Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | Lisovskiy, V.A., Booth, J.-P. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge
за авторством: V. A. Lisovskiy, та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: V. A. Lisovskiy, та інші
Опубліковано: (2003)
Ignition and properties of RF capacitive discharge in acetylene
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Simulation of capacitively coupled RF discharge in argon
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2023)
Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000)
The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2003)
Dissociative mode in low-pressure RF discharge
за авторством: V. A. Lisovskij
Опубліковано: (2006)
за авторством: V. A. Lisovskij
Опубліковано: (2006)
Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
за авторством: Olshansky, V.V.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Olshansky, V.V.
Опубліковано: (2012)
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)
Plasma cleaning of technological chambers in rf capacitive discharges
за авторством: V. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: V. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2004)
Treatment of polyimide films by an atmospheric pressure plasma of capacitive RF discharge for liquid crystal alignment
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)
Basic plasma features of planar jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)
Influence of voltage pulse duration on ignition of glow discharge in air
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)
Burning modes of dc low pressure discharge with a transverse constriction
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
Anode diameter effect on ignition and burning of DC discharge
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)
Spatial distribution of continuum radiation from plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure: photometric study
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)
Study of the neon dielectric barrier discharge on a capacitively coupled radio frequency at a low pressure with metastable atom density: Effect of the pressure
за авторством: A. Bouchikhi
Опубліковано: (2022)
за авторством: A. Bouchikhi
Опубліковано: (2022)
Study of the neon dielectric barrier discharge on a capacitively coupled radio frequency at a low pressure with metastable atom density: Effect of the pressure
за авторством: A. Bouchikhi
Опубліковано: (2022)
за авторством: A. Bouchikhi
Опубліковано: (2022)
Numerical simulation of nanoparticles coagulation in RF-discharge
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)
Computer simulation of dust transport phenomena in a RF discharge
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2010)
Obstructed DC glow discharge in low-pressure nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2010)
A computer simulation of the effect of dusty particles on the characteristic of RF discharges
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2007)
Ignition and break-down of the gas discharge in magnetic field
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Deposition of nanocrystalline silicon films into low frequency induction RF discharge
за авторством: Deryzemlia, A.M., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Deryzemlia, A.M., та інші
Опубліковано: (2014)
Low frequency oscillations in U-2M conditioning RF discharges
за авторством: Dreval, M.B., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dreval, M.B., та інші
Опубліковано: (2018)
Modified paschen's law for dc discharge ignition
за авторством: V. A. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: V. A. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2008)
Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)
Low-capacitance Josephson junctions
за авторством: A. P. Shapovalov, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: A. P. Shapovalov, та інші
Опубліковано: (2020)
Stationary regimes of low pressure magnetron discharge
за авторством: A. V. Zykov, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: A. V. Zykov, та інші
Опубліковано: (2015)
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)
Nitriding of the steels in gas arc low pressure discharge
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)
Features of the microsecond pulsed discharge ignition in oxygen in a point-to-plane configuration
за авторством: Mankovskyi, S.M., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Mankovskyi, S.M., та інші
Опубліковано: (2018)
Experimental study of ignition and burning of DC discharge at various diameters of the anode
за авторством: V. A. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: V. A. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2010)
Transport processes in the low pressure gas discharge plasma
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)
Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2020)
2-D electron system in the RF-discharge plasma. Part II. similarity of TDES in a solid and in the RF discharge
за авторством: Berezhnyj, V.L., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Berezhnyj, V.L., та інші
Опубліковано: (2019)
Полиморфные превращения при термообработке системы ZrO(OH)₂—Y(OH)₃—Ce(OH)₄
за авторством: Пашкова, Е.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Пашкова, Е.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge
за авторством: Deryzemlia, A.N., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Deryzemlia, A.N., та інші
Опубліковано: (2019)
Схожі ресурси
-
Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge
за авторством: V. A. Lisovskiy, та інші
Опубліковано: (2003) -
Ignition and properties of RF capacitive discharge in acetylene
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2019) -
Simulation of capacitively coupled RF discharge in argon
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2023) -
Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000) -
The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2003)