Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2003
• Main Authors: Валиев, К.А., Маишев, Ю.П., Шевчук, С.Л.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.