Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление наноструктурных алмазных покрыти...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100591 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-100591 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. 2016-05-24T12:45:53Z 2016-05-24T12:45:53Z 2013 Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100591 537.534.2:679.826 Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление наноструктурных алмазных покрытий можно изменять по величине более чем на 3 порядка. Наведено експериментальні результати впливу складу газової фази при синтезі легованих азотом наноструктурних алмазних покриттів у плазмі тліючого розряду на їхній питомий опір. Показано, що за рахунок зміни складу газової фази питомий опір наноструктурных алмазних покриттів можна змінювати по величині більш ніж на 3 порядки. Experimental results of study of influence of gas phase composition on nitrogen-doped nanostructured diamond coatings synthesized in glow discharge plasma on their specific resistance have been discussed. It was shown, that due to change of gas phase composition the specific resistance of nanostructured diamond coatings can be changed by its value more than to 3 orders. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір Effect of gas phase in the synthesis of nanostructured diamond coatings on their resistivity Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| spellingShingle |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| title_short |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_full |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_fullStr |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_full_unstemmed |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_sort |
влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| author |
Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet |
Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| publishDate |
2013 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір Effect of gas phase in the synthesis of nanostructured diamond coatings on their resistivity |
| description |
Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное
сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление
наноструктурных алмазных покрытий можно изменять по величине более чем на 3 порядка.
Наведено експериментальні результати впливу складу газової фази при синтезі легованих азотом
наноструктурних алмазних покриттів у плазмі тліючого розряду на їхній питомий опір. Показано,
що за рахунок зміни складу газової фази питомий опір наноструктурных алмазних покриттів
можна змінювати по величині більш ніж на 3 порядки.
Experimental results of study of influence of gas phase composition on nitrogen-doped nanostructured
diamond coatings synthesized in glow discharge plasma on their specific resistance have been discussed.
It was shown, that due to change of gas phase composition the specific resistance of nanostructured
diamond coatings can be changed by its value more than to 3 orders.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100591 |
| citation_txt |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT gricynavi vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie AT dudniksf vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie AT koševoiki vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie AT opalevoa vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie AT rešetnâken vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie AT strelʹnickiive vliâniesostavagazovoifazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytiinaihudelʹnoesoprotivlenie AT gricynavi vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír AT dudniksf vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír AT koševoiki vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír AT opalevoa vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír AT rešetnâken vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír AT strelʹnickiive vplivskladugazovoífaziprisintezínanostrukturnihalmaznihpokrittívnaíhpitomiiopír AT gricynavi effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity AT dudniksf effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity AT koševoiki effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity AT opalevoa effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity AT rešetnâken effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity AT strelʹnickiive effectofgasphaseinthesynthesisofnanostructureddiamondcoatingsontheirresistivity |
| first_indexed |
2025-12-07T20:40:25Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:40:25Z |
| _version_ |
1850883467829575680 |