Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физическая инженерия поверхности
Datum:2003
Hauptverfasser: Белоус, В.А., Лапшин, В.И, Марченко, И.Г., Неклюдов, И.М.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101838
record_format dspace
spelling Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
2016-06-08T10:47:59Z
2016-06-08T10:47:59Z
2003
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
spellingShingle Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
title_short Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_full Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_fullStr Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_full_unstemmed Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_sort радиационные технологии модификации поверхности. i. ионная очистка и высокодозовая имплантация
author Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
author_facet Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
publishDate 2003
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838
fulltext
citation_txt Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT belousva radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT lapšinvi radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT marčenkoig radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT neklûdovim radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
first_indexed 2025-11-25T20:49:07Z
last_indexed 2025-11-25T20:49:07Z
_version_ 1850535582546001920