Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101837 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862742622364237824 |
|---|---|
| author | Гриценко, В.И. Береснев, В.М. Швец, О.М. |
| author_facet | Гриценко, В.И. Береснев, В.М. Швец, О.М. |
| citation_txt | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| first_indexed | 2025-12-07T20:26:27Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101837 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:26:27Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Гриценко, В.И. Береснев, В.М. Швец, О.М. 2016-06-08T10:40:30Z 2016-06-08T10:40:30Z 2003 Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101837 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий Article published earlier |
| spellingShingle | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий Гриценко, В.И. Береснев, В.М. Швец, О.М. |
| title | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_full | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_fullStr | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_full_unstemmed | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_short | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| title_sort | использование вч разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101837 |
| work_keys_str_mv | AT gricenkovi ispolʹzovanievčrazrâdavmetodevakuumnodugovogoosaždeniâpokrytii AT beresnevvm ispolʹzovanievčrazrâdavmetodevakuumnodugovogoosaždeniâpokrytii AT švecom ispolʹzovanievčrazrâdavmetodevakuumnodugovogoosaždeniâpokrytii |