Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2003
Автори: Белоус, В.А., Лапшин, В.И, Марченко, И.Г., Неклюдов, И.М.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101838
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1018382025-02-09T10:56:31Z Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. 2003 Article Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838 ru Физическая инженерия поверхности application/pdf Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
format Article
author Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
spellingShingle Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Физическая инженерия поверхности
author_facet Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
author_sort Белоус, В.А.
title Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_short Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_full Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_fullStr Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_full_unstemmed Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_sort радиационные технологии модификации поверхности. i. ионная очистка и высокодозовая имплантация
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2003
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838
citation_txt Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT belousva radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT lapšinvi radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT marčenkoig radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT neklûdovim radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
first_indexed 2025-11-25T20:49:07Z
last_indexed 2025-11-25T20:49:07Z
_version_ 1849796853235712000
fulltext ������������� � ��� � ���� ����� ������� ������� ��������� � ����������� � ��� ���� ����������� ��� �������� �� ������ ������� � ������������� ��� ������� ���� �������� ���� !"#$% ���� � &'�$(��% ���� ��(�)*�+ ���������� ���� � ������������������ ������������� ���� ���������� ����� � ����������������� ���� ����������������������� �!�������" !�������" �� ����������������� ��� � ��� ������ �������� ����� !"!#��$!����%��!"���&�"'�(� &!)�!����*��!�!����+,-�"�����*����-.#��!)������'! !$�/!0 ,�&��%��� ��%��-��&��� ��!�-�&1�2��,�!�������!*!��-3��%�!��-�'�&��!( �,��&�'!��%�&�224�5�6��!�2�64 ,�$�"������-3�!����(�������'!��&$!�&� �$!%�,��/����%�$�$�!����)��#!� $� �!�������"� !��&��!� �&���$�'�"�&�) !����)�!�,-�� �/!)1����'� �&-����'������,��7 �$ .�*-.�!���*��.,��#���!)�!������-3���*-.��$�*��!����*� ,���!$��&��!)1���!&�'������".-3 � ��,�&��%��� ��*��.,��#���!)�!�.&�-!#��!)�$����"!����(�� �($�� !�,�! !����(�!�,-�� �/!!1���$�"��� �# ����,���830�!����*����-.#��!)���9����.8�� &�����,�&�:� 3�!"����� �($�� 3 !����$��-.9���!"'�-!(1 �������� 6�%��-�*!!���'! !$�/!!�,�&��%��� !� ��!�,�-3"�+ &��!���!����%�!�!����+,-�"�����%�,� �$�&���%�') &�����-���:!��$���,�!�����!��&���"-!#��%���-�� )% ,����:-����� !1����� ���� ��'!/!������!�,�-3"�+ &��!���!����*��-�*!��&��!)�!� ��&-��!)�&�,�-.,��+ &�'�!$�&�(� ,����:-����� ! � !������ �%��-�*!! !� ���!&���!�,�-3".0 �)�'-)�,�&�:��!)�"�8! ��%�! ,��#��� ��%��&�(� &�!"'�-!(1 ��,�-3"�&��!��!����*����-.#��!)�'-)�,�!'��!) �,��'�-����%��&�(� &�,�&��%��� !�!��� ��)'�������+ ��� �(�,�� ���&���!0��� ��'!/!�����!� �,������! ,�-.#��!)�"�8! ��%�,�$�� !(�,. ��� ���!#��$�(���+ ���� $!��&�*�"�&�(����'��!-!�7-�$ ��%!�!#��$�*�����9+ '��!)1�;���&����� -!#!��� �$�(������� $!�)&-)� �) ,�!�. � &!��&� �%��-�*!#��$���,��/�����!���&���7���+ *!�( �!"���)���( �&�"�&!�!��� !�� �!�,�-3".���(���+ �'!$! �&�'!�,�"����� ����$�-3$!%�'��) $�&�7��'����+ �$�-3$!%��'��) $�&�$7�1 <�$�,��&!-� ���-.#��!���� ��!�-�&�����/!!�.� �) ��,��/�����!�'�*��'�/!!�!�%�'��%��&�(� &�!"'�-!(�& .�-�&!)%����$ ����*��!�$���!#��$�*����-.#��!)1�5�+ ��:��!"&�� ��� �$!�� ��*� !&���� ,��-�'� &!)� ��+ -.#��!)�$�$���'!�/!���������,.%��!� � ,�-".#�� 3 %�.,$�� 3�!�'�1��� ��9��&���)�,�!�����!��!����*����+ -.#��!)�,�!���! �,�-�9! �-3������".-3 � ��,�!�,�+ &��%��� ��(���'! !$�/!!1�=�,���830���'!�/!����( ������ $!�,�&�:�0 ��'*�"!0�"�8! ��%�,�$�� !( .&�-!#!&�0 �,-� ��� 3�$��'���� �&1���,�-3"�&��!� !���&�,�"&�-)� �.-.#:! 3�,��#��� ����!� �!��-�+ *!#��$!���&�(� &��,�&��%��� ��%��-��& �,�&��! 3�!% $����"!���.0�� �($�� 31 >-)�,��!���!)�� �-3���"-!#��*��7 �$ ��&�"'�(� + &!)���-.#��!)���� �&�(� &���� ��!�-�&�����%�'!�� ���� ! �)�$� !"!#��$�(�$�� !���&�"'�(� &!)���-.#�+ �!)���� &��'��� �-�1�?����� �!�� !"!#��$!��,��/���� !�)&-��!) �,�� �$�08!��,�!�!����(������� $��,�&��%+ ��� !1 � ���� �������������������������� ���������������� � ����������������� ���������� 2���!�1����%��� !#��$!�!"����9����,��&!#����,��+ /���� �,��!�%�')8!�����,�&��%��� !�,-��$!�,�!���+ �!� !��&�����!���������9'��!!�@�A1 6�$�$�$�,�!�!����(������� $��&���,��/�����,��!�+ %�') �&�-!"!�,�&��%��� ! �7 ��&���! ��&�0��,�/! !$. &�,��/�����,��&!#��*��'� �$ �����"�&��!)1���!���� �$ ������,�&��9'��!!���( ��� �� �-$!&�)�3���)'��� � ������!:��! �,���'�� ���.���$� ��.0�$!�� !#��$.0 7���*!01����-��#�*����"&!&�� �)� �$���"�&����(�$��+ $�'�� ���� ����%�� �-$��&��!(1�����".-3 � ��#�*����+ ��".� �)�"��� ����*�8����)�&�$���!)�! �!�,��� ��!(+ ��)�"��� ����*�8����)���9'�."�-3���!�� ����!1�2�+ -!#!��,�&��%��� !�,�!&�'! �$� ��. �# ��#�� 3�� ���& ,�&��%��� !�&��!&�� �)�!-!����,�-)� �) � �$!����+ ��"���� ��&-!&�)�,�&��%��� 31�B�-!����,�&��%��� ! ��%�') �)�� �������$�-3$!%���� �& �7 �$ !&��� 3�!% ���,�-��!)� ��"-!#��� !"+"�� ��"-!#!)� &� �����%� ! %���$ ����� ����*��&"�!��'�(� &!)1���-�'� &!��7 �*� ,��!�%�'! �,��!�.8�� &���������,�-��!�� � ���& ��$� ���*����� �1����/�������"&! !)�$��$�'�&�� �-$��+ &��!(�,�!&�') �$�&��!&��!0���-�$.-�����!��&����% *�"�&���,�&��%��� !1���!�7 ���,��!�%�'! ��#!� $� ,�&��%��� !�$�$�� �����!��&����%�� ����%��-��& � �$ !�� ��$!���(�,-��$!�!�'�.*!%�"�*�)"���!(1 ��!���-.#��!!�,�&��%��� !��� ��!�-�&�!����! � -!#���!�� �!���&� &��'�*�� �-� �,��!�%�'! �!"��+ ���!��%!�!#��$�*����� �&��,�!,�&��%��� ��*���-�)1 ;�-.#��!��!����!�%!�!#��$!��$ !&��%�*�"�&�&�"�+ &�� � '!���/!�/!0���-�$.-� ,�!� &"�!��'�(� &!!� � � ����!��!:��!�!�!%� &��'���!�� &� &��'��� �-�� & %!�!#��$!��$ !&������� �)�!!1�C ����9� �,�!&�'! 3 $� .�$����!0� %!�!#��$!%� ���$/!(� ��� ���$�-3$� ,��)'$�& �,�����&���!0��� ���!#��$!��$ !&!�.����! ,��/�����!1�>������)&-��!� �&�#�� ��� ! �,�!���)� + �)�,�!�!�������"� !��&��!!1 �� ��-1����%��� !#��$!�,��'� �&-���������&��� ,��/�����!� !"!#��$!��)&-��!) �,��!�%�')8!��,�! ��'!�/!����(���'! !$�/!!�,�&��%��� ! � $� ���� &-!)0 ���� �&�(� &���� ��!�-�&1�D�-�&���,��/���� ��9�����"�! 3����'&��*�.,,�E�,��&!#����,��/�����! ,��/����� ��-�$��/!!1�C !� '&�� *�.,,��,��/����& �.8�� &������ -!#�0 �)�,��%���$ ������&������� ,�� �$��!)1�<�,��&!#����,��/������� ���) �)�,��+ /�����,��&!#��(���'!�/!����(�,�&��9'����� ! ����+ ,�-��!)�!�,�1�5���$ ������&�������7 !%�,��/����&�F ��F���F���F����1�����/�������-�$��/!!�"��!��0 �"��#! �+ -3�����-3:!(�,����9. �$�&�����!1�C ��,��/�����,�+ &��%��� ��(�!� ��G����(� ��'!�/!����+.�$������( '! ."!! �"���9'��!)�!���� ����&�%� �" ��-�$�&�!�"�+ ����!� 1'1 ;� ���&!��)���-���,�'���������,��/�������"'��!) ��'!�/!����%�'� �$ �&�,�'�08!��!����1����������+ ��(�� � �!���#�-3��(�7���*!�(�� � �&-� �08!(�&� &��'�� �-� � ��)� �7���*!0�&���".-3 � ��'&.%�����&����,��+ /����&E�.,�.*�*��� �-$��&��!)���� ����!��!:��!��! ��.,�.*�*��&"�!��'�(� &!)���7-�$ �����!1��"�!��'�(+ � &.)��� � ������!:��!��������(�� �!���,���'�� ��.��$!�� !#��$.0�7���*!0�� � H� �I�α� � � �*'��α J��� � � K H� � L�� M M1���'�08!(�!���&���".-3 � ��&"�!��'�(� &!) ��9� �� ��"! 3�)�� �,�&��%��� !�!-!���!"�������( $!�� !#��$�(�7���*!�(�� � �!�.*-���,�'��!)�θ�&��'�! 3�) &*-.�3��� ��!�-� � &"�!��'�(� &.)�'�-��� �� '�.*!�! � ����!�,-��$!1�N �����!:��!�&�,��/�������9� ��+ ��*�� &"�!��'�(� &!)� ���8�0 �)� ��� �&�!%���� 1�� ��������������� � ��� � ���� ����� ������� ����� �� ��".-3 � ������".0 �)����,�-������� ����!� �#�#��� '� �$ �E�&�$���!!�!���9'�."�-3����� ���1� ��!���" 7���*!! �,���'����(�!��.�� ��.��!:��! �"�&!�) �� ,� ��/!�-�� ��9� ����*�� &"�!��'�(� &!)��H�M� ! ,����� ��&�� �-$��&��!)�H,�!/�-3��(�,����� ���M1 ��!����#� �%�#�� ��!�,�-3".0 �,� ��/!�-�6�����+ ����!� ( ) ( )#$$%&&$' Φ= #$% &���'���(�����"�)%$*#$�� ��������+�����,��-���+�.� �/� -�0�������������� )%�$�1��&���2�&���3��&���2#& ��3��&#�2��1�4����/��.��������� ��'��� ���������"�5���'�"&����������"�� �+�&�+�.� /� -�����.������������6�+������7 89 :���� #�� ����!���� ��������&� ��������"6��� ��� ��������� �� ������� ���� ����� �������+� �����+� ���.������ � �J�� � α�OPQ HθK M '�� ( )( )( )∫ ∞ −−−π=θ � # $ $%( )$$$*+$'* &�� � �2����+ � �)�!����$�!��-3��*����-!9��!)�� ���& ��� �� �� �F � ���! �-3��)�$!�� !#��$�)�7���*!)�'&!9��!)�� ���&1 ��!�,���'����(�7���*!!�� ���-3:����$� ���(�,���*�+ &�(�7���*!!�� �H��"�&����(�,���*�&�(�7���*!�(����+ 8��!)M�&� &��'��� �-������".� �)���'!�/!����(�'�+ �$ � ��"�&����(�,���(�����$�-)E� ��"��������� & ,��� ���� &��&�$���!)�!���9'�."�-3��(�� ��1�C ! ����/��� )!��-&R �& �(�&= �!��-�,��? &���!)!/� ��-,�� +�$�&%����!/�!'��E&� $� �'%����!/�!'���!��&�"���; &��� �%��3-�".�'9��!(!�� +���%��&�,$&� $� �')!". !')������$�.+����!/�!'�? ���G��&��$� �!! +��#! �!--��! ���%��&�,��"� (�:�'���"�!��:.�"�? ��'� ���!$ !!". !'(�� ���%��&�,�!����$�D +��!�,�&� $� �'%����!/�!'��&��$�-,��$�!��'"�= !�)� (!/$���%!$��#!�!%)!/�&! $�)����&��!/.'�!+����� "� %�&�� ���!�!��'9���S &���,� �%����!/�$�-�!'�!��'"�= �-�!�� ���*����'9���"!&�$�-�!����" ��? �$ �!#)����� �!��&!:�����,������ �!��� �-,.������ �!��-&�� ������ "� %����&��!/.'�!+����!/�!'���!��'"�= )!/�*��*��)����&��!-.�! �+����� �. $.� ������!��&��$!�"�� �!����#��,.������ �!��#�')��,.��� !�*�T )!�)� ����*����� $�-7�!�����"� ! ���%��&�, 3 ���#! ��-, 3 ��'��&6 3 ��$(� �)����!"����< ��� !�*��!�!$��#!"! �� $�-C �& �(�&� 3 ���'�&��,�� $�-C �'�%�&� ���? �& �(�&��!$��#!*�-��!�6 ;�/�����# <�������������������"�����"������������=�+���(���������������� � ���� ������������ !"#$% ���� � &'�$(�% ���� ��(�)*�+ ������������� � ��� � ���� ����� ������� ������ �#�#��%�'� �$ �& ���F�$�7 !/!�� �'! ."!! ���F �$���� 3� ��&-��!)�!-!���� ��,-��$!1 5���$ ���!�!� ���!&��� 3� !"!#��$!%�,��/����& "�&!�! �� �7���*!!�,�'�08!%�!���&1�2���!�1���,�$�"��� &"�!���&)"3�&�-!#!���7���*!!�,�'�08!%�!���&�!���+ � &� � &.08!��7 �(�7���*!!� !"!#��$!��,��/����1 2!9����"��#��!��:$�-����� &� � &.� � ���!#��$�( 7���*!!�� ���&�$�!� �--�1�6!,!#��)�7���*!)� !"!+ #��$�(�����/!!���&���� ��7�1�C���*!)�%!�����/!!����+ �&-)� ��$�-����7�1�C���*!)��$ !&�/!!�'! ."!!����+ �&-)� �7-�$ ���+&�-3 �1�C���*!)�%!�!#��$�(��&)"! ,��)'$�����7�1����� �,�'�08!���� �$�(�7���*!�( ���*. &-!) 3����%!�!#��$!�����$/!!����,�&��%��� !� &��'�*� �-�1���!�7���*!!����-3:�� ��7��,�'�08!��!������*. ��"'�&� 3� �#�#����'� �$ �1���!�7���*!!���-������7� ��#!��0 �)��!�!$��$�'��!�,���!$��&��!��!���&�& ��G����� ��!�-�1 ��������+��+������������������+����� ��� ��� ������� ���.��0����� �� � �+���� ���������.���������� ��� �����.����"��������� ��-������������/��!���� ������� ����0+�������(�������������������"�0���� ����������=�(�0������0+���+��>0+���������0�������� ��--!� !#��$!���,�������"���#� ���"�.:��!)�"���'�+ :�(����,�&��%��� ! � �$�!�"���#� �!"�����!)�,����� + ��&�'! ."!����%�,��/����&�,�'���-.#��!��1 �� ���!&����&�"'�(� &!�����,�&��%��� 3�!�,.-3+ ���%�,.#$�&�!���&�!-!�7-�$ ����&���9� �,�!&�'! 3�$ ��"$��.���*��&.�,�&��%��� !�!�'�9��,�&��%��� ���. ,-�&-��!01�?�"$!��!�,.-3����� �,-�&�����*�."$!��,�+ ������&�"�&� 3���,�)9��!) �'�� � �#����'-)�,-�� !+ #��$�(�'� ����/!!��� ��!�-�������$���$�,!#��$!% ���� �)�!)%1 ;���&����� -!#!���,��/����&�!����(������� $! � �,��/����&����$ ����(�,�&��9'����� !�)&-)� �)�!�+ ���!&��� 3�!�'-! �-3��� 3�,�� �$����%�,��/����&1 6�$ ���-!�&����$ ����'�"��&����$�-3$��'��) $�&����8�+ �!(����� ���'�� !*�� �)�&� �#��!��-� � ��,�!��!����( ������ $��7 ��9��'�"��'�� !*�� �)�&� �#��!��'��) $�& �!�. 1���!� !����(� ������ $�� ����'$�� &�"�!$�0 �� �� ��!-3����� �.$ .���+ �"�&������ �)�!)�!�!��+ ��+!�'./!��&������ �"�1�<�� $�&�������� 3 ��!-3+ ��)�����&��&����� 3�!����'����'��� 3�,��/����&�,�! !����(� !� !����+,-�"�����(� ������ $�� ,�"&�-)� ��'! !/!��&� 3�,�&��%��� �����-�!���.-.#:��!�� !%�7$�,-.� �/!����%�%���$ ��!� !$1���!�7 ���$���#+ ��(�7 �$ ��!-3���"�&!�! �� �.�-�&!(�!�,����� ��& ��-.#��!)1�>-)�,�-.#��!)�,��*��"!�.���%��&�(� & ,�&��%��� !�,. ���!����(������� $!�����%�'!�� �#�#����'� �$ � �!%����,��'�-��!��!�'�-3��(:!( � 9!*���,����'� &����� &-!)0 ���� %���$ ��!� !$! ���9'����(�,-��$!1���'�(� &! �-3��� !�%���$ �����9+ � ����*��&"�!��'�(� &!)�&� &��'��� �-��!��� ���-�� �-�9��( �#����,!�����&�:� �%���$ ��1����-.#�����+ �--�&�7���*!0�$�!� �--����9���,��'� �&! 3�$�$�@�AE ( ) ( )∑ ∑     ϕ+ρ= ≠, ,- ,-, ./+ # & '��� ,ρ 2�5��� �����"���� ��� -& ( ),/ ρ 2�(�����"������ ����"&�� $% ,-.ϕ ��� ������������'��+�.� �+��'���0��� +���=� ��"�����������&��0��+���=� ����� �+������� ���.��=��������=������ ��&�0����"6�=�� ������(���� ��� ( ),/ ρ �� ���������������5���'�����(�� ������/� ����+���!� ��� -����-����=� ���6�=������ ���+�.� � �+��'���0��+���=� ��"&�0� ��'����6�=�� �+������ �" �=����������������=��(�����?���!������� ����� !����=�� ��� ���� ���.������� �����������(���������� ��������(�� ��/��0�����"��?������� � ��"����+��� ������������0��- � �����!� ��� ���� ����� � �+�� ���� � ���� �� ���� �0��+���=� ��������� �����"� � 5���'��=� ���54������������ -��%#��$��P��@���A������� ��0���������������!����������������������������= ����-�����������"�B##�C��>��&���� �"��� ������� ���& ��0��� �����!���� �+����0�+�6���=�����-�������� ����"�7����#8���7��#�#8&�0����!����6���"��/��0������+ +�.���0��-����� �+��&� �����+��5 �'��������"� � � �+�� �� ��������� �� �����'�� �����D�0�����+�� ��(�� �������" �"� ��������� ������ �� ���������� ��� ��+� ������4� !�� ��� �&�+�.���0��-���� � �+� �������'�� �"�� ���������� ��������� �"���� ������& ��� �� � ������%��2���� �"���"���A� ��$��?��+� �" ���+���������!�����+��������� �"��"&��+�����5 � ��(�� �� �������"� � �� ����!��+� �!� ��+�������� ��!���������=� ������.���+���������� D�0���������(�� �������-��=A�+��������"� ����� ������������������� �����+� �����4����� �=A�+����!�� ���� �����0+�����"������� ����=��������=�%�$���+�.� ���0��-����� �+���% ���/��0����������� ��+�.������� �� -� ��� �+�=���((�0���������������=� �� ���.�� 6�=�"���� �+���������� �@�AE $%$% 012 0 '23222 0 4 05 2 ,,,,6,,6,, , + ∂ ∂+−α− ∂ ∂ ∂ ∂= ∂ ∂ ( )012 0 '23222 0 4 05 2 66666,,666 6 + ∂ ∂+−α−    ∂ ∂ ∂ ∂= ∂ ∂ & *'����F�$��/�� ��/!) �α ν����$��� �� ����$���!��/!! �� !�� � �F��$���� 3�*�����/!!���9'�."�-3��%�� ���&�! &�$���!(���� &� � &���� ���F�,-� ��� 3�� �$�&�'-) ?!�1� 1�6���$ ��!!� � ���&�$�!� �--! ���P�,�!� &"�!��'�(� &!! ��!������P� �� 7���*!�(� ��� 7�1 :���� ��� )�0�!������ 5((�� �&� ��/�����+��� �� �������&� � 0�����+�� �� � � 5���'��� �����6��� ������ ����������� � ��� ���� ����������� ��� ����������� ������ ������� � ������������� ��� ������� ��������������� � ��� � ���� ����� ������� ����� �� .#! �&� 3�&�:�,���#!�-������ !"!#��$!��)&-��!) &���'!�/!!����%� �%��-�*!)%������� $!�,�&��%��� ! �� ��!�-�&1 >�-����.'. �,�!&�'����$��$�� ����,�!�����,�+ &��%��� ��(���'! !$�/!!��� ��!�-�&���!�,�-3"�&�+ �!���!����%�!�!����+,-�"�����%�,.#$�&1 ��������� �������������� � ����������� ����'��������!���,�$�� !(�,�&��%��� 3��� ��!�-� ,��%�'! � �".� ,��'&��! �-3��(� ������ $! � �$ ��"�&����(�!����(��#!� $!1���,��/�����!����(��#!�+ $!�,�&��%��� 3��#!8�� �)�� ��$!���(�,-��$!�!�'�.*!% "�*�)"���!(1�<����� �*� �,����'� &���!����(�������+ '!��&$!���,���830�!����*��,�����:!&��!)���"'�+ � �)�,���%�'��(��-�(���9'.������!��(�,-��$�(�!�,�'+ -�9$�(1 �����)� �#!� $�� ,�&��%��� !� ����%�'!��� '-) ����,�#��!)�%���:�(��'*�"!!�,�$�� !(���,�&��%���+ 30������� �&����*���� ��!�-�1�C .��,���/!0���.+ 8�� &-)0 ���,���830�������'!��&$!�!����!�!��� + ��%�*�"�&�!-!�!����!����9'����*���� ��!�-�1�C �$+ !&��� 3��#!� $!��,��'�-)� �)� !,���!�,�-3".���% !���& �!%�7���*!�( �,-� ��� 30� �$�1�=$���� 3�!����( �#!� $!� �$�9��"�&!�! �� �&!'�������� �&����*���� �+ �!�-� �� �,��!��*��"�*�)"���!)�!��$!�-����� ! �&�$..�+ ��%�.�-�&!(������� $!1 >-)�!����(��#!� $!�,�!���)0 �$�$�*�"�&�� � �$�! �� �--!#��$!��!���1�>-)��#!� $!�*�"�&��!�!����! #�� ��,�!���)0 � �!�'�����!� ����!����+,-�"���+ ��*�� ��&-��!)�@UA1�6��'!/!������ �!�'�����!� ��� ,�"&�-)0 � !"&-�$� 3� !������ �$!� ��� ,�'-�9$.� � ,-� ��� 30�'��� � �����÷�U��NK�� 1���!�����!��&�224 5�6���!� �����$��8����%�7-�$ �!#��$�*����!���*+ �! ��*����,�-�(��,�"&�-!-��.&�-!#! 3�,-� ��� 3�!��+ ��*�� �$�����,�'-�9$.�'��� � J�V��÷�����NK�� ��� �$9� .-.#:! 3� ��&�������� 3� ������ $!� ,�&��%��� ! �� ��!�-�&�!����:!�! 3�'!�,�"�������#!%�'�&-��!(�& � ����.����3:!%�"��#��!(1���$�#�� &����/�!���'�0�� �� �� �!����� �����-0������ ���� ���� '�0�� %��'��& ���� ��&� ������&� '���=&� ����&� �������&� �0� $�� �� �����-0������� ����� '�0��� ��� �'����-� ������� 0��!���"���0�"���'�� ������ �!����&�������������0�� ��/�!����������=�'�0����������������0� �&����������� ���������'���+&��+�6���"����/��� -�+��-A���0��!���= %�����E$� �����+�� -�����!���������'�� ���&��0������+�'� �0��� �!����&� � � ��������+�� �" ��-��'�� ��0�"�� ����� ��������������� ���>����=� ����0�������"��� ������ ��&��������.����=�������� �"����#���++�� ���0���������� ���+��"����������� -�������� ������+��� ���6��-��≈�E����+ ������������ ��0�������&�������+������� ���+�+������0������0�"����� ���������!���������'� ������� ���"� ����������F�� �����!���� ������0�"��� �� ��� -� �����0+��"���-�� ��&��G�H*�+ �����&�H*�+ %����������������������0��!���"$����"����� �!����� �����.���=��� ���������� ���"� ������� �� �������" ' � &������ ���0��6�������0���� ��-��� -��������� ��-��=���� �+��%������$�����������&��������!����+ 5���'��������������� -� �������"���0��� �� � ������������0+����+����.����������� �=����� �����!�� �����������+�=���������� ��0�!�� ������� 6�� ��"� ��� �+�/�+/��������������+�����.���� +�'��+� �������� ����!�� ������������ ������+��+�� ��������/����� �"���������������6�����������E����� ����������������� ��������������������=�/�+/����� ���6�'��+� �������%�����VM�[W]1�I((�� ����������" ��"�������-0��+���������� ����� �"�����/�����6�+ ������� �.��������� ���'����� �!����'���� �������& ������ ���+���/����� �"�������=������� � ��6���� 4������+����!�������!������ ����������� ���"� �E�� ÷ � ��4�� ����A������� �������������'����� �!����+ 0��!����+�������� �������/������������������������ ����"����������������=��I((�� ����� -����������" ��� � � �� �����!����+� 5���'�����+����������6�� �������;��&������+��&���0��!�����������"�6�=������� /��� ��������X�����Y������ ���"� ����+�����#J� ÷#��F ?!�1U1�S�&!�!��� 3�!����*�� �$��H� M����,�'-�9$��� ���"�)'��*� �$��H� � M��!� �#�!$��*�"�&�(�,-�"���&���*����� �� J�Z��[�2�J�W�C[ ��J���F����1 :��������� �����+�� -������� ��� �������"��%� � $���"����+� ������� � �5���'���������Y\E���F�]\[� �F�Y�[���F�X�[�����F��^PK����1��&#� �& ��J�U�_Y*�+ 1 :����E�� �����+�� -���0�"���'�� ������ �!�����'�0���=����0+� %� : $�� ��������"���/�!�'��'�0��%�M1� � � 1�#���H&�� � 1����I��:�/�!�� '�0�9� � � #� 2� ��'��K� �2� �0� K� � ��2� �������� ���� ������������ !"#$% ���� � &'�$(�% ���� ��(�)*�+ ������������� � ��� � ���� ����� ������� ������� ���������"�6�+�����".�����#����4��;�������0��!�� �/������������� ��-���� ��!��+�+����&�! �����-+� ��6�� �����&������������+�0��"��+������� & �2���" X�E�& 1� & �&�������"�Y�E��& 1#&�J�7�&�G8�� ���5 �+�����-��" 5���'�"�!�� ��� ��� ���"� � & �� �54��� #&�J� �54� ��� � �� � ������ ?��+�������.�������-�������������!�� ������� ��.��&����������������5���'��=�������+������&��'��� �����+����������"�%�����������G$���>0�0���0��+���=� ��" +��������� � �!��'��'�0��������+��+� ����������� �� +�+�������.���+�'� ��/��0����� -�"� ������������ �"�+������������"��D�� �� � �����������=�(����� �/��!���"&� ���/����+�=� ��"� ���������"� ���� ���������=&�+�.� ���6�� ��������0��� ��������!���� ��0�� �����=� �!�� ��� 0�+� ��� ����A�� � ��'�0�� ����� �"��� ��������� ���!A�� � 0�6� ���� ���=� �� ����� �"�[Z]1�?������ ���������=�(�������/��!���" �/����!���� �"�0�����+"��!�� ���∼�#��+��� ��0+�������+��=���'��+�.� ������.� -������+�� ��������0��"���� -��3#&�3 &�3������.��3��%��"�+���/� ����$��I ���0��!�� &�! ��5���'�"�������+� ��������� �����"�6�+�����".�������������.���#÷#&���54�+�.� �����A� -�����!�����÷���54��;�����5���'�����.� ������� 0�� �������+�� �/��� ��+����+��-��=� 5���� '� �!����=�5((�� ����� ��������������������"�� �5� �+�&������"��!�� �������+��+� �������������.���� �"����-��+���'����+������.������/��0��+�������0��� ��"+�����"� �'�&�! �/���0/�.� -�����'����������.�� >�U����D&��!�� ���������" ��+���-���&�����������+� ��"��� �����"������.��&�! �����-���0� "'���� ��/6�� ���+"��!�� ����4�0+�.��� -���'���������"� �������� ��.�������/�+/��������������+��+� ���������-�� �'����!����� ��������!�� ����������.��� �"���"���� ���+�+������'&� ��0����6��������.����"�������� ��� ��[W �Z]1 >����"� �!�� ������������ �� �� �����-0������+ ������� ��-������� �+�������������0��/� ����'���� ??L�@);>��� �!�����'�0���=����0+���/����� ����� �+�6�� ��+���������!�� ��=�����+��+� �������D���� ���9������!�������"�����"�+������'�����0����+�� �+�������.����=���������� �&�+��-A�=���'�����!�� 6��+�=���������� �&������6������/6�'�����+���& ���6�'������!�� ���[` ���]1 <��/������������/��0��������-0��� -� ��������� �+����"��/��/� ������.�����(��-������ ���=��?� �����J������ �������'��(�����/����+������/��0��� ���� �������������.��=������ �����=���������� � ��/�����+� ��+�#���++&������=�#J��++��� ��6���= � �������++������ ��A����+� K��J�� Z1 ���!�������������������0+����=��!�� �����0�� �- � �������.�������������+���"���0�� �"���/� ��� +���(�������������������� ������������� ������� �����'�0���=���+� ����!����=����0+��������������"� ��0��5���'� �!����'�������'���0� �������"���������� 5���'� �!����=��+���� ����� �����,� ��� ��� ����������� 4����+�A�������+� ����������'���0� �������"����� �����/��/� ������������ �����6�� ��"� ��� ���6�+ ��0�"��&�0�.�'��+�+����++������������0� ����������� �+��"�� ��A������ ���+��"� � �� ���+�A������ �& 0�+��""� ����������=������/�'�0���'���0� �������" [ ]̀1 ?��"�����5 �+�+� ���+&�����/��-A���������� ��� ����������!�� �+� ������������0+����=��/��/� �� ��������� ������������� ������ ������0� ��=����0+�& '��������+�=�����+�� �" ��-��+���'���+���0�"��+ [���2���]1 ��"� ��0/�.����"�����+�� �" ��-��'�� ��'���'� ��0�"������0� �������-0�� ���/����+�� �" ��-��=���� '���=���0�"�����������+��� ���+�[��]&���/�����+��"� � �"��� �!������ ��+��� ���+� [���2���]��� �������=������ �� �"��"� �"�������! � ��-��+&�������-�����0���"� ��A�������������������-����� -�5���'�������� ��� - �� ��������������/��/� ����+����� ��-&�! ���/����� !���� �����������-��=�����������/��/� ����0����= �0���0��!������� ��+�� ��-����+� ������������0��� �/��0��=�'��+� ���=� ��������+��0� ������������� �!��������0+��� ��+��� ���+������=��/��/� ���������'�����/��0�� �0�� ���=��D ��&��JH&�E�@#�&�:�,�&�:#J&��@?,���!�'��� DM� ��[� �2���]��</��0����+����(��+������������+� � ��+� ��++��� ��6���=���++�� ������0� ��������+ �/��0���������������������������=��!�� ���������� �+�&����6�� ��"�+����� �+�/�+/���������������� ������� ����0��5���'� �!����+������+����'����%+ � ≤ ���54$��;�+���� �����/��0����������������0� ������ ��"��0+��"����������0��������÷ �����D��N��������0��� [� �F�W]&�! ��+���� ������ -���������� ���/��0������" �����+� �������&�����0� ���������������0+����'��� ��+�5+��������+��� ���+&�����A�� �"��� �÷����0 % �/��� $� :���G�� �����+�� -� ������ �� ������������ � � �����"�6�'����� ����������������.����0�� ����D ��&�7��1��#�F��� �&��� �J� ��a�� � _Y*�+ E���F�X� �� �F��b\ ����F�^P ���F�Y� ��U�F�^P&�% �!-�����+���$� ?!�1� Z1�D��-3��������� ��!�-�� �$!�-����%� ����"/�&� !"�= 1� � H� M ��,�!��!������ ��&-��!!�&����*���&�(�,-�"��[����J��� ����[ � '� �J���Y[���� '� �J�F� ����[����F����.9��)�,�&��%��� 3[�� �F�&�.+ ����))� ,�&��%��� 31 ����������� � ��� ���� ����������� ��� ����������� ������ ������� � ������������� ��� ������� ��������������� � ��� � ���� ����� ������� ����� �U :�������������+���� ������ �����'��/����������� ��� ��'�����"�� ���=��@?,����@?4������������'� �0� �������"&������������'������ �!������������!����& ����� ���������������̀ 1 ����������'���0� �������"����� �!������������ ������ ���0����!����"��������'���/O�+��+� ������� ;��6��������!�����'�����"�������A����=� ������ � -����� �'�� �J��+�+�� ��������+��0� ���������!�'�� ��&��� ���.��������"��! ����� �����@?,&�'��/�����0� �� �������'�����"���� �'���� ���+�+�[� ]��:�0����!����� �������'��+� ���������5 �+����!��������/�������-� ��"���������'����������� ���=�:#J���:�,�&��0� �� ����������� ���.��������"�&� ��6��������!�����'� ���"���0��� �� �����2�E���0�� ����!������+� �����&��� �+�!�������� ���=&���� �����+��/��!������/�������������������� -���"�� (�� ����9���(�� ��/��0������+&������� �+��������� ��+��������"+�������������� �������/O�+��+� ����& ����������+&�� �+����������+��(�0���+��������� 6���"+���� ����[�V]�� ���������������+�!������� ����� ����������������� -&���/�����+�+����������+��0� �� �������&��������+�(�� ���+&�������"6�+�������!��� ����+� �������&�"��"� �"��/��0��������������� ���� ����(�0&��/�����6���������+��+�����!����+�����=�� ��+�&��� ��.�� ��+�.��������������=������'��/��0�� �6���"�����!���=� 4� �/����������� ��������������[���2��W]���������� �����������"��"��0� �������"&�����������'����0��!� ��+��+� ���+�������� ��������=� ����/��/� ����= ��������� ���������������� ����������� ���5 �+����� 6�� ��"������������0� ������������0� ��%>HH$&� ����� ��������'�0������0� ���������%PH$�����������0� ���� ���������0� �����������=��+����%>HH4D$��4������� ���������6�� ��"������� �+���� ��������2�����D����� ������ ��0�5 �=� �/����&����������+��0� ���������� !�� �+� �0� �&� ��� ���+���� � ���� �@?,&� ��0+�.�� 0��!� ��-���/��-A��&�!�+�����'�0���+��0� ��������& �����!����� ������ �� H����0� �����.���"� ��������� �� ��������� ��� ���"���/��0��������0���� &�! ���0� ��������������0+� ��'���� ��+�5+��������+��� ���+����� �!����������� �����.��� �"���������.������+�� ���=&���/������ +�+����� ������������+� �����'�0���'���������'� �0� �������"����0� ��������������+��"���N������ �� �������&�! ������'�0���+��0� ���������� �����@?,�� �++����������.����������������0��������J&����0&�� ���������+��0� ����������� ���6�+���0�"������0� �� ������������+��"����0������������0�� ����������'� �0� �������"�����+�6-����'���� ��+�5+��������+ �� ���+������.����������������0������+�����!�+�� #&����0�&�����������������'���������+�0��!����+� ?�0��!� ��-������������.�������+� ������������ ������+�+�+� �����0� �������"�������� ��������!���� ������������� ��� ���=&���!�+������ ��-� ��� �� �� � � ��������������� ��!� ������+�0��=�����+������� �0+�������+���� ������ ���/��0���� <�������=���A�������� ����������0+����'���0�� �������"���!�� �+��0� ���������-0������+� ��+�� 5+��������'���� �!��������0+��/��� ����/������ �����/��/� ������ ������� �=�A �+������"�����/��� �� �+� ��� %D ��@?,$&� �����(��+� ��"� ����/�� ��0�������������%D ��:�,�$&�A �+������"�������� ��/ �0����.����6���� ���=���"�� �+��=����+�A������ � %D ��@?,$� [U]��4�� ����� ���!�"�� /���� ��� �'�� � ����A������0����� �=��� �������������./����� ��� +�� �������− ����0� ������������� ������ ��� ������� ��"������'���0� �������"� ���.��5((�� ��������� +��"� ���0��5���'� �!��������������� �!�����7�Z8� >����-0���������������0���=������=��+���� ���� ��0���"� �����!� -��0� ��������������� ��6���=���� 6�� ������ �����A��6�=� ����� ������ ���/�'� �������?�������#��������������������5������+�� ���� ��+�-� ����'��+�����������"������� �������0� ��� ������������ ��=��/��� ��@� ��`A�������������0���� �����&������"� ������'�"���0���"� ���0���� -� ��� �� �0� ����������������<��/������� ���-������+������ �����=��/��/� ���������0�������������� �+���� ���� ����0/�.�����(�0�������������������'��'�������+� � ����� 6��-!/�� �-!)�!����N�����!$�� &��'�� 3������� ����( ,�&��%��� ! �$��T !-� � M��.*.#H 3-� = �� 3-� = NZD 3-� = ��5�� 3-� = T25U 3-� = UTW? 3-� = Z�? c= � 2 %�!d ��e V U U V V Z ` �� � 2 "�d ��e V÷ �� Z÷ �� `÷ �� Z÷ � �� ÷ ��1 �� ÷ �� W � :���� ��� :������������� +���� ������ �� ��� '��/���� �0� �� �������'�� ���"� ���"� � ���=��@?,�%#$����@?4� % $9�8� 1����� �D� ?!�1� ��1�<��/�� ��/!)� �"� �� &� �.� ��! ��(� � �-! � ��-.#����( !����!��"� ��'��'�"��� U1���`�!��K�� 1�<�!&�)���F�,�!� ��,���+ .���^�J� U��f�!�,-� ��� !� �$�� gJ� U��NK�� � $�!&�)� � F� ,�! ^�J�WV��f�!� ���J�� U��NK�� �$�!&�)���F�,�!�^�J�WV�f�!����J�� � �NK�� 1�T��$���� +� 7$�,��!��� �-3���� '�����1 ���� ������������ !"#$% ���� � &'�$(�% ���� ��(�)*�+ ������������� � ��� � ���� ����� ������� ������W ?������ �������+��"� �"���������0���"��+����� ���"���� ��-����0� �&���������'����������4�0+�.��� - ��6�� �����'�����!A���"�(�0������+�!���������=� � ��������� ���������������� �������������� �������� ���&���� ��+�� ��-���������"6���"�+� ��������/�0 �0+�����"�����/O�+�������=� ����'��+� ��!��������0� +����������� ������ ���=���������� ����� ��-�������� +�������������� ���=�����.������������������G��� '������4���� �"6������+"���"�+���(���������"���� ������� ������A������+��"� ��+���� ���������� �"���+� ������[�V]����� ������'�0���[ �+ �]��<��/�= �� �����+��'������������ ���=���0���� ��+���� ���" ���� ����'�0���[�V]1 ?�������##��������������� �!������������������� 0����������� ���=��/��0����b\&��/��!����������+� Y\L�������0��!������0����>0��������������� &�! ��5(� (�� �0�+������"������0����/����.���� �"�������+���� ������+�+��� ���������0��/��!���"��?��/��-A�=�5(� (�� ���/����� �"���"���0���/��!���"�E⋅���W����*�+ %�����0�����"�� �=��� -��� ���0����A�&�!�+���"����/��� !�������/��0���$�[��]1 ��!� ��-���/��-A�=&�!�+������������&��� ����� ��0�����=�5((�� �� ��/��!���"�����+����'������� /����� �"������/��/� �������������/��0������.����� 5���'�"��0��!� ��-���+��-A�������'�����[ �]�� �� 5���'��������������54���/����� �"�0�+������������ ��0��&����/��������5 �������� ���=����#����!�����%�+� ������ M�[��]��D������!����+�.��5���'�����������'��� ���#���2� ���54�� ����-�0�+������"������0������ ���"� � ����F����E���F&������������������� ���-��+���/� ��0��+�� 3-� = ����,= 1&��! �"� �/"����3 ���%��&�� (�-�(�� ���%��&�,!�� 1 �h�!��9��'�= ��e� �d? (�&�"�� &� ��i �1�)� ���? �$� 1&��, 1 �h �"N ��e� �dj (�&�"�� &� ��� �"� '���'�& T25U 1 �"��� � � � � � ÷ V kl α + + + NN� + � V ÷ U ` γ �klLm 1��,1-�&. �� `� V Zn� Z ε L γ Ne � � � � � ÷ Z � kl αL γ m + + + + NN� Z + V V ÷ �� Lkl ε �� � � � Un� � kl α L ε NN� U ` VU � � W ÷ � Z �� ZD 1 �"��� U`� � + � ÷ U + + + + + NN� U V� + V Z ÷ � �� + �� + � Zn V γ L ε klL � ] M�'�-�H NN� � U + V � ÷ V U kl � L] ε L kl γ L γ m �� + W n� kl α L ε L γ m Ne W ` 1�"!�� � � ÷ � � kl αL γ Lm ε + + + + =�NN� � 1�"!�� W � ÷ � U + + + + + ��5�� NN� V + �� ÷ �� kl α L ε `nZ V V + ε L γ klLm γ Z�? Ne � ` + � ÷ ` � kl α L ε + + + + =�NN� � V U � � ÷ ` � + + + + + ;�/������ D����� ��-��������� ���� �����0� ��������������� ?!�1� 1� S�&!�!��� 3� .&�-!#��!)� ������ .����&�%� ����"/�& ��-.#����%�!����!�Y\L �� �'-! �-3��� !�.�$������%�$����"!+ ����%�!�,� ��!(� &�� &-�9��(� � ��� ���1�D�-�&!)�!�,� ��!(E 6�J�LW��=[�&-�9��� 3�`Zh[�o P �J������V�!��K�� 1��+�2���-.#����� ����"/�+�&!'� �-![� �+�B P �J�U�$7�[���+�B P� J���$�[���+�B P �J�U�$7�[ U� +�B P �J� U�$7�� :���##��4��"���������=��+���� �������������0���b\��#��?��/� ��!��������/��0���2������ ���K� ��� � � J����U��+ [��1�� � �J�U⋅���U�+ �1��� � J����W��+ [��U1��� J��⋅���W��+ � ����������� � ��� ���� ����������� ��� ����������� ������ ������� � ������������� ��� ������� ��������������� � ��� � ���� ����� ������� ����� �V ������ �"6�'�����+����(�0�!����=�+�����0+���0� ��=� ��"��/��!���"����� ��+��'�0�+�����0�+������� �����0�������� ���������4�0+�.��+��/O"������+�"�� �"� �"�0�+�������������0����0�0���/��0�����"��/��-��� �0�� �+������� ��'��'�0�&����.��6�'�������� -����� /������+�!������� ������'�0������������ -��+� ���� [ �]���+��-A����������� �������0���+�.� �/� -� ��.� ��"0��������0����������+����/��!����=���������� � '�0�������0���=��;�������0����+�'� ��'�� -����-���(� (�0�����'��/��-������"��������=��/��!��+�'��+�� ����������������� ����0�����+� ���������&�! �������� �� ��+�.����������������������"�[ ]1 H����'�!������0��- � ������A���"������0���� ��=�� �=��� ����/������� ��.��������������0���= �����=��+���� ������"���+� ����������+��b\ �X� �p �̂ P �Y��[ U]��?��/�����"����5 � �5((�� &������������!�� �+���� ��������� ����'�0��&���/����� �"������/��� /� ���������%�������M�[` � W]1 >� ����������0��- � ������!���������/��!���� ��������� ��+� ��������+���-���+�����0+����+� �� ���+��7 V8��</��0���� ���=�E�@&�# @?�)H�Q@#�& @4P��/��!����-��+���-���+���� ���+���0� ��=&��0� � ������������=&�����������'������=����0� ���'������= ���0+�=��<������"���-�0�����+�� -�����!����+���� � ������ ��� �!�������0�"����������0��5����0�����"� �'!���+���-���.#��W��+ ��,����+��-���� �����!���� +���� ������ ��%���+�����������0�&��������������� +���� ������ -�����/��!�������/��0���$���"�� ��� E�@���/����� �"������/6�=����0��5����0��������#��V�+ & ����"�� ����# @? H������#��Z�+ �� ���A�����+����� ������ �����/��!�������/��0����� ���=�@4P&�Q@#��� � ����E����� �'���� �2�E���0�� :���� #��� �����+�� -� ��������� �/��0���� � � ��� ��-��� �� ���� ��0����������� ���=9�#2��������=�.���[� �� ���2�.���&� �/��� !����=�����+�� ���+���"����� �4 P� J� �����V���*�+ �� �� 1� 2 &��4 % $&� 2�� �4� %�$&� � 2G&�� �4� %E$� ?�/�����+��������!�����+���� ������ ���/��0� ����� ���=�"��"� �"������ ���+�� ��� �����(�0���'� �0+�����"�����A-�!�� �!�������������0� �������" ��������� ��� �� ���.�����+�5 �+�����.� ��������� ��=� ���� 0�����+�� ��+���� ������ �� ��� '��/��� �/��0���&��/��!��������� ���+�����0��!��'����� ��� ���0+��%�+���������$� >0��������������&�! ��'��/�����0+�����"�+����� ������ ���/��0������6�� ������%���� �����0$������� A�� ������ ���������/�'���������I((�� �'��/����'� ����!����"����"��"� �"�������0��!�����������/��� !���"��4����!������0+����'���+���-���'����������0�� ��'���/��!���"�������������-��'��� ��+���-���� ��'�������������� ��'�����"���� �+���� �����+��'� �����A��6��� �+���� ������������"� <��/�=��� ���������� ���"� ���������0���"��+� ���� ���"�+� �����&��� �����+�'� �������" -�0�6� � ����(������9����+���=&� � ��&����+�������?�������#U ���������������� ����������0�����+�� �����+���" ���'��/�������/��0����+����@ ZA��4����&�! ����������� &��!���-0�!�!)�������$�-3$��,��)'$�&�,��&�:�� ,���$ !&��(�,����*�!���&�&���'!1�2�� ���9���!�.�$� ,�!&�'����'���������#� �&�'! ."!!�!�,-�� !��+ &����(�,�!���!���7���*!�(��$ !&�/!!�� �U�7�1�;#�+ &!'�� �# �����!�����'�-�����.8�� &������.�$����!�� '! ."!����%�,��/����&�,�'�'�(� &!�����-.#��!)1 ��)����!��7 !%���%��!"��&���9� �,�!&�� !�$���"+ '��!0���&�%�7 �$ !&��%� �%��-�*!(���'! !$�/!! ,�&��%��� !1 � ������� ������ �������� ����� !"!#��$!����%��!"���&�"+ '�(� &!)�!����*��!�!����,-�"�����*����-.#��!)��� ��'! !$�/!0�,�&��%��� ��%��-��&��� ��!�-�&1�2� ,�!�������!*!��-3��%�!��-�'�&��!( �,��&�'!��%�& 224�5�6��!�2�64 �,�$�"������-3�!����(�������+ '!��&$!�&� �$!%�,��/����% �$�$�!����)��#!� $� �!����� �"� !��&��!� � &���$�'�"�&�)�!����)�!�,-�� �/!)1 ���'� �&-����'������,��7 �$ .�*-.�!���*��.,��#+ ���!)�!������-3���*-.��$�*��!����*��,���!$��&��!)1 ��!&�'������".-3 � ��,�&��%��� ��*��.,��#���!)�! .&�-!#��!)�$����"!����(�� �($�� !�,�!�!����(�!�+ ,-�� �/!!1���$�"��� �# ����,���830�!����*����-.#�+ �!)���9����.8�� &�����,�&��! 3�!"����� �($�� 3�! ���$��-.9���!"'�-!(1 :��1� �U1������� �������������(���� ���+���"&� �+���� ���� �����'�� �� +��-&� �� 0�����+�� �� � � �+���� ���� �/��!���"� I���'�"� ������ 2 &G� �54&� ��� ��� -� �����'�� ���� 2 ��+YK�+ 1 4��+"� �/��!���"� �U�+��1�,������+����������� 5������+��� ��-���� �!�� � ����"+�� F� ��0��- � �� ��+�-� ����'��+���� ��������"1 :���� #E�� :������������� +���� ������ �� ��� '��/���� � ��������� �� �/��!������ �/��0���� � ���=� �� ������� �� ���+� ����������'������=� %� � $&� �0� ��=� % $� �� ���������0� ��=� %� $ ���0+�� ���� ������������ !"#$% ���� � &'�$(�% ���� ��(�)*�+ ������������� � ��� � ���� ����� ������� ������Z ,�.����.��� -&�! ����+� ��A�"�"������������ ���+"� �������"����+�����"�+� �������+�-� ����'� +�����������"���"����'��0�������"����=� ������!��� +�������� �=&�����!� ���������-��=A�����0�� ������� ��0��/� ���+� ���������!���"���������� ����������� 0����'��++��������+�����=� ��+���4� ��.�����+" ��������� ��� �.���"� ������� ������'�=� /��� �������" -�"� ������+�(����+�� ��-������������ ����=����/��� �����"��"������=�/�+/������������ (�0�!������ ���=� ��� ��������� ���� ����������-� ��=A����'��/������ ����������������=�+�'� ������� � �� ��0������������ 5((�� ������ ������'�=�+���� (���������������� �� ���������� �1 �QOPQqk\�r1�s�t�kQk\qu�P�Q�vOOPOw�xy\PQq�xkz�OPwP�Q�F�vQ k{{kiwP�k�w����{�\�i�Qw\���PQq�w|PQ�{P�_�_Pi\�Ow\yiwy\k1KK�yi�1 }QOw\1�YQx�Xkw|1�}Q��|uO1~ki1�F��``V1�F���� VK� Z1F�?1 V`W+Z�Z1 1 �i�OwkPQ�r1�]�_zywk\� �P_y�vwP�Q� �{� }�Q+���Px� }Qwk\v+ iwP�QO1F��z\PQqk\+dk\�vq ��``�1F� `W��1 �1 XPO|PQ� �1 � lv\�vO� o1 �Xk|��X1g1� �vzvi�QOwvQw�z�+ ��yO�o1Y1�}Qwk\vw�_Pi�z�wkQwPv�O�{�\�_�Q�vw�_Pi�_kwv�O {\�_�k�zk\P_kQwv��xvwv�vQx�vp�PQPwP��iv�iy�vwP�QOKK�|uO1 ~k�1F �� 1F��d��1�U` ����U1�F��1���`�+���V1 �1 �T��#��$���1e1 �e.*-)�N1e1 ��2�$-0'�&��1T1�<��,30+ ��������'�-!��&��!������"�&��!)��"� !��&����%��-�+ �&�&�9�-�"��,�!�&���$�'�"��(�!����(�!�,-�� �/!!�KK ��� �!$�5��3$�&�$�*����/!���-3��*��.�!&���! � ��1 =��1��R'�� #�� !/� �,�-)� ���U�Z1� �F� �� 1F���,1�� H�VM1�F�=1��Z+U U1 ��-�.���1N11������+,-�"�����)������� $���� ��!�-�& &� &���$�,-� ��%� ,� �$�%� *�"�&�(� ,-�"��KK2�&� �� ����-!��� �%��-�*���&��� �-.�*��� ����:!���.'.&����1 F ���1�F����1F�=1Z�+ZU1 W1 N$����&��1�1 �N�'���&�N1N1�!�'�1���$�� !) �,�-.#��+ ���� $��'����/!�(�,-�"�����%�,� �$�&� &� &�$..��KK D��1F��`V`F�61� � ����1F�=1�U�UFU U1 V1 N$����&��1�1 ��5���:!%��1T1��� �$!�#�� !/�!������,�+ ������&�&�$..���(�'.*�1�F�T1E�42�� ��!� ��� ��`Z�1F VZ��1 Z1 � ��-�.���1N1 � �<�� ��"�&�e121 �T!����&��1�1 ����+ ��&�=1N1 ���&-�&��1=1����!� �� 3�$��'���� ��%���� ,�+-.#����*��!"� ,-�"���&�$..���(�'.*!� KK��N261F �``Z1F���,1��HW`M1F�=1����F��U1 `1 ��-�.���1N1�����������,�-��!���� ��!�-�&�&�&���+ $�,-� ��%�,-�"�����%�,� �$�%KK?�'!�7-�$ ���!$��! !� ���� !$���� ���1F����1F�=1� VF��1 ��1 2���&�e1�1 �<�-!�!����1B1 �1��-�.���1N1��-!)�!��!��+ ��*����-.#��!)������'! !$�/!0�,�&��%��� !��,-�&� �������&��/!�$��!)�KKT6;T1�� ���1F�����H� M1F�=1�WF ��1 ��1 N�'���&�N1N1 �=��-�&��1�1KK6�.'��.$��!��$�*��&�$.+ .���*����8�� &�1F��``W1F�61 1F�=1� �W1 � 1 ���-�.���1N1 �2���&��e1�1����-�'�&��!��� �.$ .���! �&�(� &�,�&��%��� ��%��-��&�� �-�(�U52T �?WTU�! #.*.���=c+ � ��"� !��&����%�&�,-�"���'.*!��� ����+ $� �'��KK6�.'�� }��T�9��/!���-3��*�� ��&�8��!) �?�'!�/!����)� !"!$�� &��'�*�� �-��1F61 �=�&��+ �,�-3E�2����T6�,�!�Te�CT�HD$��!��M1F�```1F�= VV`FVZ�1 ��1 �k��yO�d1Y1 ���O����1}1�}�Q�QPw\PxPQq��q�Owkk�O�PQ�v�OuOwk_ tPw|�v�w|k\_�P�QPi�qvO�z�vO_v�O�y\ikKK�\�ikxPQqO��{�w|k�W+ w|� }Qw1��u_z1��Q�^\kQxO�OQx��kt�Yzz�PivwP�QO��{�^|PQ {P�_O�H^Ŷ l�`ZM1F�~kqkQOpy\q�H�k\_vQuM1F��``Z1F?1��VF ���1 ��1 �k��yO�d1Y1 ���O����1}1� �\�i1� �{� w|k� Ww|� }Qw1� �P_z1� �Q ^\kQxO�vQx��kt�Yzz�PivwP�QO��Q�̂ |PQ�lP�_O�H^Ŷ l�`ZM1F ~kqkQOpy\q�H�k\_vQ.M1F�``Z1�F�?����F��W1 �U1 ��-�.���1N1 �2���&�e1�1 �<�� �!/��61�1 �=��!���1>1 =-� !���1�1 �=��9$����1N1���������"� !��&��!��� �-�( KK�����'�&�(��,� �F�``�1F���� 1F=1 WF Z1 �W1 ��-�.���1N1 �2���&�e1�1 �N� . 3�&��1�1 �>!$!(�21�1 <�� �!/��61� ���' �$����1�1 �=��!���1>1 �=-� !���1�1 =��9$���1N1�N"� !��&��!��� �-�(�&�� ��� ����!��!+ "!��&����*���"� �1KK�����'�&�(��,� �F�``�1�F��� 1F =1� F W1 �V1 N� 0%��1e1 ���-�.���1N1 �?�$�&���1�1�;�&-!)�!!�!��+ ��(�!�,-�� �/!!�!��� ��%� *�"�&���� $����"!���.0 � �($�� 3� �� �--�&1�;�"��KT1E�42���N ��!"'� �``�1F��`��1 �Z1 ~P�Pk\k�g1�1 �Xk|kyOw��1 ��dP��vPQ�g1�1�rkv\�\kOPOwvQik�v{wk\ ��t�kQk\qu�|Pq|+{�y��QPw\�qkQ�P_z�vQwvwP�Q��{�Y}�}����s OwvPQ�kOO�Owkk�KK��y\{1�]�vw1�̂ ki|Q1F� �� 1F�d��1��UZF�U`1F F��1�W�VFWU 1 �`1 ~P�Pk\k�g1�1 �Xk|kyOw��1 �dP��vPQ�g1�1�kwO1�jPq|�iy\\kQw�xkQ+ OPwu�QPw\�qkQ�P_z�vQwvwP�Q��{�vQ�vyOwkQPwPi�OwvPQ�kOO�Owkk��K K�y\{1�]�vw1� k̂i|Q1�F �� 1F�d��1��UZF�U`1F��1�``F��� �1 ��&��� 3�&��1�1 ���*����)$�N1>1���!$-�'������,�$+ �� &���$�'�"�&�(� !����(�!�,-�� �/!!��� �--�&KK �5;T�����``V1F���W1F�]1�UF�U1 �1 dvw�\P�~1�^\vQO�Y}X��KKg1�syp\Pi� k̂i|Q��1�F�`Z�1�F�d��1 �1F��1U��FUU�1 1 ��!$���61 � ��!��!��1������)�!�,-�� �/!)KK���!�� ��.$!1�F��`ZU1F���U1F�=1�U�FUZ1 �1 ;�+�A���?���&�;�A������>�D�&�R��-�����<�H�������& �����0�������������������������� ���������������� ST�UV&�����!����'���� �+�����5���'� �!����=��+����� �����������UV3��� � ��**� �A� ��+� ������2#�JG�2;� �& W���2�D��G�#2G�� �1 ~vwi�P{{k��1g1�vQx�]���PQO�~1Y1�^|k\_v����PxvwP�Q��{�P�Q P_z�vQwkx�i�zzk\KK�|uO1��wvw�����1�HvM1F��`ZZ1F�d��1��Z ��� 1F��1�U�VFU��1 U1 okv\Qv�ku��1��1f��vwkQw�vzz�PivwP�Q���1�� 1�UZ1��W�Y1 }Q{1�i��1�i� �l��UK��1��`Z�1 W1 ���-�.���1N1 �2���&�e1�1 �e�!/�����161 ����:!���1>1 ��!�����!����� �'���?�C=��'-)����-!"��,�&��%��� ! αF����-.#����*��!����!�Y�KK�N261F� ���1F����HVZM1F =1��WZ�F��W`1 V1 ��,:!���1�1 �2�$-0'�&��1T1 �6���:!���1�1���,�+ -3"�&��!��!�,.-3���%�,� �$�&�,-�"���&�,��/����% ��'! !$�/!!�,�&��%��� !��� ��!�-�&KK��N261�F� �� 1 F��,1��HZ M1�F�]1����F��U1 Z1 �v{�Q���d1}1 �Xv\i|kQ���}1�1�^P�vQx�Y���vuk\O�{�\_vwP�Q xy\PQq���t�kQk\qu�P�Q+z�vO_v�w\kvw_kQw��{�i�zzk\KK��y\{vik vQx�]�vwPQqO�̂ ki|Q���qu1F �� 1F�d��1��UZF�U`1F���1���UF ��V1� ����������� � ��� ���� ����������� ��� ����������� ������ ������� � ������������� ��� ������� ���-��-.�- � ��� ��-/ �����-���-/ ��� ���-� -� -��� ���0 ��� �� ������������ -�� �����-� ���� �1����% ��-� !"#$% -��� � &'�$(�% -��� ��(�)*�+ ����/� X���0'�"�� ��(X0�!�X�+����X0+���������X����'�� � X����+���0+���'������+X����"����+���(X���X������������� A��X��+� ��X��X���?���������X����'X���-��������X�.��-& �������������??L�@);Y� ��?);L&������0�������-�X����'� /�+/��������"��� �������������&�"��X������!�6���"&�X���� �0� �����"&���������0����X�����X+���� ��X"�� ���� ������ ���X�0��(�� ��'��/����'��0+X�����"�=����+��-���'��/���'� X����'������������"���?����������0��- � ������������'� 0+X�����"� X� �X���6���"� ����0X=��Z� � X=��� X� ���� X���X= X+���� ��XZ�� ���0���&�6�� 0�� ����+�'��� X����'�� ����� +X����"�+�.���X� � ����X���6��� ��0����� X=�X� -�X� ��+X� ���./������/X�1 � !�"#$%�&#'(! ) *�#+� ,�+-.,$'# % /�,�'$&� !������ !�')#$!�!*�$!/ (�*(�/ +#��%0)$!&$&� ! 1�$��"23456��1����)78692:����*��%7;<9=:>4����%��!=>35?4@ �vzk\�z\kOkQwO�w|k�\k�Pkt��{�z|uOPiv��_ki|vQPO_��{�P�Q�pkv_ PQ{�ykQik��Q�Oy\{vik�_�xP{PivwP�Q1�̂ |k�\��k��{�P�Q�p�_pv\x_kQw �Q�P�Q�i�kvQPQq �P�Q�QPw\PxPQq �|Pq|�x�Ok�P�Q�P_z�vQwvwP�Q�tvO O|�tQ1�^|k�k�v_z�kO��{��\PqPQv��PQ�kOwPqvwP�QO�PQ�w|PO�{Pk�x��{ �vwP�Qv�� �iPkQik�]kQwk\� �f|v\���� }QOwPwywk� �{� �|uOPiO� vQx k̂i|Q���qu��vQx��iPkQwP{Pi�]kQwk\��{��|uOPiv�� k̂i|Q���qPkO Hf|v\���M�v\k�qP�kQ1�̂ |k�k{{kiw��{�|Pq|�xkzw|�P�Q�zkQkw\vwP�Q�PO xPOiyOOkx1��y\{vik�|v\xQkOO�vQx�i�\\�OP�Q�\kOPOwvQik�v\k�O|�tQ w��P_z\��k�xy\PQq�P�Q�P_z�vQwvwP�Q1��y{{PiPkQw�P_z\��k_kQw��{ Oy\{vik�tkv\�\kOPOwvQik�vQx��P{kwP_k��{�z\�xyiwO�v{wk\�P�Q�pkv_ w\kvw_kQw�v\k�xk_�QOw\vwkx1