Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2003
Автори: Lisovskiy, V.A., Booth, J.-P.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101836
record_format dspace
spelling Lisovskiy, V.A.
Booth, J.-P.
2016-06-08T10:36:46Z
2016-06-08T10:36:46Z
2003
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836
en
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
spellingShingle Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
Lisovskiy, V.A.
Booth, J.-P.
title_short Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_full Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_fullStr Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_full_unstemmed Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_sort simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
author Lisovskiy, V.A.
Booth, J.-P.
author_facet Lisovskiy, V.A.
Booth, J.-P.
publishDate 2003
language English
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836
citation_txt Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT lisovskiyva simulationohtheignitionofalowpressurerfcapacitivedischarge
AT boothjp simulationohtheignitionofalowpressurerfcapacitivedischarge
first_indexed 2025-12-07T16:39:31Z
last_indexed 2025-12-07T16:39:31Z
_version_ 1850868310992748544