Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | Гриценко, В.И., Береснев, В.М., Швец, О.М. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101837 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2006)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2006)
Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий
by: Швец, О.М., et al.
Published: (2011)
by: Швец, О.М., et al.
Published: (2011)
О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2004)
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2004)
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2005)
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2005)
Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2009)
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2009)
Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения
by: Турбин, П.В., et al.
Published: (2006)
by: Турбин, П.В., et al.
Published: (2006)
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2007)
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2007)
Светофильтрующие покрытия на основе окислов железа, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
by: Лапшин, В.И., et al.
Published: (2003)
by: Лапшин, В.И., et al.
Published: (2003)
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2009)
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2009)
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2008)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2008)
Механические свойства наноструктурированных покрытий (Ti, Al)N и (Ti, Cr)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
by: Гранкин, С.С., et al.
Published: (2014)
by: Гранкин, С.С., et al.
Published: (2014)
Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2002)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2002)
Методы пайки изделий в вакууме с помощью вакуумно-дугового разряда
by: Столбовой, В.А.
Published: (2016)
by: Столбовой, В.А.
Published: (2016)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)
Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения
by: Алимов, В.Д., et al.
Published: (2014)
by: Алимов, В.Д., et al.
Published: (2014)
Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2006)
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2006)
Влияние режимов вакуумно-дугового осаждения в среде азота на фазовый состав, субструктурные характеристики и механические свойства нанокристаллических покрытий системы Мо-N
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2010)
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2010)
Исследование фрикционных свойств композиционных покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2003)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2003)
Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
by: Лучанинов, А.А., et al.
Published: (2018)
by: Лучанинов, А.А., et al.
Published: (2018)
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2010)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2010)
Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2014)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2014)
Динамическая модель развития дугового разряда
by: Павленко, Т.П.
Published: (2005)
by: Павленко, Т.П.
Published: (2005)
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2006)
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2006)
Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
by: Грицына, В.И., et al.
Published: (2018)
by: Грицына, В.И., et al.
Published: (2018)
Структура и физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий системы (Zr-Ti-Cr-Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового испарения
by: Торяник, И.Н., et al.
Published: (2014)
by: Торяник, И.Н., et al.
Published: (2014)
Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления
by: Лисовский, В.А.
Published: (2006)
by: Лисовский, В.А.
Published: (2006)
Микрокристаллическое покрытие Fe-Ti-C, сформированное вакуумно-дуговым методом осаждения
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2007)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2007)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2015)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2015)
Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий
by: Пашнев, В.К., et al.
Published: (2004)
by: Пашнев, В.К., et al.
Published: (2004)
ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ДУГОВОЙ СОСТАВЛЯЮЩЕЙ ЛАЗЕРНО-ДУГОВОГО РАЗРЯДА
by: Бушма , А.И., et al.
Published: (2016)
by: Бушма , А.И., et al.
Published: (2016)
Повышение эффективности дуговой составляющей лазерно-дугового разряда
by: Бушма, А.И., et al.
Published: (2016)
by: Бушма, А.И., et al.
Published: (2016)
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2010)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2010)
Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2016)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2016)
Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
by: Демчишин, А.В., et al.
Published: (2009)
by: Демчишин, А.В., et al.
Published: (2009)
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
by: Аксьонов, І.І., et al.
Published: (2009)
by: Аксьонов, І.І., et al.
Published: (2009)
Характер работы графитовых катодов с повышенной стабильностью дугового разряда
by: Омаров, А. О., et al.
Published: (2004)
by: Омаров, А. О., et al.
Published: (2004)
НЕМОНОТОННОСТЬ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ДУГОВОГО РАЗРЯДА, ОБУСЛОВЛЕННАЯ ЭФФЕКТАМИ ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ
by: Жовтянский, В.А., et al.
Published: (2019)
by: Жовтянский, В.А., et al.
Published: (2019)
Вакуумно-дуговые многослойные покрытия
by: Береснев, В.М.
Published: (2005)
by: Береснев, В.М.
Published: (2005)
Получение борида алюминия в плазме сильноточного импульсного дугового разряда
by: Пак, А.Я., et al.
Published: (2017)
by: Пак, А.Я., et al.
Published: (2017)
Исследование возможности получения дисперсно-упрочненных оксидами (ДУО) сталей методом вакуумно-дугового переплава
by: Борц, Б.В., et al.
Published: (2014)
by: Борц, Б.В., et al.
Published: (2014)
Similar Items
-
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2006) -
Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий
by: Швец, О.М., et al.
Published: (2011) -
О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2004) -
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2005) -
Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2009)