Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862641388844220416 |
|---|---|
| author | Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
| author_facet | Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
| citation_txt | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| first_indexed | 2025-12-01T04:34:32Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101835 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T04:34:32Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. 2016-06-08T10:35:39Z 2016-06-08T10:35:39Z 2003 Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов Article published earlier |
| spellingShingle | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
| title | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_full | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_fullStr | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_full_unstemmed | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_short | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_sort | реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835 |
| work_keys_str_mv | AT valievka reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov AT maiševûp reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov AT ševčuksl reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov |