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Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2003
Hauptverfasser:	Lisovskiy, V.A., Booth, J.-P.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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