Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862550906139049984 |
|---|---|
| author | Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
| author_facet | Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
| citation_txt | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| first_indexed | 2025-11-25T20:49:07Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101838 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T20:49:07Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. 2016-06-08T10:47:59Z 2016-06-08T10:47:59Z 2003 Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация Article published earlier |
| spellingShingle | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
| title | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_full | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_fullStr | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_full_unstemmed | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_short | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_sort | радиационные технологии модификации поверхности. i. ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838 |
| work_keys_str_mv | AT belousva radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT lapšinvi radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT marčenkoig radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT neklûdovim radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ |