Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2003 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101837 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101837 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Гриценко, В.И. Береснев, В.М. Швец, О.М. 2016-06-08T10:40:30Z 2016-06-08T10:40:30Z 2003 Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101837 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| spellingShingle |
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий Гриценко, В.И. Береснев, В.М. Швец, О.М. |
| title_short |
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_full |
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_fullStr |
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_full_unstemmed |
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_sort |
использование вч разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| author |
Гриценко, В.И. Береснев, В.М. Швец, О.М. |
| author_facet |
Гриценко, В.И. Береснев, В.М. Швец, О.М. |
| publishDate |
2003 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101837 |
| citation_txt |
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT gricenkovi ispolʹzovanievčrazrâdavmetodevakuumnodugovogoosaždeniâpokrytii AT beresnevvm ispolʹzovanievčrazrâdavmetodevakuumnodugovogoosaždeniâpokrytii AT švecom ispolʹzovanievčrazrâdavmetodevakuumnodugovogoosaždeniâpokrytii |
| first_indexed |
2025-12-07T20:26:27Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:26:27Z |
| _version_ |
1850882588752740352 |