Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859708836556832768 |
|---|---|
| author | Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
| author_facet | Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
| citation_txt | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| first_indexed | 2025-12-01T04:34:32Z |
| format | Article |
| fulltext |
������������� ��
��� �
���� ����� �����������
�
������������
��������
������
������
���������������������
�������������������������������
��������������������� ���������!��"#$
���������
�����
�������
������������������������������������������
��������
�
�
� ����
����������
����� �!��"��#$�"%!���&%%$� ��'!&���'(�')�
'!!�*����
� '���'"
&�!�*��&�!!�+$,-���*��%&!
�('�./�012�
�!"&3
#$�!�"�!�#�%�� %
��!!��&(�#,-"���&�!���3&�&-�%"&3���4�%
��%$�5!�*��%�%
'�'��6�"'-�%
���&%
�-!&"'�&�!���.��2
&%#�$7(��'$%8��!�*�#,-"��9:�&%
�-!&"�;/' &"'$+<
��=�%�('�"!,
9�� ��:>���?$�"
��!���&�3�$� !9��"'
� ���
�#�'�$�!&��?!��*&�:�&�!���#,-"'���#��@�%%���%'5 �!&8 �8�$8A4��%8�� !&��&(� �%
�&!%
����
� ' �#�(��$&$�
%>���&���'
7�
�!"�#$�!�-!9��#�"�9
&8�%��'($&-!9�&�%��:%
�'�&�&(�#,-"���&�!���� !�*��&�
�*��5����4�%
�'�
�%%$� ��'!&��%��:%
��
�!"&3�#$�!�"���%,4�%
�$8$�%7�%���",#!�%
7A���
� ��B�?$$&#%���
�&8 �%#�"
��>�
���
�&8
���&��C5�+%#�"
����
�&& �?$�"
��!�*�'>&8����"'('!'�('�&%&��%
7��#
&-�%"&3�%��:%
���#�$,-�!!93�'$�'(�#� �)!93
&�"���!&:%� ��5'4&3� �
�!"&3�#$�!�"� � �
�#'�'��
����#,-"���&�!��� �� &'#'(�!��&(��!�!&8� %�� !�:� ?!��*&&
�%'5 '��93�&�!�������÷���D?6����� ���!%
�&���'!9�#�'"
&-�%"&��#�&��!�!&8���
� '�/�01�
��������
���������
� ����
� ������� �
�����
�
� �����
�
��
��
�
��� ��
�����
���
�����
��
���
�
� ���
��
��������!� ����
��
���
��� �
��
� �
�� �
��"
��#
�
��������
�� $�
��
�
�
��� #
�� %���
���������� ���
����
���
�� $�
��
�%
& %���'
( %��
)�%��$�����
*��
�
�����
�&� ���
��
�
����
��
�
�����
���
�����
��
���
�
% � �����
*�
����(�%��
�
�����
���'��� ��
�
���%�
�
���������
�
��%��$����
��
��� ��
���
*�
�&�
'
�� $�
��
� ����#
����������
�
� �� ��
���&�
�
�
���
�
�
���
�
�����&�
������
&�
��������
�����
���
�� $�
��&�
�
�
���
+� ���,-�
���
��� �
���
�
� ����
���
� �
�� �
��"
��
�����
�� $�
��&�
�
�
���
�������
�%
�
'�� �.��
� ����#
*�
�&��
������
��%� �
�
�
��
��"
�
�#�
�
,�
*)
�����
����
����
�� $�
��
�
�
����
� �������
� ��
���
��
% ����
������� �
���������
�����'
����
���
���
% ������
�
��
� �����'
�������.
����
�� $�
�
��&�
���������
)
�
���
�
� ������'
����% ��
'
� ���
&�
�
�
�
���
���� �
������
��
���� ���
�
�
%� ���
�.���
����
+��
��/0-#
��*����
�
*��
�������
�� ����
���
�� � ������
�
���� ���#
���'���
���
��� �
���
�
� ����
���
� �
�� �
��"
��
+���������
� �� ��
�
���&�
�
�
���
�
�
���
�
�
��%��$����.
��
� �
�����&�
��������
����
��������-�
����
�
��
*�
���
���
���&�
)1
��
�
���
�����$��
��%����
�
�%�
���.
*�
�&��
���.��
�����'
������
���#
�
�� %�� �
����
����
�
�
'�� �.��
� ������
���������
*�
�����
��
��
��
�
��
��$��
��� � �.
���.��
�
���������
�����$��
�
���
�� $�
���
�
� ����
���
�������'�
2 %� ��� ���'
�
���
�
������&�
���������
��&�
����
%
�����
��
���
����� �
�
�� $�
���
��������
�
����
����
���
�%
��%��*�
�&
�����
������
�����
������'
���
����������
)
� ����
����
�����.%�
���
��������'
�����'
��������#
�
�������
����
������
���
����% ���
& %��� ����� %��&�
� ���
&�
�
�
��� �
)
�����������
���'
����
�
+3�4-
��������
����
��
����
���
(������� ��
�����&�
���� #
������'#
�����
�
���'
��
���
�
�
���'
*�
�&��#
� ������� ��
���
�
%
��������
��'
��
�����$���
�$ �
��#
&�
����� ��
���
�� $�
��
�
����
��
���
�
����
����
���
�%
�
�
�
��� #
�
�
������&�
������
�������
5 ���
��� �
%��#
�����
�� $�
��&�
�
�
��� #
�%
������&�
����
���
���
���
����
��
���#
�� ����
���
�
,��
0
�������
�%
�����#
��� %�� ���
�
�����
���
�
3�4�
6���
�
�
���
��� �
�
�����
����������!
��
���
��%��$����.
��� ��
���
���'��� ��
�� $�
�
��
�����
��
���
����
������
�%�
�
���
�
"������
�� � %��
*�
�&�'
�����
���� 7
����& �
� �� ��
�����.
�����&�
����
��%����
�
� �����.
��������
�
���������
���$��&�
���(���#
����
������.
% ����
��
&������
� � ���7
E')$&@'��
C)4'8�3'�'"
��&%
&"'��%!��!93���
� ���!'!�%�!&8�
�!"&3�#$�!�"����'",,��
&"!�$#:�"!�
8&!�%�!'! �
�<
39��' 5'%�8&*��!F
@&
%'- '"�
�#7
%�!!�$�'�#'G
@&
%'-39��' 5'%�
:�!!�&8$��
�9
!�!�#��"
�"�
�#
39��' 5'%�
@&
%'-
7$��
!��
'�
%�-&$�"
�*���' 5'%�
'�
%�4��6? �&!�$�'�#,
B&!�H&�'$'&��
'��&!��'#%�
����-,$+�!!��
"�$? ��"%�-&���
≈
�
�! '%,!&%�"!�"'(
�!
�!
B&!�H&�'$'&��
'��&!�$9#%'/
+�!*'� ��!!��('$#+�!!�&
����-,$+�!!�& ��!!��
�÷ ��
�! '%,!&%�"!�"'(
�!
�!
�&!� 5'%���!!�&����E
IJKLM�N+J�K
� ÷ ���
+!8�
%�#&$&O6
'!�&!�4��%��!
�"5�$ �#
'%,!&%�"!�"'(B9$'�
:�G
"&$'���!�#9!��
&
%�!3����#
�÷ P��
�!
��!!'���&$,�&
%��('$�
(&�&!� 5'%���"%�-&�&3
9('>:���('*
� ÷ ���
'!�&!�4��%O6
�"5�$ �#
��"%�-&
�'3B9$'�
:�G
�#B9!���&!�5&�
&
%�!3����#"&$'���!
≈ �� ÷ P�
�!
:���-,$+�!!�&:9!�&
"'�/
210�/.(�
!&%
�� ÷ ����
��4A8��"%�
���&!�58�#'!
�9)A$ �#��!!�$�'�#'G
"��$*,�9!!' '(
&
%�!3����#
≈ P���
7$��
!�":9!-�
'"-,#,"�
�#
��!�&
������������� �
��� �
���� ����� �������� �����
Q
��
���
��%��$����.
�����&�
��������
��������
����
��
���
��
���������
���
����
�
����
��
�� $�
����
)
� ���
����
����
��
��"����
����
��� ��
����
��
�� $�
���
�����
��
���
�
�����
2384#
���
� ����
�
% ��������.
�����
���
���'���
�����
��
��
�� %��������
�
�&�
�����
��
���'���
�$ �
��
�����
��
���
��
*�
�&��
�����
���� #
��� % ��
�� ����
���
����
�
���
2384#
���% ���
�
� �� ��
�
�����.�
�����&�
����
�
% ��������.�
���'���
�� �
$�
��&�
��������
��
*�
�&��
�����
���� �
���� ���
��������
����
���������
���
3���
��� ���
����������.
�
��� ����
���������
�
��'
��� �����
9: "� �;
<,=
+����
,-#
��� �
���'
����
&���
�����
����������
�����
92 ��� ��>���;
+?-
<�#�=#
(����������
�����'
�����
� ���
&�
�
�
��� #
� ��
������ �����'��
�
�
����&��
���'
� �
�
+,-
�
� ��
������
��
,@�
���
��� ��
����
��
��
��� �����&�
� ����
,�R�/�
����
�����
���
�
�����.%�� ��
�
����
�����
�������&�
� ���
5>A
,���
+�-�
2 ���
� ��
�
��
�%�
��
���
�
�� � %��
���R
D÷D
��R�/� �
)
���� �
��� �����
� ����
� � $�
��'
����'
�����$���
��
$ �
�.
+�-#
���
�" ���'
���$��
�� � �
�.������
�
� �
�.��
���$
��
#
����
��� ���
33
+�-#
����
�
���
� ��
���
�
����&��
����
����
����
+B-�
3�������
�����
�
�������
� �����
�
% �������
��
'(��
*�
�������
92 ��� ��>���;
(������
�
"��
����
��%��*�
�&
�����
���
������
�����
�����
����
���
������
�
�
���
+����
�-�
�������
��%� �
���
����
����� �
�
����% ���
� ����
�
�
���
���
����*�
�&
�������
*�
����� ��#
������
����
�
��
�
�� �.��
��& ��%�� ���'
���
��� �.��'
9��
;
�
�
���
� ��%�� ���
���
�
��� �*�
�����
����
�
� &����
�������� #
��
��
��� ���
� ���� �.��
�%�
�
��
*�
�&��
*�
�������
�
����
$���
���
C
� ����
3%��
�
�
��
�����
�
(������� ��
����
�����
����
����
��
���
����������
*�
��������
33
(������
�
�� ���
� � �����'��
�����
�����
� ���
&�
& %
�� �
����
≈
���/��#
� ������� �����'��
�
�
����&��
���'
� �
�
�
��
�����$���
�$ �
��
�
� �������
D�
÷,@�/���
)
� �
���
� ����
�
�
���
��&��
�����.%�� �.��
�&�
�
��������#
��& ���
���
��
���
���#
����
(������
��
$ ��
& %�#
�&��#
���������
E�� ��
��
� � �
�� ��
�����&�
����
+*�
�&�
'
�
���
��������.�
�����
���� -
����
��������.
���
��
������
� �� ���
*�
����(�%��
���
� � �
����
� %���
+� ���$
�����.
� &�����&�
����
�
��������
�
�
����
$���
#
� ���$
��
�
� %���
#
�����
� ���
�
&�
�
�
��� -
�
�����������
�����������
���'
����
�
��
�������� �
F��
� ��
�������
&
��
����
������
�����
���'
����
��
��
�
�
�������������'
�����
���
��'
��� % �
�.
9 ;#
���
�$ ��'
�
�
�
� ���
�
&
��
�
����
���'
(���
�
� %�
�
*�
�
����
�����������
�
���'
����
��
�
% %����
�
$��
�����
���
*���
� ��
�� ���� ���.
�
���
� %�����
� �� ��
3�4#
�����
���"�
���%� �
��
9 �;G; �;#
&�
9 �;
�����
�����
�
� �����$
��
"����
�
���������
��� #
9 ,;
C
��
�
�
��
"����
��
���������
���
�
,/��
�
����
F��
����
�
���
� ��%
� ���
�
�
���
�����
���*�
�&���
�
����
����
�����
�
���
�
�����'
%����
���
����
��� ���
� ���
�
�
���
���������
���
����
����.
�� �
��
���� #
����������
%�������
�
�����#
����������.
�� (� &����� ��
���� �
F� �
(� &�
��
��� ����
����'
�%���
�
�.#
� �����$
��
���
����.
�� �
��
���� �
H�� %��������
+H��-
�
��
���'���
�$ ��
�&�
�
�����
��
���
�� $� ���.
�
�� �����
���������
� ����
���&�
��
����
:6I���
�%
������
�����
�&�
�
���������
+�����&
�� �#
�
���#
���� ���-
�
��
���'
��& ���
���
�����
���
+&
�� �
�������� % �
+J>F4-#
���������
�������� �
+)5>�4-#
��
��
)5�>4
�
��� ���&�
�������� -�
A
����
����
���
�
�
�
� �
�
��
�
��������
�������� �.
������
����
��$��
���� ��
�����
�&�� �
���
�
�
��
�������
�
��� % �
��
��
����
���
��
���
����
��������.
*�������
����
����
�
�����
���
� �
�
���
��
���
�
������� ����
��
���
���
/&%��� � 13��'� ,%
'!��"&� � &�!!�+$,-���:� � �)�')�
"&� � ;�'H
'!=�
A ����
& %
F ����
� %�
�
���
� ����
K���
�� � ���
��������
�������&�
� ���
������
� �
�
���
��������
������
��
�
�
%
&'
�����
�
�
(
�������
���� �
���������� ������� ������� ��� ����������� �������������� ��
������������� ��
��� �
���� ����� �����������
S
�����$���
3%�
�
���
����������.
�
�� �� �����
�����"�
����
*�������
��
986>��>;
�
����
�����
�#B��@/���
�
�����.%�� ��
�
����&� ��
�
� ��
���#
����
�
���
�
�
���
����
���� ���
*�������
�
�� �
���
���
�
�
���
"�����
% ��
�
���'
%���
�%�
�
�����.
��&���
��
��
���#
� �
�
���
�
�����
����
�����
��
���
+���
��������� -�
3%�
�
���
��������
���.
�
��
����(����
��
94I��B;
�
�� � %��
*�
��
&�'
(������
?#��
÷ �#��/*)
+�L�
÷ B��/��-�
���
�
�����.
������� ��
�����&�
��
��
�
��
���'
�������
�.��
������� ���
��
��
�
%
��
����
����
� ��
�
α
������
�����
��*((���
��
5 ��
(α�ν)1/2#
��
��������
������
���.
% ���������
(α�ν)1/2 T�ƒ(�ν)�
6���� �������
*��
�����
�
(α�ν)1/2D→�0
��%����
�
���
�
���.
"�����
% �
��
�
���'
%���
��
����
���
���
�
�
���
( %���&�
���� �
��
���
������
�����.
����
��� ��
��&���
���
��� %���
�
�� � %��
?��
÷ ?���/��R�
��
�� �� ����'
�
�����
�
�����.%�� �
��
�
3:
��
�����
��
MNOPQR
STUNO
,D��V
�
I��.
��
�
��� %�� ��
��
> ���� �.� �
� %�
" �� �
�������
����.
������
���
�����.%�� ���
�� �� ����&�
WXO
���
�(
���
��
���� ���
�
�#�/��R��
3���
��� ��
*�
�
����&�
���� �
���
� �����
�����
��
���
����
��������.
��
�� �� ����'
�
���
���
�$
���
����������
�
�����.%�� ��
�
��
�����
�
��
9>H4��;(����
9UKVWX;�
�����
��
���
� �����
��� %�
����
��������.
*�
��������
������
�
*�
��
&�
'
*�
�������
�#�/�*)#
���
*���
�� �
��
����
*�
�������
���� ����
�#�/���
J�����
�� ��
�$
�
*�
�������
�����& �
@
÷ ,�
�&���
��
A
�����
� �
��%
��((
�
��� �.��
�$
���
�����
��� %���
��� �
����
�
*�
�
����'
���� �
���
� �����
��
����
���
�
�
�
��
����
YN�
���%
'
�����
�
��
��
����
������
���.
��
� ���
�
�
���
���������
*�
�������
������
���'
�
��
��
#
� ����� �����
��� �
��
�
� ����
���
��
Z[[
�$
������
�&�
��� �
3���
��� ��
���������
�����
��
���
��������
���.
*�
������&� (��
����
�
�����
�
�����.%�� ���
�
*�
������&� (
962
,��;
���
��������
�
� ����
$
���
,��/�)
+����
�����
*�
�����
�#��DÅ-
�
�����
��� $
����
> ���� �.� �
&�����
���������
���
����
*�
�������
�
��Y
�
��� %�
���� ���
��
÷ ��/���
��������
������
�
��
������ �
�������
3���
��� ��
� ���
�
�
���
���������
���
�����&�
����
����.
�� �
��
����
����������.
�
�
�.�
���
�
�
�
���
�
� ����
������
� ���
�
�
���
���������
���
����.
�� �
�� #
����� ���� ��
'
�
� ����
��
����.
��� �����
�
����
��
�� $�
���
��
���
�%
����
��
������
� ��
�����$���
�����$���
2���
�
I���&� (��
��������
�����
92 ��� ��>���;
A
� ����
�����.
� ���
�
�
���
���������
���
� ����
�
$��
33
�
�� �
��
,��/��
�
��
�
��"
�
±.
��÷ �-/0#
�
�� �
��
,��/��
C
±.� ��÷ ,#��-/0#
���
��
��
���
�
� �
�
��
�����
��
���
�
���."�'
�����������.�
�
�
�����$��
�� �����
�� �
����
��
,��/���
E�� ����
��#
���
���������
� � �
�� ��#
���
�
�
�������
� ���
�
�
��
���������
���
����
����.
�� �
��
���� #
��������
������
��� ��
�
�
�����
�����
& %
�
33#
� ���$
��
�
� %���
�
� ���$
��
����.
� &�����&�
����
�
��
'�
33�
) �� ���
��"
�
� %� ���
� � �
����
��%����
�
�������.
� ���
�
�
�
��
���������
���
����
����.
�� �
��
����
� %�
�����&�
���
+��&����
#
������
#
�������
-#
���
*���
��
�
�.
�����%��
���(���
� ���
�
�
���
���
�
���
���
*�
����(�%��
�����
� ��
������ ��
�����
������
�
��������
� ����
& %
�
33
+����
�-�
A
�����?
��
��� ��
��
&� (���
� ���
�
�
���
�����
��
*�
�&���
ƒ+�-
���
������
�����
�����&
�� � #
�����
���
��((
�
������ ��
�
�����
% �
�$��
�����&�
��� #
�
&
��
����
3�4
9 �;
�
� ���$
���
�
� %���
�
Z,#D/�)
���
� %�����
�����
& %
�
������
����
3%
&� (����
��
��
�#
���
�����'
�����
� ��
�
��%�
���
� %������
�����
��
*�
�&����
F
'�����
�
�.��#
�
33
� ���&�
���
����% ���
*�
��������
�� ���
��$
�
����� ����.
�
�����
�
��
��������
�
&�
����
$��� �
4�
�����
�
*��&�
����
���
*�
��
&
���
���'
� %����
�����
���� #
� �
� �
*�
�&��
���
�
� ���
�������
���
�
��
���
� %����.�
���
����
���
�
$��
*������
��� �.�
�
�
��
9��$�
���;
���
�
���
��� ���
��������
&�
*�
�����
�
�����$��#
��
���
���
��� �
%
����
H� ��&����
% �������
���
�����
��
���
��
����
��
��
� �� ����
&
��
��
2���
��
2 ���
�
�
��
���������
���
�����
����
����.
�� �
��
���� !
-
% ��������.
��
���
���� 7
�-
% ��������.
��
� ���$
������
� &�����&�
����
�
��
'�
33�
'2
)2
��������������������� ���������!��"#$
������������� �
��� �
���� ����� �������� �������
���
��
'��
�
� %�����
� ����
�
$��
���
���
�� ����
�
�
���!
�����&
�� �#
�&��#
��������
<?=�
����
�
���
*���
���
���
��%������
������.
� %�����
�
� ���
�
�
���
�����
��
*�
�&���
�
����
�
�����.
� ��
�
��
���
*�
�&�'
�����
���� �
E�� ����
�
�
��%��$����.
��� ��
���
��
��
'
*�
�&�
'
�����
����
�
�� � %��
��
,��
��
���/*)
����
������
�����
(�� ���
&
��
����
3�4
+�����-�
4
� �� ��
'
%���
����% ���
� ���
&�
�
�
���
�
��������
�
% %��
���
��
��� %�� ���
&
��
����
��
'��
����
������
� �
*�
�&
���
���
� ��
������
��#
� �
�
���
���������
������
�����
+����
B-�
���
��
�
���
���
� ��������
�
$��
"���
���
� �����
�
�����
������
*�
�������
+��
�
�%�
�
���
� � �
��
9 ;-
� ����
���
��%� �� ��
����"
���
���
����
�
���
� %���
!
�
"!
�
#
� ��
��%���
*((
��������.
(�����
��� ���
�����
������
���
� %�����
� �� ����
&
��
�
����
3�4�
> ���� �.��
%� �
���
!
�
"!
�
���� �����
�
�&��
��
B�/0#
�
�����&
�� �
��
D�/0#
�
������
���
��
@�/0�
3%�
�
��
����"
���
�����
��������
�
��
�%�
�
��
�
� �
���
���� #
� �
�
���
� %��� �
H��������
%� �
���
���
����
���� �����
��
B��/�H
+#�T�
�D�H[��
2�
���
�
�� ��������
��
��
�
���
�
'�� ��% ���
% ���
�
���
� �����
� ����
'
��*�
�����
���'
��
���
�
����
$���
�
$��
33
�
�����$��'
��� � ��
���
���
� � ���
��'
� ���
�
'�� ��% ���#
������'
�
����
��
�� $�
���
��*�
�����
���'
��
���
�
���
��
����
���
�%
������
�����
��%����
�
*((
������
����
������.
����
�� ���
���
����
�
��� � ��� �
���
���
� ����.
�
�
�
����
�� ���
�
,��/0�
)
�����
���
� ������&�
���
��� �
�
��*�
���
���
��$
�
���� ����.
�����
���.�#
����"
��
� ����
$
���
�
� %���
��������
�
��%� �� ���
���
��� � 7
��
���
��
���
����
����������
�
�
'�� ��% ���
% ���
�
��*�
�����
���'
���
� �����
���
�
�%�
��
���
� ���$
���
�
� %���
�
���$
���
���
��� � �
)
����
��
������'
����
�� ���
����
������
��
�
�
���
�
�����'
�����
�
��
���
�
���*�
�������
����
�
�����
���
�
'�� ��% ���
% ���
�
���
� �����
��*�
�����
+����D-�
��������
���������!���
�����
"����#
��������
������ ���$%��
����%���������
����
�
���
� �
����
��� ���
��� % ��
�������� �
�.���
��%��$����.
� �
�
���
�����
��
���#
�
� �����
���
�� %�������� #
�� $�
��
�
�%
����
�����
<�
C
@=�
)
� ���'
� ���
��
��� ��
��
�
%��.� ��
� �
�
�
���
� �
�� %�������� #
� �
�
��
���'���
�$ ��
�&�
�����
�������'#
�����
���
�%
������
�����
����
���
���$��
�
�
���
<L=�
2���
?�
2 ���
�
�
��
�����
��
*�
�&���
�
����
�����
������
&
�� �
���
&
��
����
3�4
9 �;#
� ���$
���
�
� %���
�
Z,#D/�)
�
���
� %���
�#,/H#
�#�
H#
�#�/H�
/&%�� ��� \'�&%&��%
7� %�� !�:� ?!��*&&� &�!��� #,-"'� @&"$�*�"+
%'!'� �
� *����
�&&��C1�#�&� !'#�85�!&83� !'� �'(�8 �� � ��D"6
� �D"6 �
��D"6�
'2
2���B�
\ ��������.
����"
���
���
����
�
���
� %���
��
&
��
����
3�4
���
����
�����
�����&
�� �
���
� ����
$
���
�
� %���
,#��/�)#
,#D/�)#
�#?�/�)�
2&%�����\'�&%&��%
7�&�!!�*��
�"'�!'�#� $�5",� .'2�&�#�
�!@&'+
$'�&(�$&���'!!�*��#� $�5"� ��5'
�$8� .)2� �
�
�"'�!'"'$'�"'
�+
'+!�:
�'$&('
��'���#��@�%%���%'5 �!&8� &?$�"
�&-�%"�:�#$�!+
"&�#�&�!'#�85�!&&�!'� �'(�8 ��
�
T� �D"6�&�
�"��#,-"'� ��!�:+
�'$&('@&&� ��D�] � ���D�] � ���D�]�
)2
�������
���� �
���������� ������� ������� ��� ����������� �������������� ��
������������� ��
��� �
���� ����� ����������� ��
A
����
@
����
�
��
��������
�� $�
���
H��
�%
������
�����
�����&
�� �
�
�
��� �
�����
���
% �
���������
��
��
���
'��'
� ��
�
�
��&��
���.
����
� ��
��� $
��
�!�$
��
≈��
�
�#
�
&�
��
��
C
�
����&��
��
��'
��*((���
��
���������� �.�����7�#
�
�%���������.
���
����
������
5
����&��
���'
��*((���
��
���������� �.�
�����
��
�
% �����#
&� ����
��� %��#
��
���� �
���
���
��
� ���
&�
�
�
��� #
� �$
� ���$
���
�
� %���
�
����
��
�� $�
����
)
� ��� ����
���
�� � %��
*�
�&�'
�����
����
����.
� �
�
���
�����
��
���
���
�
��
���
��������
�.�
���
����
�
���� ���
���
�
�� ����
���
�
% ���
���
��
*�
�&��
�����
+�
���
,�/0-
+� ���
�-�
4�
��� �
�
�.��#
��
�� &
��'
�
���
� �
�
���
��������
���
%����
�
����������� �.
�������.
�� $�
���
�
����
��
2���
@
4������.
�� $�
���
�� %��������'
��
���
�%
������
�����
�����&
�� �
+ -
�
�
���
+�-�
'2
���
����
�%�
�
��
�
���������
���
����
�
����
��$���
6�
�&
���
�� �
% ��������.
��������
�� $�
�
���
��
���
��%����
�
���� �.#
���
����"
��
*�
�&��
�����
���"
���/*)
����
���
�
$
� �
�.����
3���
��� ��
���'���
�����
��
���#
����
�
���
�����������.�
�
�����#
��� % ��
% ��������.
���'���
��
���
��
*�
�&��
�
���
���������
�����
����
�
����
��
�� $�
����
�����
�� �
"����
% �
��
�
���'
%���
�
&
�� %��������
��
���
% �����
��
���������
��������
�
����
��
�� $�
���#
����
�
�
�� � %��
� ����
�
$����
�����
��
H��#
� ��
�
��%����
��
�����
���'
"�����'
% ��
�
���'
%���
�
���
�� �
�#@÷,#�/*)�
E�
���
��
���������
��������
�������$�
���
���$
��
�
�
&
#
������
��������
��
�%�
�
��
�
���������
&� (�����&�
�� ��
� �
:�
���'���
�$ ��
�&�
�����
��������
��� � ��
���
������'
���%� �����.�
�
�� � %��
����
����
�#�÷�#B�/���#
�
�
H���
���
*���
�%�
�
��
�����
���
��� % �
�
'
��
���'���
�$ ��
�&�
�
�����
��
���
�
% ���������
��
*�
�&��
�����
����
� ����!
�����
�� �
"����
% ��
�
���'
%���
�
&
T� Q÷�#?/*)#
��� % �
�.
��
����
���
'�T�� ��÷�#?#
��*((���
���
*��������
��T�� ��÷�
�
6�
������&� (��
����
�
�����
��� % �
���(�
� �
��������
�����
���
�����
��
���
+����L-�
>
�����
�$
���
����������
��� ����
��#
���
��
���#
�����
���
�� $�
��
�
�%
������
�����
�&�
�
�����
+�����&
�� �#
�
���#
���� ���-#
��������
��
� %����������#
����
�
����
�
�� &�� �.��
���%
'
�����
�&�
���
���� ���
�
��
D�
��
0
+����
,�-�
]����
�
�
����$
��
+�D�
*)-
�$
����
�����
�������
����
(����
�&�
�����
��$�&
�� %��������
��� %���
���
�
��
� ���
,���°4
�
����(
�
�&��
��������
�
��� %�� ���
��
���
���
�
�
���
'
πC���%
'
�
��
��
��
,��/0�
E�
���
��
��
�
�
� ���
�
�
���
���������
*�
�������
��������'
�
���$$
����
��� %�
�
�� �
� %��
�
÷ ,�
*)
�� %��
�
�
��%� �� ��
����
πC
���%
'
�
��
��
�
>
�����
3:���
����������
��� ����
�
( %���'
���� �
�����
���
�����
��
����
)
��
���
�� %����
�����
��
���
� ���� ����!
������
�
�@D�
��R�
�
�LB�
��R�
�����
�������
� �
���
���
����
�������
�
�
����
�������
���
� ����
4�A
���%
'
�
&����
̂ _�
4A
�
^
�����
�
�L��
��R�������
�����
�
�
����
�������
���
� ����
4�A
���%
'
�
&����
̂ _�
4A
^
������
�
����
��R�
�
��?�
��R�
�����
�������
� �
���
���
���
� ����
���( ���
���
�
��� ���
���
̂ _
�
4A
&����
�����
����
���7
������
�
,�D�
��R�
�
,?��
��R�
�����
�������
����
�
�������
�
�
����
�������
�
(��� �������
���
�
� ����
���%
'
4�A
�
&����
̂ _�`A
�
^
)2
2���
L
5����� �
*�
������&� ��
�� %��������'
��
���#
�����
���'
�� $�
��
�
�
����
����
���
�%
������
������
5 ����
�
4�������
����
����
�� $�
���
�����
��
���
�
�����
2384�
[8&!� 5'%�7
%���"1
%�
�!&�_���
%*!'
�%_]��'"-,#'"�
7
%�!
�$#.
2
B'"!�$�
��
%�4����-�)'/
6"�� �TN` 6"� �TN` 6"��
TN`
B��]
!'%"�*�$"&a
���� �QS ��S
!�
�@] ��� ��� ���
$�!'#��� ��� �b� ���
1�<cB�dK� ��Q
��b
���
1C<E6BedK� ���
���
��Q�
eK�
Cf1C<E6B
��S + +
��������������������� ���������!��"#$
������������� �
��� �
���� ����� �������� ������
�����
�
≈,B��
��R�������
�����
�
���'���
4
Z
4
���%���
5����
��
���#
�����
���
�� $�
��
�
�%
������
�����
��
���'��& ���
���
�����
���#
��������
���&�������
������
����������#
������
������
���� ���
�
�K+d
� ���� �
)
% ���������
��
���
����
�
��
��&�
��
���'��& ���
���&�
�����
�
��� %����
��
����� ����
��
����
���
� ���������
��
�����
3:�
��
����
��� %���
�Kd���������'
���
�$ �
"������
������
�
��� ���
D��÷,���
��R�#
����� �
�����
�����
�
���
� ����
���%
'
aQ�`
+D?�/���R�-#
aQ
̀
�
�K�.dg
2
J
+�K�.Q��
÷Q
�D���R�2 ��Kg�.Qb��÷Q��
��R�-
�
aQ�b
+L��
÷,���
��R�-�
3:�
��
����
��� %���
�Kde��������'
���
�$ �
"������
���
����
�
��� ���
D��÷L��
��R�#
����� �
�����
�����
�
���
�
� ����
���%
'
aQ�`#
aQ
�
̀ c
J
&����
+D��
÷@��/��R�-
�
aQ�c
��R�#
�����
���������
������ ����'
aQ�d�aQ
( %
#
����
% ���'
�
��& ���
�����
&���� ����K+.dg
�
2
J
��K+.dg
2+�K�
4��'���
�����
���
�����
��
���
+H��#
a`bc#
aQ`�c-
�����
��
�
� ���/��
'2
)2
2���� ,�
F�((
�
��� �.��'
�$
C��
���
+ -
�
� ���
�
�
��
���������
*�
�������
��������'
+�-
���
�� %��������&�
��� %�
e,
��
+����"� �
�����-
�
����
+�������� �
�����-
��$�&
���
�
��
� ���
,���°
4
�
�&��
�
�
�
���
B�
������
)
� ���
�
��
��� ��
��
��
�����
� � �
���
�����
��
���#
�����
���
�� $�
��
�
�%
������
�����
���
� %�����'
���������
��������
(
)
!
( %��
��'
���� �!
����
�����
�&�
���
�
YN�
&������% ��
'
���%
'7
�����
�� �
"����
% ��
�
���'
%���
(
&�
+%��
5 �� -7
�������.
���
� ������'
�
������ ���
$7
���
� % �
�.
��
����
���
'7
��*((���
��
*���������
��
��
�
� �����������������������
��
�������
E�� ����
��#
���
�����
���
� � �
���
��
���'���
��
$ ��
�&�
�����
��
���
�����
�������
��
��� ����
�
�����
�������
���������#
��
���!
������'
��� % �
�.
��
����
���
+'D≥D
2^
"���� �
�����
�� �
%��
+(
&
D≈/�#�
*)-7
��%��'
��*((���
��
*���������7
��%� �
�������.
���
� ������'
�
������ ����
H� ��%
�����
���
���'���
��
���'���
�$ ��
��
���
��� % �#
���
� ����
*((
�������
���
�����
��
�
���
����
���
����
�
��
�����
��
���#
�����
���
�� $�
��
�
�%
������
�����
)5>�4�
���
*���
% ���
�
��
���.��'
�������
����
���&�
*�
�
��
��
���'
�%
����
�����
)5>�4
���
��
��
'
*�
�&��
�����
���/*)
�
���������
���
�#�Z
�#?�/�H[��
+���'���
����
�����!�����
�� �
"����
% ��
�
���'
%���
(
&
Z�#��/*)#
��� % �
�.
��
����
���
��'�Z
�#?#
��*((��
��
��
*���������
���T�� ���÷ �#�#
�������.
���
� �����
��'
�
������ ���
�*�Z
B��/��[�-
��������
��
��� �.�
���
��������
�.����.
*�
�
��
�
��� ���
�#?
÷ ,#�
���
��
B�/0�
A
����,,
��
��� ��
�
��
��� �.� �
��������
�.�
����.
����
���&�
*�
�
��
I
�
�
�����
��
���'
���
� �
����.�
+,-
�
�
� �
�
���'
�����
�����
'
��
���'
+�-#
�� $�
���'
�%
������
�����
)5�>4#
���
&�
���
�
���
�
��� ���'
��������
4�
��
�
������ �.#
���
%
��
�
�����
��
���
� ���� �.��
��%� �� ��
��&� �
�
���
$
�
��
��" �.
?�/0�
5 ����
�
4��'���
�� %��������
�
��
���'���
�$ ��
�����
��
���#
�����
���
�� $�
��
�
�%
������
�����
�
�����
2384�
2���,,�
4�
��� �.� �
��������
�.����.
*�
�
��
I
����
���'
� � �
�!
+,-
�
%
�����
�����
&�
��������7
+�-
�
�����
�����
���
�������
�
48A��
�������
���� �
���������� ������� ������� ��� ����������� �������������� ��
�$�!"' 1�%
'� (
)
�6
_%�
(
&
�?6��� �P ' Z [ �%�_%
M�R�d�B�g
�Kde.g2
�Kd�.g2
YN
dg
'
YN
d�T�d
�Kd
�Ke�K
�Kd
�K
+
�
,
�K.dg
+
2
,
�Kg
'
YN�dg
'
�K.dg
+
2
,
�Kg
'
� ���
� ���
� ���
� �
Q
� ���
� �
Q
����
���
���.�P��)�2
�� �
� S
�
�
�
��
�
�
�� Q �� Q
�
��R�
�
�� Q
�
�
�
�
�� �R�� S
�� ��R��
�� ��R��
R
R
R
b��
R
����
������������� ��
��� �
���� ����� ����������� ��
����"
��
��������
�.�����
*�
�
��
���"
?�/0
���% ��
��
���$
��
�
��������
���
� ������'
�
����
��� ���
�
&� ���
� %�
� #
����� �
���
aQ`dc
��
���
���� ���
�
B��/��[�
+���
� ����
�-#
�
�������
��
�����.�
%�
��&�
�
� �����
��
��
�
�
����&��
����
���
*�
�
����
��������
fRa#
���
������&�
�������.
���
� �
������'
�
������ ���
���� ���
�
,���
��[��
4���& �
� �� ��
�����.
�����&�
����
��$
�
*(�
(
������
�����.%�� �.��
���
� �
�
�����������
����
��&�
��������
�
����
����
���
�%
������
�����
�
���
� �����
������ ��
����
�&����
��'�
A
�����,�
��
��� ��
��
�
�����
���������
�
� �
�
���'
�����'
��
���'#
�� $�
���'
�%
������
�����
)5�>4�
�����
���'
�
%��.� �
����� ����
�
�������� �.���
��%��$����.
(������� ���
� �.
�
���
���
�
���
���&������
��'
�
� ���% ���
EK34�
&
��' ����
)
�
%��.� �
����
�
���
����
��� ��'
��� % ��#
���
�
���
�
������&�
���������
��&�
����
%
�����
��
���
+2384-
�
'�����
�.��
� �"���
�
�
���
��&��
���
��%��$�����
����
����
�� $�
���
�����
��
����
5 �
��� % ��#
���
����������
��
�%�
�
��
*�
�&��
�� $�
��
�
�����$��
�����
����
��%����
�
���
�����.%�� ���
����&�
�
��&�
$
� ���
�
&�
�
�
���
��� ����.
�����
�����
���'��� ��
���&�������
����
�����
��
���
C
�����
���'
% ��
�
���'
%���'#
��� % �
����
��
����
���
�
��&���
����
)�%��$����.
% ����
���
� � ���
�
��������
�
���."��
��
�����
����"
��
�
����
�
�.����
�
�
� �� ��
������
�����&�
���� �
�� ����
���
���
'� �
% ��������.
��������
�� $�
���
��
���������
���
����
��%����
�
�
�����
2���,�
I���&� (��
� � ���
�
��
�����
����"
��
�
HZ�
+"����
�
&�����
� � ���
�#D�/���-
�
� �
�
���'
�����'
��
���'#
�� $�
���'
�%
������
�����
)5�>4
��'
�������.�
����������� �.
����
��
� �
�
���
��������
�
���
�����
����
�� $�
��&�
�
�
��� �
)���� �
�������.
�� $�
���
��*�
�����
���
��
���
�%
������
�����
������
�
"�����
�
���
��
����
��
��
���
�
���
2384
�
�����
����������
�
% �������
��
'(��
*�
�������
�
�� ��
���
����
��
�����"�
���&�
� %� �
����
H�����
��� $ ��
�� &�� �����.
I����
���
'���
���
��
�
���
���'
� ���
%
�� &�������
�
*((
�����
���
����
�$��
� ���������
��� �
�.���
� ����
��
��
�
,� > �"
�
g���
3��������
�����
�
���������
��
����
����� ��
���
� �
�
���
�
�� ��
���
� �
�� ���[[) �
����� �
�
���
�
�
����&���
C
,LL��C5��#
h
?�
C
4���C
�@�
�� > �"
�
g���
3��������
�����
���
�
������&�
����
������
��&�
�� ��
���
�
� �
�
���
��
����[[
6�
���
���� �
�����"�
�����.�C,LL��C
h��C4���+�Q�
�� ) ��
�
:�H�#
)
�����
8�)�#
> �"
�
g���#
5
�
��.�
�
g���
I�%��
���
��������
(������� ���
������
�����
����
���
������
& %��
�
��������
�����#
��
�� %� �
���
���
�� ��
���
�
� �
�
���
��
���[[
3��������
� �
��� ����
� �
�� ���
�
������
�
� ���
*�
�������
�
5����
I53HA
5�,��C
>�!
A �� �
I�%�
� �����
C,LL��C
4�,@C�B�
?� > �"
�
g���#
]
����
4�8�/3��������
� �
�
�����
&��
���
�� $�
���
�
�� ��
���
�� %��������
��
�
���[[5����
i
>
$��� �����&�
�����%���
95����
��
���
�
*�
�������
;�C
j���� ��.
+2����'�� �
I
�
�
� ���-�
C
,LLL��
4�DQ�RS
�
�� SRQ^kNOTlmn
W�o�#
WlRp^Nmlq
r�s�#
tnQ^kNm
r�M�#
tQpOl�
unRlm
S�s�
vQnUlRw�TQPN
xnOylR
nRw
aQ`
uQTU^
lypnQRNw
yq
pkN
QRwz^pOQnT
^q^pNU
N{zQ__Nw
yq
pkN
QlR
^lzOxN
|Qpk
n
xlTw
xnpklwN[[a_OQR}
tNNpQR}
tnpNOQnT^
~N^NnOxk
alxQNpq�C
anR
�OnRxQ^xl
+�as-�C
,LL��C
M�
,@@C
,L��
b� �JKYhWX���M�Z�i� � �Z�JLYW��j�k�l� �dhW�jMm��M�����
nMKYhW��k��� �nKLX�oMJ�����l��pJ�WYLKIMLK�J��o�qKMr�Jq+
�KmW�sMXV�J�oK�rY�NX�qtsWq�qKXWsL�j�oX�r�K�J�VWMr��J�KJqtYL+
XKM�� Y�tXsW�uKLh� M� s��q� sMLh�qW�__�nMLWXKM�Y��sKWJsW� MJq
�JIKJWWXKJI��R�SS���R�[����v�b�R��������R�����
D� ) ��
�
:�H�#
)
�����
8�)�#
> �"
�
g���#
>����( �
���
��H�#
5
�
��.
�/g���
3���
��� ��
�� %�������
��
��
���#
�� $�
���
�
����
����
��
�%
������
�����[[3��������
� �
��� ����
� �
�� ���
�
������
�
� ��*�
�������
�
5����
I53HA�
5�,��
C>�!
A �� �
I�%� �����C
,LL��C
4��D����
@� > �"
�
g���#
]
����
4�8�
�� $�
��
�� %�������
��
��
���
�%
������
�����
�&�
������
�$ ��
�
�
�
���[[5����
��
>
$��� �����'
���(
�
����
9��
���
�
��������;�
�
4 �����
�
����&#
+2����'�� �
I
�
� ���-�
C
���,�C
4�/,DB
C
,@��
L� > �"
�
g���#
]
����
4�8�#
: �.���
)�H�#�
H�
����
���
��H��4���
%
�����
��
���
�%
����
�����
��
��
��'��& ���
���
��
���
��'[[5
%���
)�
�����'���'
� ������
���
���'
���(
�
����
9>�����
�
� ���
*�
������� ����,;�
C
\�
��&����
+2����'�� �
I
�
�
� ���-�
C
���,�C
4�
,
C
?��
��������������������� ���������!��"#$
)*+,-./*�.01
2*+3�451-6*4.4�07�-6.1�7.834
9.)*,-85�7)03�.01�2*+3
:�+��/;<=>?��5@�A��3;=BC>?��4�8��4C>?DC@E
pJ�WYLKIMLK�J��o�LhW�qWYKIJWq�rWLh�q��o�XWMsLK�W�K�J+VWMr�YjJ+
LhWYWY�.Upv�2��o�LhKJ�oK�rY�qKXWsL�j�oX�r�s�rN�Ww�shWrKsM��s�r+
N�tJq�K�J�VWMrY�uMY�sMXXKWq��tL��lY�K�J�VWMr�Y�tXsW�uMY�tYWq
rt�LKVWMr�K�J�Y�tXsW�uKLh�s��q�sMLh�qW�MJq�s��YWq�qXKoLMIW�W�Ws+
LX�JY�;UMqKsM�Rn
��=��d�JLX����o�K�J�VWMr�WJWXIj�VWKJI��JW��o
LhW� Mq�MJLMIWY� �o� LhW�rWLh�q� hMY� M���uWq� L�� o�Xr� LhKJ� oK�r
s�MLKJIY�uKLh�qKooWXWJL�shMXMsLWXKYLKsY�oX�r�K�J�VWMr��o��JW�MJq
YMrW�rMLWXKM���xhW�oK�r�NX�NWXLj�KJ�WYLKIMLK�J�uMY�XWM�KyWq�Vj
s���WsLK�J��o�LhW�rWLh�qYB�pU�z�tXKWX�YNWsLX�Ys�Nj �W��KNY�rWLXj
l�� ���� �{����xhW�qWNWJqWJsj��o��NLKsM��shMXMsLWXKYLKsY��o
�VLMKJWq�qKMr�Jq+�KmW�MJq�YK�Ks�J�s�JLMKJKJI�LhKJ�oK�rY�oX�r�K�J
VWMr�NMXMrWLWXY�uKLhKJ� LhW� XMJIW��o� LhW�shMJIW�rWqKtr�K�J
WJWXIj����÷���DW[�KY�o�tJq���XMsLKsM��MNN�KsMLK�J��o�LhW�rWLh�q
Upv��MXW�qWr�JYLXMLWq�
��
�
������(�������������������
�&
����%���(������&��������)�
&�� �(��(��(�
�*
*����+,-.�'*�*���+/�-.��*�*�0�-123
����
�
��
�����
���
������$
���
��%����
��&�
�
����
�
������&�
����������
�
��&�
����
%�
+2��4-
�����
����
���
�
%���
�
��.�
�%
������
�����
������
�
�����
��� ����
����������
j�
�$
�
��
�����
+F�-
������������ ����
� & �
��������
�$
�
��
92 ��� ��>���;
�%
% �������
��
'(��
�
�������
�
�������
� ������
:
��� ���
�
�&���
�����
����
�
����
��
�� �$
���#
��
�
������
�%
�
�
� &
�
����#
��%������
�(����� ��
�������������
��������
%
��%����
�� ����������
�%
������
�����
����
$
�
�������
F�����$
���
�� �������
'
�����
������
%��'���� ����
����������
�
�����!
������
����#
��
����(����
����#
�1
�
�$
���
���
���
����#
�
������&� (���
��� % ��
% �
$����.
�������
�� �������
'
����� ��
�� %��������
�
��
���'������
�����
������
���
� � �
����
������
�����
�
�� � %���
%����
�
�
��.��
�
�&��
�����#
��
�� �$���.��#
,���÷����
)�
����
�������� ��
�� ������
% ������ ���
�
����
2��4�
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101835 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T04:34:32Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. 2016-06-08T10:35:39Z 2016-06-08T10:35:39Z 2003 Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов Article published earlier |
| spellingShingle | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
| title | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_full | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_fullStr | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_full_unstemmed | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_short | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| title_sort | реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835 |
| work_keys_str_mv | AT valievka reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov AT maiševûp reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov AT ševčuksl reaktivnyiionnolučevoisinteztonkihplenokneposredstvennoizpučkovélektronov |