Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2003
Main Authors: Валиев, К.А., Маишев, Ю.П., Шевчук, С.Л.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859708836556832768
author Валиев, К.А.
Маишев, Ю.П.
Шевчук, С.Л.
author_facet Валиев, К.А.
Маишев, Ю.П.
Шевчук, С.Л.
citation_txt Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
first_indexed 2025-12-01T04:34:32Z
format Article
fulltext ������������� �� ��� � ���� ����� ����������� � ������������ �������� ������ ������ ��������������������� ������������������������������� ��������������������� ���������!��"#$ ��������� ����� ������� ������������������������������������������ �������� � � � ���� ���������� ����� �!��"��#$�"%!���&%%$� ��'!&���'(�')� '!!�*���� � '���'" &�!�*��&�!!�+$,-���*��%&! �('�./�012� �!"&3 #$�!�"�!�#�%�� % ��!!��&(�#,-"���&�!���3&�&-�%"&3���4�% ��%$�5!�*��%�% '�'��6�"'-�% ���&% �-!&"'�&�!���.��2 &%#�$7(��'$%8��!�*�#,-"��9:�&% �-!&"�;/' &"'$+< ��=�%�('�"!, 9�� ��:>���?$�" ��!���&�3�$� !9��"' � ��� �#�'�$�!&��?!��*&�:�&�!���#,-"'���#��@�%%���%'5 �!&8 �8�$8A4��%8�� !&��&(� �% �&!% ���� � ' �#�(��$&$� %>���&���' 7� �!"�#$�!�-!9��#�"�9 &8�%��'($&-!9�&�%��:% �'�&�&(�#,-"���&�!���� !�*��&� �*��5����4�% �'� �%%$� ��'!&��%��:% �� �!"&3�#$�!�"���%,4�% �$8$�%7�%���",#!�% 7A��� � ��B�?$$&#%��� �&8 �%#�" ��>� ��� �&8 ���&��C5�+%#�" ���� �&& �?$�" ��!�*�'>&8����"'('!'�('�&%&��% 7��# &-�%"&3�%��:% ���#�$,-�!!93�'$�'(�#� �)!93 &�"���!&:%� ��5'4&3� � �!"&3�#$�!�"� � � �#'�'�� ����#,-"���&�!��� �� &'#'(�!��&(��!�!&8� %�� !�:� ?!��*&& �%'5 '��93�&�!�������÷���D?6����� ���!% �&���'!9�#�'" &-�%"&��#�&��!�!&8��� � '�/�01� �������� ��������� � ���� � ������� � ����� � � ����� � �� �� � ��� �� ����� ��� ����� �� ��� � � ��� �� ��������!� ���� �� ��� ��� � �� � � �� � ��" ��# � �������� �� $� �� � � ��� # �� %��� ���������� ��� ���� ��� �� $� �� �% & %���' ( %�� )�%��$����� *�� � ����� �&� ��� �� � ���� �� � ����� ��� ����� �� ��� � % � ����� *� ����(�%�� � ����� ���'��� �� � ���%� � ��������� � ��%��$���� �� ��� �� ��� *� �&� ' �� $� �� � ����# ���������� � � �� �� ���&� � � ��� � � ��� � �����&� ������ &� �������� ����� ��� �� $� ��&� � � ��� +� ���,-� ��� ��� � ��� � � ���� ��� � � �� � ��" �� ����� �� $� ��&� � � ��� ������� �% � '�� �.�� � ����# *� �&�� ������ ��%� � � � �� ��" � �#� � ,� *) ����� ���� ���� �� $� �� � � ���� � ������� � �� ��� �� % ���� ������� � ��������� �����' ���� ��� ��� % ������ � �� � �����' �������. ���� �� $� � ��&� ��������� ) � ��� � � ������' ����% �� ' � ��� &� � � � ��� ���� � ������ �� ���� ��� � � %� ��� �.��� ���� +�� ��/0-# ��*���� � *�� ������� �� ���� ��� �� � ������ � ���� ���# ���'��� ��� ��� � ��� � � ���� ��� � � �� � ��" �� +��������� � �� �� � ���&� � � ��� � � ��� � � ��%��$����. �� � � �����&� �������� ���� ��������-� ���� � �� *� ��� ��� ���&� )1 �� � ��� �����$�� ��%���� � �%� ���. *� �&�� ���.�� �����' ������ ���# � �� %�� � ���� ���� � � '�� �.�� � ������ ��������� *� ����� �� �� �� � �� ��$�� ��� � �. ���.�� � ��������� �����$�� � ��� �� $� ��� � � ���� ��� �������'� 2 %� ��� ���' � ��� � ������&� ��������� ��&� ���� % ����� �� ��� ����� � � �� $� ��� �������� � ���� ���� ��� �% ��%��*� �& ����� ������ ����� ������' ��� ���������� ) � ���� ���� �����.%� ��� ��������' �����' ��������# � ������� ���� ������ ��� ����% ��� & %��� ����� %��&� � ��� &� � � ��� � ) ����������� ���' ���� � +3�4- �������� ���� �� ���� ��� (������� �� �����&� ���� # ������'# ����� � ���' �� ��� � � ���' *� �&��# � ������� �� ��� � % �������� ��' �� �����$��� �$ � ��# &� ����� �� ��� �� $� �� � ���� �� ��� � ���� ���� ��� �% � � � ��� # � � ������&� ������ ������� 5 ��� ��� � %��# ����� �� $� ��&� � � ��� # �% ������&� ���� ��� ��� ��� ���� �� ���# �� ���� ��� � ,�� 0 ������� �% �����# ��� %�� ��� � ����� ��� � 3�4� 6��� � � ��� ��� � � ����� ����������! �� ��� ��%��$����. ��� �� ��� ���'��� �� �� $� � �� ����� �� ��� ���� ������ �%� � ��� � "������ �� � %�� *� �&�' ����� ���� 7 ����& � � �� �� �����. �����&� ���� ��%���� � � �����. �������� � ��������� ���$��&� ���(���# ���� ������. % ���� �� &������ � � ���7 E')$&@'�� C)4'8�3'�'" ��&% &"'��%!��!93��� � ���!'!�%�!&8� �!"&3�#$�!�"����'",,�� &"!�$#:�"!� 8&!�%�!'! � �< 39��' 5'%�8&*��!F @& %'- '"� �#7 %�!!�$�'�#'G @& %'-39��' 5'%� :�!!�&8$�� �9 !�!�#��" �"� �# 39��' 5'%� @& %'- 7$�� !�� '� %�-&$�" �*���' 5'%� '� %�4��6? �&!�$�'�#, B&!�H&�'$'&�� '��&!��'#%� ����-,$+�!!�� "�$? ��"%�-&��� ≈ � �! '%,!&%�"!�"'( �! �! B&!�H&�'$'&�� '��&!�$9#%'/ +�!*'� ��!!��('$#+�!!�& ����-,$+�!!�& ��!!�� �÷ �� �! '%,!&%�"!�"'( �! �! �&!� 5'%���!!�&����E IJKLM�N+J�K � ÷ ��� +!8� %�#&$&O6 '!�&!�4��%��! �"5�$ �# '%,!&%�"!�"'(B9$'� :�G "&$'���!�#9!�� & %�!3����# �÷ P�� �! ��!!'���&$,�& %��('$� (&�&!� 5'%���"%�-&�&3 9('>:���('* � ÷ ��� '!�&!�4��%O6 �"5�$ �# ��"%�-& �'3B9$'� :�G �#B9!���&!�5&� & %�!3����#"&$'���! ≈ �� ÷ P� �! :���-,$+�!!�&:9!�& "'�/ 210�/.(� !&% �� ÷ ���� ��4A8��"%� ���&!�58�#'! �9)A$ �#��!!�$�'�#'G "��$*,�9!!' '( & %�!3����# ≈ P��� 7$�� !�":9!-� '"-,#,"� �# ��!�& ������������� � ��� � ���� ����� �������� ����� Q �� ��� ��%��$����. �����&� �������� �������� ���� �� ��� �� ��������� ��� ���� � ���� �� �� $� ���� ) � ��� ���� ���� �� ��"���� ���� ��� �� ���� �� �� $� ��� ����� �� ��� � ����� 2384# ��� � ���� � % ��������. ����� ��� ���'��� ����� �� �� �� %�������� � �&� ����� �� ���'��� �$ � �� ����� �� ��� �� *� �&�� ����� ���� # ��� % �� �� ���� ��� ���� � ��� 2384# ���% ��� � � �� �� � �����.� �����&� ���� � % ��������.� ���'��� �� � $� ��&� �������� �� *� �&�� ����� ���� � ���� ��� �������� ���� ��������� ��� 3��� ��� ��� ����������. � ��� ���� ��������� � ��' ��� ����� 9: "� �; <,= +���� ,-# ��� � ���' ���� &��� ����� ���������� ����� 92 ��� ��>���; +?- <�#�=# (���������� �����' ����� � ��� &� � � ��� # � �� ������ �����'�� � � ����&�� ���' � � � +,- � � �� ������ �� ,@� ��� ��� �� ���� �� �� ��� �����&� � ���� ,�R�/� ���� ����� ��� � �����.%�� �� � ���� ����� �������&� � ��� 5>A ,��� +�-� 2 ��� � �� � �� �%� �� ��� � �� � %�� �×��R D÷D ×��R�/� � ) ���� � ��� ����� � ���� � � $� ��' ����' �����$��� �� $ � �. +�-# ��� �" ���' ���$�� �� � � �.������ � � � �.�� ���$ �� # ���� ��� ��� 33 +�-# ���� � ��� � �� ��� � ����&�� ���� ���� ���� +B-� 3������� ����� � ������� � ����� � % ������� �� '(�� *� ������� 92 ��� ��>���; (������ � "�� ���� ��%��*� �& ����� ��� ������ ����� ����� ���� ��� ������ � � ��� +���� �-� ������� ��%� � ��� ���� ����� � � ����% ��� � ���� � � ��� ��� ����*� �& ������� *� ����� ��# ������ ���� � �� � �� �.�� ��& ��%�� ���' ��� ��� �.��' 9�� ; � � ��� � ��%�� ��� ��� � ��� �*� ����� ���� � � &���� �������� # �� �� ��� ��� � ���� �.�� �%� � �� *� �&�� *� ������� � ���� $��� ��� C � ���� 3%�� � � �� ����� � (������� �� ���� ����� ���� ���� �� ��� ���������� *� �������� 33 (������ � �� ��� � � �����'�� ����� ����� � ��� &� & % �� � ���� ≈ ���/��# � ������� �����'�� � � ����&�� ���' � � � � �� �����$��� �$ � �� � � ������� D� ÷,@�/��� ) � � ��� � ���� � � ��� ��&�� �����.%�� �.�� �&� � ��������# ��& ��� ��� �� ��� ���# ���� (������ �� $ �� & %�# �&��# ��������� E�� �� �� � � � �� �� �����&� ���� +*� �&� ' � ��� ��������.� ����� ���� - ���� ��������. ��� �� ������ � �� ��� *� ����(�%�� ��� � � � ���� � %��� +� ���$ �����. � &�����&� ���� � �������� � � ���� $��� # � ���$ �� � � %��� # ����� � ��� � &� � � ��� - � ����������� ����������� ���' ���� � �� �������� � F�� � �� ������� & �� ���� ������ ����� ���' ���� �� �� � � �������������' ����� ��� ��' ��� % � �. 9 ;# ��� �$ ��' � � � � ��� � & �� � ���� ���' (��� � � %� � *� � ���� ����������� � ���' ���� �� � % %���� � $�� ����� ��� *��� � �� �� ���� ���. � ��� � %����� � �� �� 3�4# ����� ���"� ���%� � �� 9 �;G; �;# &� 9 �; ����� ����� � � �����$ �� "���� � ��������� ��� # 9 ,; C �� � � �� "���� �� ��������� ��� � ,/�� � ���� F�� ���� � ��� � ��% � ��� � � ��� ����� ���*� �&��� � ���� ���� ����� � ��� � �����' %���� ��� ���� ��� ��� � ��� � � ��� ��������� ��� ���� ����. �� � �� ���� # ���������� %������� � �����# ����������. �� (� &����� �� ���� � F� � (� &� �� ��� ���� ����' �%��� � �.# � �����$ �� ��� ����. �� � �� ���� � H�� %�������� +H��- � �� ���'��� �$ �� �&� � ����� �� ��� �� $� ���. � �� ����� ��������� � ���� ���&� �� ���� :6I��� �% ������ ����� �&� � ��������� +�����& �� �# � ���# ���� ���- � �� ���' ��& ��� ��� ����� ��� +& �� � �������� % � +J>F4-# ��������� �������� � +)5>�4-# �� �� )5�>4 � ��� ���&� �������� -� A ���� ���� ��� � � � � � � �� � �������� �������� �. ������ ���� ��$�� ���� �� ����� �&�� � ��� � � �� ������� � ��� % � �� �� ���� ��� �� ��� ���� ��������. *������� ���� ���� � ����� ��� � � � ��� �� ��� � ������� ���� �� ��� ��� /&%��� � 13��'� ,% '!��"&� � &�!!�+$,-���:� � �)�')� "&� � ;�'H '!=� A ���� & % F ���� � %� � ��� � ���� K��� �� � ��� �������� �������&� � ��� ������ � � � ��� �������� ������ �� � � % &' ����� � � ( ������� ���� � ���������� ������� ������� ��� ����������� �������������� �� ������������� �� ��� � ���� ����� ����������� S �����$��� 3%� � ��� ����������. � �� �� ����� �����"� ���� *������� �� 986>��>; � ���� ����� �#B��@/��� � �����.%�� �� � ����&� �� � � �� ���# ���� � ��� � � ��� ���� ���� ��� *������� � �� � ��� ��� � � ��� "����� % �� � ���' %��� �%� � �����. ��&��� �� �� ���# � � � ��� � ����� ���� ����� �� ��� +��� ��������� -� 3%� � ��� �������� ���. � �� ����(���� �� 94I��B; � �� � %�� *� �� &�' (������ ?#�� ÷ �#��/*) +�L� ÷ B��/��-� ��� � �����. ������� �� �����&� �� �� � �� ���' ������� �.�� ������� ��� �� �� � % �� ���� ���� � �� � α ������ ����� ��*((��� �� 5 �� (α�ν)1/2# �� �������� ������ ���. % ��������� (α�ν)1/2 T�ƒ(�ν)� 6���� ������� *�� ����� � (α�ν)1/2D→�0 ��%���� � ��� � ���. "����� % � �� � ���' %��� �� ���� ��� ��� � � ��� ( %���&� ���� � �� ��� ������ �����. ���� ��� �� ��&��� ��� ��� %��� � �� � %�� ?�� ÷ ?���/��R� �� �� �� ����' � ����� � �����.%�� � �� � 3: �� ����� �� MNOPQR STUNO ,D��V � I��. �� � ��� %�� �� �� > ���� �.� � � %� " �� � ������� ����. ������ ��� �����.%�� ��� �� �� ����&� WXO ��� �( ��� �� ���� ��� � �#�/��R�� 3��� ��� �� *� � ����&� ���� � ��� � ����� ����� �� ��� ���� ��������. �� �� �� ����' � ��� ��� �$ ��� ���������� � �����.%�� �� � �� ����� � �� 9>H4��;(���� 9UKVWX;� ����� �� ��� � ����� ��� %� ���� ��������. *� �������� ������ � *� �� &� ' *� ������� �#�/�*)# ��� *��� �� � �� ���� *� ������� ���� ���� �#�/��� J����� �� �� �$ � *� ������� �����& � @ ÷ ,� �&��� �� A ����� � � ��% ��(( � ��� �.�� �$ ��� ����� ��� %��� ��� � ���� � *� � ����' ���� � ��� � ����� �� ���� ��� � � � �� ���� YN� ���% ' ����� � �� �� ���� ������ ���. �� � ��� � � ��� ��������� *� ������� ������ ���' � �� �� # � ����� ����� ��� � �� � � ���� ��� �� Z[[ �$ ������ �&� ��� � 3��� ��� �� ��������� ����� �� ��� �������� ���. *� ������&� (�� ���� � ����� � �����.%�� ��� � *� ������&� ( 962 ,��; ��� �������� � � ���� $ ��� ,��/�) +���� ����� *� ����� �#��DÅ- � ����� ��� $ ���� > ���� �.� � &����� ��������� ��� ���� *� ������� � ��Y � ��� %� ���� ��� �� ÷ ��/��� �������� ������ � �� ������ � ������� 3��� ��� �� � ��� � � ��� ��������� ��� �����&� ���� ����. �� � �� ���� ����������. � � �.� ��� � � � ��� � � ���� ������ � ��� � � ��� ��������� ��� ����. �� � �� # ����� ���� �� ' � � ���� �� ����. ��� ����� � ���� �� �� $� ��� �� ��� �% ���� �� ������ � �� �����$��� �����$��� 2��� � I���&� (�� �������� ����� 92 ��� ��>���; A � ���� �����. � ��� � � ��� ��������� ��� � ���� � $�� 33 � �� � �� ,��/�� � �� � ��" � ±. ��÷ �-/0# � �� � �� ,��/�� C ±.� ��÷ ,#��-/0# ��� �� �� ��� � � � � �� ����� �� ��� � ���."�' �����������.� � � �����$�� �� ����� �� � ���� �� ,��/��� E�� ���� ��# ��� ��������� � � � �� ��# ��� � � ������� � ��� � � �� ��������� ��� ���� ����. �� � �� ���� # �������� ������ ��� �� � � ����� ����� & % � 33# � ���$ �� � � %��� � � ���$ �� ����. � &�����&� ���� � �� '� 33� ) �� ��� ��" � � %� ��� � � � ���� ��%���� � �������. � ��� � � � �� ��������� ��� ���� ����. �� � �� ���� � %� �����&� ��� +��&���� # ������ # ������� -# ��� *��� �� � �. �����%�� ���(��� � ��� � � ��� ��� � ��� ��� *� ����(�%�� ����� � �� ������ �� ����� ������ � �������� � ���� & % � 33 +���� �-� A �����? �� ��� �� �� &� (��� � ��� � � ��� ����� �� *� �&��� ƒ+�- ��� ������ ����� �����& �� � # ����� ��� ��(( � ������ �� � ����� % � �$�� �����&� ��� # � & �� ���� 3�4 9 �; � � ���$ ��� � � %��� � Z,#D/�) ��� � %����� ����� & % � ������ ���� 3% &� (���� �� �� �# ��� �����' ����� � �� � ��%� ��� � %������ ����� �� *� �&���� F '����� � �.��# � 33 � ���&� ��� ����% ��� *� �������� �� ��� ��$ � ����� ����. � ����� � �� �������� � &� ���� $��� � 4� ����� � *��&� ���� ��� *� �� & ��� ���' � %���� ����� ���� # � � � � *� �&�� ��� � � ��� ������� ��� � �� ��� � %����.� ��� ���� ��� � $�� *������ ��� �.� � � �� 9��$� ���; ��� � ��� ��� ��� �������� &� *� ����� � �����$��# �� ��� ��� ��� � % ���� H� ��&���� % ������� ��� ����� �� ��� �� ���� �� �� � �� ���� & �� �� 2��� �� 2 ��� � � �� ��������� ��� ����� ���� ����. �� � �� ���� ! - % ��������. �� ��� ���� 7 �- % ��������. �� � ���$ ������ � &�����&� ���� � �� '� 33� '2 )2 ��������������������� ���������!��"#$ ������������� � ��� � ���� ����� �������� ������� ��� �� '�� � � %����� � ���� � $�� ��� ��� �� ���� � � ���! �����& �� �# �&��# �������� <?=� ���� � ��� *��� ��� ��� ��%������ ������. � %����� � � ��� � � ��� ����� �� *� �&��� � ���� � �����. � �� � �� ��� *� �&�' ����� ���� � E�� ���� � � ��%��$����. ��� �� ��� �� �� ' *� �&� ' ����� ���� � �� � %�� �� ,�� �� ���/*) ���� ������ ����� (�� ��� & �� ���� 3�4 +�����-� 4 � �� �� ' %��� ����% ��� � ��� &� � � ��� � �������� � % %�� ��� �� ��� %�� ��� & �� ���� �� '�� ���� ������ � � *� �& ��� ��� � �� ������ ��# � � � ��� ��������� ������ ����� +���� B-� ��� �� � ��� ��� � �������� � $�� "��� ��� � ����� � ����� ������ *� ������� +�� � �%� � ��� � � � �� 9 ;- � ���� ��� ��%� �� �� ����" ��� ��� ���� � ��� � %��� ! � "! � # � �� ��%��� *(( ��������. (����� ��� ��� ����� ������ ��� � %����� � �� ���� & �� � ���� 3�4� > ���� �.�� %� � ��� ! � "! � ���� ����� � �&�� �� B�/0# � �����& �� � �� D�/0# � ������ ��� �� @�/0� 3%� � �� ����" ��� ����� �������� � �� �%� � �� � � � ��� ���� # � � � ��� � %��� � H�������� %� � ��� ��� ���� ���� ����� �� B��/�H +#�T� �D�H[�� 2� ��� � �� �������� �� �� � ��� � '�� ��% ��� % ��� � ��� � ����� � ���� ' ��*� ����� ���' �� ��� � ���� $��� � $�� 33 � �����$��' ��� � �� ��� ��� � � ��� ��' � ��� � '�� ��% ���# ������' � ���� �� �� $� ��� ��*� ����� ���' �� ��� � ��� �� ���� ��� �% ������ ����� ��%���� � *(( ������ ���� ������. ���� �� ��� ��� ���� � ��� � ��� � ��� ��� � ����. � � � ���� �� ��� � ,��/0� ) ����� ��� � ������&� ��� ��� � � ��*� ��� ��� ��$ � ���� ����. ����� ���.�# ����" �� � ���� $ ��� � � %��� �������� � ��%� �� ��� ��� ��� � 7 �� ��� �� ��� ���� ���������� � � '�� ��% ��� % ��� � ��*� ����� ���' ��� � ����� ��� � �%� �� ��� � ���$ ��� � � %��� � ���$ ��� ��� ��� � � ) ���� �� ������' ���� �� ��� ���� ������ �� � � ��� � �����' ����� � �� ��� � ���*� ������� ���� � ����� ��� � '�� ��% ��� % ��� � ��� � ����� ��*� ����� +����D-� �������� ���������!��� ����� "����# �������� ������ ���$%�� ����%��������� ���� � ��� � � ���� ��� ��� ��� % �� �������� � �.��� ��%��$����. � � � ��� ����� �� ���# � � ����� ��� �� %�������� # �� $� �� � �% ���� ����� <� C @=� ) � ���' � ��� �� ��� �� �� � %��.� �� � � � � ��� � � �� %�������� # � � � �� ���'��� �$ �� �&� ����� �������'# ����� ��� �% ������ ����� ���� ��� ���$�� � � ��� <L=� 2��� ?� 2 ��� � � �� ����� �� *� �&��� � ���� ����� ������ & �� � ��� & �� ���� 3�4 9 �;# � ���$ ��� � � %��� � Z,#D/�) � ��� � %��� �#,/H# �#� H# �#�/H� /&%�� ��� \'�&%&��% 7� %�� !�:� ?!��*&&� &�!��� #,-"'� @&"$�*�"+ %'!'� � � *���� �&&��C1�#�&� !'#�85�!&83� !'� �'(�8 �� � ��D"6 � �D"6 � ��D"6� '2 2���B� \ ��������. ����" ��� ��� ���� � ��� � %��� �� & �� ���� 3�4 ��� ���� ����� �����& �� � ��� � ���� $ ��� � � %��� ,#��/�)# ,#D/�)# �#?�/�)� 2&%�����\'�&%&��% 7�&�!!�*�� �"'�!'�#� $�5",� .'2�&�#� �!@&'+ $'�&(�$&���'!!�*��#� $�5"� ��5' �$8� .)2� � � �"'�!'"'$'�"' �+ '+!�: �'$&(' ��'���#��@�%%���%'5 �!&8� &?$�" �&-�%"�:�#$�!+ "&�#�&�!'#�85�!&&�!'� �'(�8 �� � T� �D"6�&� �"��#,-"'� ��!�:+ �'$&('@&&� ��D�] � ���D�] � ���D�]� )2 ������� ���� � ���������� ������� ������� ��� ����������� �������������� �� ������������� �� ��� � ���� ����� ����������� �� A ���� @ ���� � �� �������� �� $� ��� H�� �% ������ ����� �����& �� � � � ��� � ����� ��� % � ��������� �� �� ��� '��' � �� � � ��&�� ���. ���� � �� ��� $ �� �!�$ �� ≈�� � ×�# � &� �� �� C � ����&�� �� ��' ��*((��� �� ���������� �.�����7�# � �%���������. ��� ���� ������ 5 ����&�� ���' ��*((��� �� ���������� �.� ����� �� � % �����# &� ���� ��� %��# �� ���� � ��� ��� �� � ��� &� � � ��� # � �$ � ���$ ��� � � %��� � ���� �� �� $� ���� ) � ��� ���� ��� �� � %�� *� �&�' ����� ���� ����. � � � ��� ����� �� ��� ��� � �� ��� �������� �.� ��� ���� � ���� ��� ��� � �� ���� ��� � % ��� ��� �� *� �&�� ����� +� ��� ,�/0- +� ��� �-� 4� ��� � � �.��# �� �� & ��' � ��� � � � ��� �������� ��� %���� � ����������� �. �������. �� $� ��� � ���� �� 2��� @ 4������. �� $� ��� �� %��������' �� ��� �% ������ ����� �����& �� � + - � � ��� +�-� '2 ��� ���� �%� � �� � ��������� ��� ���� � ���� ��$��� 6� �& ��� �� � % ��������. �������� �� $� � ��� �� ��� ��%���� � ���� �.# ��� ����" �� *� �&�� ����� ���" ���/*) ���� ��� � $ � � �.���� 3��� ��� �� ���'��� ����� �� ���# ���� � ��� �����������.� � �����# ��� % �� % ��������. ���'��� �� ��� �� *� �&�� � ��� ��������� ����� ���� � ���� �� �� $� ���� ����� �� � "���� % � �� � ���' %��� � & �� %�������� �� ��� % ����� �� ��������� �������� � ���� �� �� $� ���# ���� � � �� � %�� � ���� � $���� ����� �� H��# � �� � ��%���� �� ����� ���' "�����' % �� � ���' %��� � ��� �� � �#@÷,#�/*)� E� ��� �� ��������� �������� �������$� ��� ���$ �� � � & # ������ �������� �� �%� � �� � ��������� &� (�����&� �� �� � � :� ���'��� �$ �� �&� ����� �������� ��� � �� ��� ������' ���%� �����.� � �� � %�� ���� ���� �#�÷�#B�/���# � � H��� ��� *��� �%� � �� ����� ��� ��� % � � ' �� ���'��� �$ �� �&� � ����� �� ��� � % ��������� �� *� �&�� ����� ���� � ����! ����� �� � "���� % �� � ���' %��� � & T� Q÷�#?/*)# ��� % � �. �� ���� ��� '�T�� ��÷�#?# ��*((��� ��� *�������� ��T�� ��÷� � 6� ������&� (�� ���� � ����� ��� % � ���(� � � �������� ����� ��� ����� �� ��� +����L-� > ����� �$ ��� ���������� ��� ���� ��# ��� �� ���# ����� ��� �� $� �� � �% ������ ����� �&� � ����� +�����& �� �# � ���# ���� ���-# �������� �� � %����������# ���� � ���� � �� &�� �.�� ���% ' ����� �&� ��� ���� ��� � �� D� �� 0 +���� ,�-� ]���� � � ����$ �� +�D� *)- �$ ���� ����� ������� ���� (���� �&� ����� ��$�& �� %�������� ��� %��� ��� � �� � ��� ,���°4 � ����( � �&�� �������� � ��� %�� ��� �� ��� ��� � � ��� ' πC���% ' � �� �� �� ,��/0� E� ��� �� �� � � � ��� � � ��� ��������� *� ������� ��������' � ���$$ ���� ��� %� � �� � � %�� � ÷ ,� *) �� %�� � � ��%� �� �� ���� πC ���% ' � �� �� � > ����� 3:��� ���������� ��� ���� � ( %���' ���� � ����� ��� ����� �� ���� ) �� ��� �� %���� ����� �� ��� � ���� ����! ������ � �@D� ��R� � �LB� ��R� ����� ������� � � ��� ��� ���� ������� � � ���� ������� ��� � ���� 4�A ���% ' � &���� ̂ _� 4A � ^ ����� � �L�� ��R������� ����� � � ���� ������� ��� � ���� 4�A ���% ' � &���� ̂ _� 4A ^ ������ � ���� ��R� � ��?� ��R� ����� ������� � � ��� ��� ��� � ���� ���( ��� ��� � ��� ��� ��� ̂ _ � 4A &���� ����� ���� ���7 ������ � ,�D� ��R� � ,?�� ��R� ����� ������� ���� � ������� � � ���� ������� � (��� ������� ��� � � ���� ���% ' 4�A � &���� ̂ _�`A � ^ )2 2��� L 5����� � *� ������&� �� �� %��������' �� ���# ����� ���' �� $� �� � � ���� ���� ��� �% ������ ������ 5 ���� � 4������� ���� ���� �� $� ��� ����� �� ��� � ����� 2384� [8&!� 5'%�7 %���"1 %� �!&�_��� %*!' �%_]��'"-,#'"� 7 %�! �$#. 2 B'"!�$� �� %�4����-�)'/ 6"�� �TN` 6"� �TN` 6"�� TN` B��] !'%"�*�$"&a ���� �QS ��S !� �@] ��� ��� ��� $�!'#��� ��� �b� ��� 1�<cB�dK� ��Q ��b ��� 1C<E6BedK� ��� ��� ��Q� eK� Cf1C<E6B ��S + + ��������������������� ���������!��"#$ ������������� � ��� � ���� ����� �������� ������ ����� � ≈,B�� ��R������� ����� � ���'��� 4 Z 4 ���%��� 5���� �� ���# ����� ��� �� $� �� � �% ������ ����� �� ���'��& ��� ��� ����� ���# �������� ���&������� ������ ����������# ������ ������ ���� ��� � �K+d � ���� � ) % ��������� �� ��� ���� � �� ��&� �� ���'��& ��� ���&� ����� � ��� %���� �� ����� ���� �� ���� ��� � ��������� �� ����� 3:� �� ���� ��� %��� �Kd���������' ��� �$ � "������ ������ � ��� ��� D��÷,��� ��R�# ����� � ����� ����� � ��� � ���� ���% ' aQ�` +D?�/���R�-# aQ ̀ � �K�.dg 2 J +�K�.Q�� ÷Q �D���R�2 ��Kg�.Qb��÷Q�� ��R�- � aQ�b +L�� ÷,��� ��R�-� 3:� �� ���� ��� %��� �Kde��������' ��� �$ � "������ ��� ���� � ��� ��� D��÷L�� ��R�# ����� � ����� ����� � ��� � � ���� ���% ' aQ�`# aQ � ̀ c J &���� +D�� ÷@��/��R�- � aQ�c ��R�# ����� ��������� ������ ����' aQ�d�aQ ( % # ���� % ���' � ��& ��� ����� &���� ����K+.dg � 2 J ��K+.dg 2+�K� 4��'��� ����� ��� ����� �� ��� +H��# a`bc# aQ`�c- ����� �� � � ���/�� '2 )2 2���� ,� F�(( � ��� �.��' �$ C�� ��� + - � � ��� � � �� ��������� *� ������� ��������' +�- ��� �� %��������&� ��� %� e, �� +����"� � �����- � ���� +�������� � �����- ��$�& ��� � �� � ��� ,���° 4 � �&�� � � � ��� B� ������ ) � ��� � �� ��� �� �� �� ����� � � � ��� ����� �� ���# ����� ��� �� $� �� � �% ������ ����� ��� � %�����' ��������� �������� ( ) ! ( %�� ��' ���� �! ���� ����� �&� ��� � YN� &������% �� ' ���% '7 ����� �� � "���� % �� � ���' %��� ( &� +%�� 5 �� -7 �������. ��� � ������' � ������ ��� $7 ��� � % � �. �� ���� ��� '7 ��*((��� �� *��������� �� �� � � ����������������������� �� ������� E�� ���� ��# ��� ����� ��� � � � ��� �� ���'��� �� $ �� �&� ����� �� ��� ����� ������� �� ��� ���� � ����� ������� ���������# �� ���! ������' ��� % � �. �� ���� ��� +'D≥D 2^ "���� � ����� �� � %�� +( & D≈/�#� *)-7 ��%��' ��*((��� �� *���������7 ��%� � �������. ��� � ������' � ������ ���� H� ��% ����� ��� ���'��� �� ���'��� �$ �� �� ��� ��� % �# ��� � ���� *(( ������� ��� ����� �� � ��� ���� ��� ���� � �� ����� �� ���# ����� ��� �� $� �� � �% ������ ����� )5>�4� ��� *��� % ��� � �� ���.��' ������� ���� ���&� *� � �� �� ���' �% ���� ����� )5>�4 ��� �� �� ' *� �&�� ����� ���/*) � ��������� ��� �#�Z �#?�/�H[�� +���'��� ���� �����!����� �� � "���� % �� � ���' %��� ( & Z�#��/*)# ��� % � �. �� ���� ��� ��'�Z �#?# ��*((�� �� �� *��������� ���T�� ���÷ �#�# �������. ��� � ����� ��' � ������ ��� �*�Z B��/��[�- �������� �� ��� �.� ��� �������� �.����. *� � �� � ��� ��� �#? ÷ ,#� ��� �� B�/0� A ����,, �� ��� �� � �� ��� �.� � �������� �.� ����. ���� ���&� *� � �� I � � ����� �� ���' ��� � � ����.� +,- � � � � � ���' ����� ����� ' �� ���' +�-# �� $� ���' �% ������ ����� )5�>4# ��� &� ��� � ��� � ��� ���' �������� 4� �� � ������ �.# ��� % �� � ����� �� ��� � ���� �.�� ��%� �� �� ��&� � � ��� $ � �� ��" �. ?�/0� 5 ���� � 4��'��� �� %�������� � �� ���'��� �$ �� ����� �� ���# ����� ��� �� $� �� � �% ������ ����� � ����� 2384� 2���,,� 4� ��� �.� � �������� �.����. *� � �� I ���� ���' � � � �! +,- � % ����� ����� &� ��������7 +�- � ����� ����� ��� ������� � 48A�� ������� ���� � ���������� ������� ������� ��� ����������� �������������� �� �$�!"' 1�% '� ( ) �6 _%� ( & �?6��� �P ' Z [ �%�_% M�R�d�B�g �Kde.g2 �Kd�.g2 YN dg ' YN d�T�d �Kd �Ke�K �Kd �K + � , �K.dg + 2 , �Kg ' YN�dg ' �K.dg + 2 , �Kg ' � ��� � ��� � ��� � � Q � ��� � � Q ���� ��� ���.�P��)�2 �� � � S � � � �� � � �� Q �� Q � ��R� � �� Q � � � � �� �R�� S �� ��R�� �� ��R�� R R R b�� R ���� ������������� �� ��� � ���� ����� ����������� �� ����" �� �������� �.����� *� � �� ���" ?�/0 ���% �� �� ���$ �� � �������� ��� � ������' � ���� ��� ��� � &� ��� � %� � # ����� � ��� aQ`dc �� ��� ���� ��� � B��/��[� +��� � ���� �-# � ������� �� �����.� %� ��&� � � ����� �� �� � � ����&�� ���� ��� *� � ���� �������� fRa# ��� ������&� �������. ��� � � ������' � ������ ��� ���� ��� � ,��� ��[�� 4���& � � �� �� �����. �����&� ���� ��$ � *(� ( ������ �����.%�� �.�� ��� � � � ����������� ���� ��&� �������� � ���� ���� ��� �% ������ ����� � ��� � ����� ������ �� ���� �&���� ��'� A �����,� �� ��� �� �� � ����� ��������� � � � � ���' �����' �� ���'# �� $� ���' �% ������ ����� )5�>4� ����� ���' � %��.� � ����� ���� � �������� �.��� ��%��$����. (������� ��� � �. � ��� ��� � ��� ���&������ ��' � � ���% ��� EK34� & ��' ���� ) � %��.� � ���� � ��� ���� ��� ��' ��� % ��# ��� � ��� � ������&� ��������� ��&� ���� % ����� �� ��� +2384- � '����� �.�� � �"��� � � ��� ��&�� ��� ��%��$����� ���� ���� �� $� ��� ����� �� ���� 5 � ��� % ��# ��� ���������� �� �%� � �� *� �&�� �� $� �� � �����$�� ����� ���� ��%���� � ��� �����.%�� ��� ����&� � ��&� $ � ��� � &� � � ��� ��� ����. ����� ����� ���'��� �� ���&������� ���� ����� �� ��� C ����� ���' % �� � ���' %���'# ��� % � ���� �� ���� ��� � ��&��� ���� )�%��$����. % ���� ��� � � ��� � �������� � ���."�� �� ����� ����" �� � ���� � �.���� � � � �� �� ������ �����&� ���� � �� ���� ��� ��� '� � % ��������. �������� �� $� ��� �� ��������� ��� ���� ��%���� � � ����� 2���,� I���&� (�� � � ��� � �� ����� ����" �� � HZ� +"���� � &����� � � ��� �#D×�/���- � � � � ���' �����' �� ���'# �� $� ���' �% ������ ����� )5�>4 ��' �������.� ����������� �. ���� �� � � � ��� �������� � ��� ����� ���� �� $� ��&� � � ��� � )���� � �������. �� $� ��� ��*� ����� ��� �� ��� �% ������ ����� ������ � "����� � ��� �� ���� �� �� ��� � ��� 2384 � ����� ���������� � % ������� �� '(�� *� ������� � �� �� ��� ���� �� �����"� ���&� � %� � ���� H����� ��� $ �� �� &�� �����. I���� ��� '��� ��� �� � ��� ���' � ��� % �� &������� � *(( ����� ��� ���� �$�� � ��������� ��� � �.��� � ���� �� �� � ,� > �" � g��� 3�������� ����� � ��������� �� ���� ����� �� ��� � � � ��� � �� �� ��� � � �� ���[[) � ����� � � ��� � � ����&��� C ,LL��C5��# h ?� C 4���C �@� �� > �" � g��� 3�������� ����� ��� � ������&� ���� ������ ��&� �� �� ��� � � � � ��� �� ����[[ 6� ��� ���� � �����"� �����.�C,LL��C h��C4���+�Q� �� ) �� � :�H�# ) ����� 8�)�# > �" � g���# 5 � ��.� � g��� I�%�� ��� �������� (������� ��� ������ ����� ���� ��� ������ & %�� � �������� �����# �� �� %� � ��� ��� �� �� ��� � � � � ��� �� ���[[ 3�������� � � ��� ���� � � �� ��� � ������ � � ��� *� ������� � 5���� I53HA 5�,��C >�! A �� � I�%� � ����� C,LL��C 4�,@C�B� ?� > �" � g���# ] ���� 4�8�/3�������� � � � ����� &�� ��� �� $� ��� � �� �� ��� �� %�������� �� � ���[[5���� i > $��� �����&� �����%��� 95���� �� ��� � *� ������� ;�C j���� ��. +2����'�� � I � � � ���-� C ,LLL�� 4�DQ�RS � �� SRQ^kNOTlmn W�o�# WlRp^Nmlq r�s�# tnQ^kNm r�M�# tQpOl� unRlm S�s� vQnUlRw�TQPN xnOylR nRw aQ` uQTU^ lypnQRNw yq pkN QRwz^pOQnT ^q^pNU N{zQ__Nw yq pkN QlR ^lzOxN |Qpk n xlTw xnpklwN[[a_OQR} tNNpQR} tnpNOQnT^ ~N^NnOxk alxQNpq�C anR �OnRxQ^xl +�as-�C ,LL��C M� ,@@C ,L�� b� �JKYhWX���M�Z�i� � �Z�JLYW��j�k�l� �dhW�jMm��M����� nMKYhW��k��� �nKLX�oMJ�����l��pJ�WYLKIMLK�J��o�qKMr�Jq+ �KmW�sMXV�J�oK�rY�NX�qtsWq�qKXWsL�j�oX�r�K�J�VWMr��J�KJqtYL+ XKM�� Y�tXsW�uKLh� M� s��q� sMLh�qW�__�nMLWXKM�Y��sKWJsW� MJq �JIKJWWXKJI��R�SS���R�[����v�b�R��������R����� D� ) �� � :�H�# ) ����� 8�)�# > �" � g���# >����( � ��� ��H�# 5 � ��. �/g��� 3��� ��� �� �� %������� �� �� ���# �� $� ��� � ���� ���� �� �% ������ �����[[3�������� � � ��� ���� � � �� ��� � ������ � � ��*� ������� � 5���� I53HA� 5�,�� C>�! A �� � I�%� �����C ,LL��C 4��D���� @� > �" � g���# ] ���� 4�8� �� $� �� �� %������� �� �� ��� �% ������ ����� �&� ������ �$ �� � � � ���[[5���� �� > $��� �����' ���( � ���� 9�� ��� � ��������;� � 4 ����� � ����&# +2����'�� � I � � ���-� C ���,�C 4�/,DB C ,@�� L� > �" � g���# ] ���� 4�8�# : �.��� )�H�#� H� ���� ��� ��H��4��� % ����� �� ��� �% ���� ����� �� �� ��'��& ��� ��� �� ��� ��'[[5 %��� )� �����'���' � ������ ��� ���' ���( � ���� 9>����� � � ��� *� ������� ����,;� C \� ��&���� +2����'�� � I � � � ���-� C ���,�C 4� , C ?�� ��������������������� ���������!��"#$ )*+,-./*�.01 2*+3�451-6*4.4�07�-6.1�7.834 9.)*,-85�7)03�.01�2*+3 :�+��/;<=>?��5@�A��3;=BC>?��4�8��4C>?DC@E pJ�WYLKIMLK�J��o�LhW�qWYKIJWq�rWLh�q��o�XWMsLK�W�K�J+VWMr�YjJ+ LhWYWY�.Upv�2��o�LhKJ�oK�rY�qKXWsL�j�oX�r�s�rN�Ww�shWrKsM��s�r+ N�tJq�K�J�VWMrY�uMY�sMXXKWq��tL��lY�K�J�VWMr�Y�tXsW�uMY�tYWq rt�LKVWMr�K�J�Y�tXsW�uKLh�s��q�sMLh�qW�MJq�s��YWq�qXKoLMIW�W�Ws+ LX�JY�;UMqKsM�Rn ��=��d�JLX����o�K�J�VWMr�WJWXIj�VWKJI��JW��o LhW� Mq�MJLMIWY� �o� LhW�rWLh�q� hMY� M���uWq� L�� o�Xr� LhKJ� oK�r s�MLKJIY�uKLh�qKooWXWJL�shMXMsLWXKYLKsY�oX�r�K�J�VWMr��o��JW�MJq YMrW�rMLWXKM���xhW�oK�r�NX�NWXLj�KJ�WYLKIMLK�J�uMY�XWM�KyWq�Vj s���WsLK�J��o�LhW�rWLh�qYB�pU�z�tXKWX�YNWsLX�Ys�Nj �W��KNY�rWLXj l�� ���� �{����xhW�qWNWJqWJsj��o��NLKsM��shMXMsLWXKYLKsY��o �VLMKJWq�qKMr�Jq+�KmW�MJq�YK�Ks�J�s�JLMKJKJI�LhKJ�oK�rY�oX�r�K�J VWMr�NMXMrWLWXY�uKLhKJ� LhW� XMJIW��o� LhW�shMJIW�rWqKtr�K�J WJWXIj����÷���DW[�KY�o�tJq���XMsLKsM��MNN�KsMLK�J��o�LhW�rWLh�q Upv��MXW�qWr�JYLXMLWq� �� � ������(������������������� �& ����%���(������&��������)� &�� �(��(��(� �* *����+,-.�'*�*���+/�-.��*�*�0�-123 ���� � �� ����� ��� ������$ ��� ��%���� ��&� � ���� � ������&� ���������� � ��&� ���� %� +2��4- ����� ���� ��� � %��� � ��.� �% ������ ����� ������ � ����� ��� ���� ���������� j� �$ � �� ����� +F�- ������������ ���� � & � �������� �$ � �� 92 ��� ��>���; �% % ������� �� '(�� � ������� � ������� � ������ : ��� ��� � �&��� ����� ���� � ���� �� �� �$ ���# �� � ������ �% � � � & � ����# ��%������ �(����� �� ������������� �������� % ��%���� �� ���������� �% ������ ����� ���� $ � ������� F�����$ ��� �� ������� ' ����� ������ %��'���� ���� ���������� � �����! ������ ����# �� ����(���� ����# �1 � �$ ��� ��� ��� ����# � ������&� (��� ��� % �� % � $����. ������� �� ������� ' ����� �� �� %�������� � �� ���'������ ����� ������ ��� � � � ���� ������ ����� � �� � %��� %���� � � ��.�� � �&�� �����# �� �� �$���.��# ,���÷���� )� ���� �������� �� �� ������ % ������ ��� � ���� 2��4�
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101835
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-12-01T04:34:32Z
publishDate 2003
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Валиев, К.А.
Маишев, Ю.П.
Шевчук, С.Л.
2016-06-08T10:35:39Z
2016-06-08T10:35:39Z
2003
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
Article
published earlier
spellingShingle Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
Валиев, К.А.
Маишев, Ю.П.
Шевчук, С.Л.
title Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_full Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_fullStr Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_full_unstemmed Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_short Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_sort реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835
work_keys_str_mv AT valievka reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov
AT maiševûp reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov
AT ševčuksl reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov