Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2003
• Main Authors: Достанко, А.П., Бордусов, С.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101833
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности / А.П. Достанко, С.В. Бордусов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 7-18. — Бібліогр.: 72 назв. — рос.