О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd
Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе
 Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась
 путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что,...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100593 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862692428932186112 |
|---|---|
| author | Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. |
| author_facet | Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. |
| citation_txt | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе
Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась
путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с температуры 180 °С, в системе Ag-Pd активируются диффузионные процессы, которые уже при температуре 350 °С приводят к полной гомогенизации
пленочной системы по всей толщине.
Досліджено формування однорідного твердого розчину в шаруватій плівковій системі Ag-Pd з
товщиною шарів по 60 нм при in situ нагріванні в ПЕМ. Плівкова система формувалася шляхом
послідовної конденсації компонентів у вакуумі при кімнатній температурі підкладки. Показано,
що, починаючи з температури 180 °С, в системі Ag-Pd активуються дифузійні процеси, які вже
при температурі 350 °С призводять до повної гомогенізації плівкової системи по всій товщині.
The formation of homogeneous solid solution in Ag-Pd layered film system with 60 nm layer thick was
investigated by means of in situ TEM heating. The film system was formed by sequential deposition
of components in vacuum on the substrate at room temperature. It has been shown that diffusion processes
in the system under study were activated starting from a temperature 180 °С. These processes
were completed at 350 °С and led to a total homogenization of the film system over its entire thickness.
Keywords: film system Ag-Pd, in situ TEM heating, homogenization.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:18:33Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-100593 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:18:33Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. 2016-05-24T12:48:27Z 2016-05-24T12:48:27Z 2013 О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100593 538.975 Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе
 Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась
 путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с температуры 180 °С, в системе Ag-Pd активируются диффузионные процессы, которые уже при температуре 350 °С приводят к полной гомогенизации
 пленочной системы по всей толщине. Досліджено формування однорідного твердого розчину в шаруватій плівковій системі Ag-Pd з
 товщиною шарів по 60 нм при in situ нагріванні в ПЕМ. Плівкова система формувалася шляхом
 послідовної конденсації компонентів у вакуумі при кімнатній температурі підкладки. Показано,
 що, починаючи з температури 180 °С, в системі Ag-Pd активуються дифузійні процеси, які вже
 при температурі 350 °С призводять до повної гомогенізації плівкової системи по всій товщині. The formation of homogeneous solid solution in Ag-Pd layered film system with 60 nm layer thick was
 investigated by means of in situ TEM heating. The film system was formed by sequential deposition
 of components in vacuum on the substrate at room temperature. It has been shown that diffusion processes
 in the system under study were activated starting from a temperature 180 °С. These processes
 were completed at 350 °С and led to a total homogenization of the film system over its entire thickness.
 Keywords: film system Ag-Pd, in situ TEM heating, homogenization. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd Article published earlier |
| spellingShingle | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. |
| title | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_full | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_fullStr | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_full_unstemmed | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_short | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_sort | о диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе ag-pd |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100593 |
| work_keys_str_mv | AT kryštalʹap odiffuzionnomperemešivaniivsloistoiplenočnoisistemeagpd AT bogatyrenkosi odiffuzionnomperemešivaniivsloistoiplenočnoisistemeagpd AT suhovrv odiffuzionnomperemešivaniivsloistoiplenočnoisistemeagpd AT minenkovaa odiffuzionnomperemešivaniivsloistoiplenočnoisistemeagpd |