Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2003
• Main Authors: Lisovskiy, V.A., Booth, J.-P.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.