Cover Image

Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2003
ISSN:1999-8074
Main Authors: Валиев, К.А., Маишев, Ю.П., Шевчук, С.Л.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items