Зображення обкладинки

Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы

Отработана методика легирования TiN покрытий путём одновременного распыления мишеней из Ti и Si ионами азота и аргона, генерируемыми источником газовой плазмы (ИГП). Наибольшее значение твёрдости (∼33 ГПа) достигалось при СSi ∼ 7 вес %. За счёт образования на поверхности Ti и Si стойких к распылен...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2013
Автори:	Белоус, В.А., Лунёв, В.М., Носов, Г.И., Куприн, А.С., Толмачёва, Г.Н., Колодий, И.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100597
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы / В.А. Белоус, В.М. Лунёв, Г.И. Носов, А.С. Куприн, Г.Н. Толмачёва, И.В. Колодий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 412–419. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Isdesending processes for the formation of TiSiN coatings by spraying nitrogen from Ti and Si ions generated by a gas plasma source
за авторством: V. A. Belous, та інші
Опубліковано: (2013)

Физические механизмы распыления мишеней из SiO₂ ускоренными ионами фуллерена C₆₀
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)

The influence of the bias potential and working gas pressure on the properties of the ion-plasma multilayer coating TiSiN/NbN
за авторством: D. V. Horokh, та інші
Опубліковано: (2022)

Methods of Ti-Si and Ti-Si-X systems alloys melting
за авторством: N. N. Kuzmenko, та інші
Опубліковано: (2011)

Способы выплавки сплавов систем Ti-Si и Ti-Si-X
за авторством: Кузьменко, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Synthesis of Ti-Si and Ti-Si-N coatings by condensation of filtered vacuum-arc plasma
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Физико-механические и триботехнические свойства нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, Ti-Hf-Si-N
за авторством: Грудницкий, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Fatigue properties of thermodeformed Ti–Si alloys
за авторством: S. A. Firstov, та інші
Опубліковано: (2014)

Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Kostin, E. G., та інші
Опубліковано: (2008)

Structure and mechanical properties of multilayer vacuum-arc condensates of Ti/Al and Ti/TiAlSi systems
за авторством: A. V. Demchishin, та інші
Опубліковано: (2016)

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Усталостные свойства термодеформированных сплавов системы Ti–Si
за авторством: Фирстов, С.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
за авторством: Пеньков, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺
за авторством: Харченко, Д.О., та інші
Опубліковано: (2011)

Structure and properties of solid coatings of systems (Ti-Zr-Si)N and (Ti-Hf-Si)N obtained from the flows of metallic plasma
за авторством: V. M. Beresnev, та інші
Опубліковано: (2010)

Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Superhard coatings of the (Zr–Ti–Si)N and (Ti–Hf–Si)N systems produced by vacuum–arc deposition from a separated flow
за авторством: V. M. Beresnev, та інші
Опубліковано: (2014)

Diffusion Processes in Ti–Si Systems during Silicide Formation
за авторством: Bogdanov, S.E., та інші
Опубліковано: (2013)

Dispersion-strengthened titanium alloys of Ti-Si-X system
за авторством: G. M. Grigorenko, та інші
Опубліковано: (2012)

The Ti–Al–Zr–Si alloys for the exploitation at high temperatures
за авторством: S. O. Firstov, та інші
Опубліковано: (2018)

Diffusion processes in Ti–Si systems during silicide formation
за авторством: S. E. Bogdanov, та інші
Опубліковано: (2013)

Дисперсионно-упрочненные титановые сплавы системы Ti-Si-X
за авторством: Григоренко, Г.М., та інші
Опубліковано: (2012)

Temperature dependence of contact resistance of Au−Ti−Pd2Si−n⁺ -Si ohmic contacts
за авторством: Belyaev, A.E., та інші
Опубліковано: (2010)

The features of temperature dependence of contact resistivity of Au-Ti-Pd₂Si-p⁺ ₋Si ohmic contacts
за авторством: Belyaev, A.E., та інші
Опубліковано: (2010)

Temperature dependence of contact resistance of Au Ti Pd2Si n+-Si ohmic contacts
за авторством: A. E. Belyaev, та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)

Nano-microcomposite and combined coatings on Ti-Si-N/WC-Co-Cr/steel and Ti-Si-N/(Cr₃C₂ )₇₅-(NiCr)₂₅ base: their structure and properties
за авторством: Erdybaeva, N.K.
Опубліковано: (2010)

The mechanical and tribological properties of nanocomposite coatings Ti-Hf, (Ti-Hf)N and (Ti-Hf-Si)N obtained by vacuum arc deposition
за авторством: D. A. Kolesnikov, та інші
Опубліковано: (2012)

Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2
за авторством: I. N. Torianik, та інші
Опубліковано: (2013)

Properties of SiO₂-GaAs and Au-Ti-SiO₂-GaAs structures used in production of transmission lines
за авторством: Boltovets, N.S., та інші
Опубліковано: (2002)

The features of temperature dependence of contact resistivity of Au Ti Pd2Si p+-Si ohmic contacts
за авторством: A. E. Belyaev, та інші
Опубліковано: (2010)