О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd
Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с темпе...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100593 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-100593 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. 2016-05-24T12:48:27Z 2016-05-24T12:48:27Z 2013 О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100593 538.975 Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с температуры 180 °С, в системе Ag-Pd активируются диффузионные процессы, которые уже при температуре 350 °С приводят к полной гомогенизации пленочной системы по всей толщине. Досліджено формування однорідного твердого розчину в шаруватій плівковій системі Ag-Pd з товщиною шарів по 60 нм при in situ нагріванні в ПЕМ. Плівкова система формувалася шляхом послідовної конденсації компонентів у вакуумі при кімнатній температурі підкладки. Показано, що, починаючи з температури 180 °С, в системі Ag-Pd активуються дифузійні процеси, які вже при температурі 350 °С призводять до повної гомогенізації плівкової системи по всій товщині. The formation of homogeneous solid solution in Ag-Pd layered film system with 60 nm layer thick was investigated by means of in situ TEM heating. The film system was formed by sequential deposition of components in vacuum on the substrate at room temperature. It has been shown that diffusion processes in the system under study were activated starting from a temperature 180 °С. These processes were completed at 350 °С and led to a total homogenization of the film system over its entire thickness. Keywords: film system Ag-Pd, in situ TEM heating, homogenization. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| spellingShingle |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. |
| title_short |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_full |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_fullStr |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_full_unstemmed |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_sort |
о диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе ag-pd |
| author |
Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. |
| author_facet |
Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. |
| publishDate |
2013 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| description |
Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе
Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась
путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с температуры 180 °С, в системе Ag-Pd активируются диффузионные процессы, которые уже при температуре 350 °С приводят к полной гомогенизации
пленочной системы по всей толщине.
Досліджено формування однорідного твердого розчину в шаруватій плівковій системі Ag-Pd з
товщиною шарів по 60 нм при in situ нагріванні в ПЕМ. Плівкова система формувалася шляхом
послідовної конденсації компонентів у вакуумі при кімнатній температурі підкладки. Показано,
що, починаючи з температури 180 °С, в системі Ag-Pd активуються дифузійні процеси, які вже
при температурі 350 °С призводять до повної гомогенізації плівкової системи по всій товщині.
The formation of homogeneous solid solution in Ag-Pd layered film system with 60 nm layer thick was
investigated by means of in situ TEM heating. The film system was formed by sequential deposition
of components in vacuum on the substrate at room temperature. It has been shown that diffusion processes
in the system under study were activated starting from a temperature 180 °С. These processes
were completed at 350 °С and led to a total homogenization of the film system over its entire thickness.
Keywords: film system Ag-Pd, in situ TEM heating, homogenization.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100593 |
| citation_txt |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kryštalʹap odiffuzionnomperemešivaniivsloistoiplenočnoisistemeagpd AT bogatyrenkosi odiffuzionnomperemešivaniivsloistoiplenočnoisistemeagpd AT suhovrv odiffuzionnomperemešivaniivsloistoiplenočnoisistemeagpd AT minenkovaa odiffuzionnomperemešivaniivsloistoiplenočnoisistemeagpd |
| first_indexed |
2025-12-07T16:18:33Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:18:33Z |
| _version_ |
1850866992130555904 |