изменять по величине более чем на 3 порядка.
Наведено експериментальні результати впливу складу газової фази при синтезі легованих азотом
 наноструктурних алмазних покриттів у плазмі тліючого розряду на їхній питомий опір. Показано,
 що за рахунок зміни складу газової фази питомий опір наноструктурных алмазних покриттів
 можна змінювати по величині більш ніж на 3 порядки.
Experimental results of study of influence of gas phase composition on nitrogen-doped nanostructured
 diamond coatings synthesized in glow discharge plasma on their specific resistance have been discussed.
 It was shown, that due to change of gas phase composition the specific resistance of nanostructured
 diamond coatings can be changed by its value more than to 3 orders.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір
Effect of gas phase in the synthesis of nanostructured diamond coatings on their resistivity
Article
published earlier
spellingShingle Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кошевой, К.И.
Опалев, О.А.
Решетняк, Е.Н.
Стрельницкий, В.Е.
title Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
title_alt Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір
Effect of gas phase in the synthesis of nanostructured diamond coatings on their resistivity
title_full Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
title_fullStr Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
title_full_unstemmed Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
title_short Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
title_sort влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100591
work_keys_str_mv AT gricynavi vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie
AT dudniksf vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie
AT koševoiki vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie
AT opalevoa vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie
AT rešetnâken vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie
AT strelʹnickiive vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie
AT gricynavi vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír
AT dudniksf vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír
AT koševoiki vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír
AT opalevoa vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír
AT rešetnâken vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír
AT strelʹnickiive vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír
AT gricynavi effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity
AT dudniksf effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity
AT koševoiki effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity
AT opalevoa effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity
AT rešetnâken effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity
AT strelʹnickiive effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity