Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация

• Date: 2003
• Main Authors: Белоус, В.А., Лапшин, В.И, Марченко, И.Г., Неклюдов, И.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
• Series: Физическая инженерия поверхности
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.