Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2003 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101838 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. 2016-06-08T10:47:59Z 2016-06-08T10:47:59Z 2003 Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| spellingShingle |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
| title_short |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_full |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_fullStr |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_full_unstemmed |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_sort |
радиационные технологии модификации поверхности. i. ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| author |
Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
| author_facet |
Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
| publishDate |
2003 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838 |
| fulltext |
|
| citation_txt |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT belousva radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT lapšinvi radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT marčenkoig radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT neklûdovim radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ |
| first_indexed |
2025-11-25T20:49:07Z |
| last_indexed |
2025-11-25T20:49:07Z |
| _version_ |
1850535582546001920 |