Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2003 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862700599265460224 |
|---|---|
| author | Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. |
| author_facet | Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. |
| citation_txt | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| first_indexed | 2025-12-07T16:39:31Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101836 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T16:39:31Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. 2016-06-08T10:36:46Z 2016-06-08T10:36:46Z 2003 Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836 en Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge Article published earlier |
| spellingShingle | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. |
| title | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
| title_full | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
| title_fullStr | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
| title_full_unstemmed | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
| title_short | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
| title_sort | simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836 |
| work_keys_str_mv | AT lisovskiyva simulationohtheignitionofalowpressurerfcapacitivedischarge AT boothjp simulationohtheignitionofalowpressurerfcapacitivedischarge |