Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101839 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859518721925578752 |
|---|---|
| author | Пашнев, В.К Стрельницкий, В.Е. Опалев, О.А. Грицына, В.И. Выровец, И.И. Бизюков, Ю.А. Брык, В.В. Колупаева, З.И. |
| author_facet | Пашнев, В.К Стрельницкий, В.Е. Опалев, О.А. Грицына, В.И. Выровец, И.И. Бизюков, Ю.А. Брык, В.В. Колупаева, З.И. |
| citation_txt | Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| first_indexed | 2025-11-25T20:49:12Z |
| format | Article |
| fulltext |
������������� �
��� �
���� ����� �������� ����� ��
��������� �
����
�������
�
��������� �
����
� ����
��� � ����
��������� �
������
�������� �����
������������ �������
� ��
��
���� ���� !� ���� �"# $%�&'(&)� ���� �*�$ !� ���� �#&'+���
���� �+#,! '� ���� �&-.(,!� ����/�#+(� ���� �,$0*� !�1
����������
����
�
������������������
�������������
����
����������
�����������
������
����
������������������������
����������
����
����������
���������
���
� !"#�$�%&'#()!*�������
���
���
������
���������
����
�����
��������
�
������
��������
�
��!"�����!����#$%&� ����� �"� �����������
'�����
����
������(
�!�+,-./�������'������)*����
����+���
���������
��!��
�����! ����� ��%��
�
��+������
����
�������������,�
�-� �!���,)�,���-�,)� �*����-� �� ������ ��
�
��� #��!.���//���0� �&����
*����� ��������
�
�
�
���
������ ���������������
����
������������!�����
����-.��������"��������
��
���"�
��
����
����� ���
��������
�-�!"����
��������������,*����������������
�$%��
������"������������1///0�
����!�������������-)
����
�
�
�
����������,� � ��
���������,����,����
�������������������� ����+����������������!"��!�!�
����
�
��!����� ��
���
��%�������!���������
�������������� �
��'�����+� ���,��,�!����
���'������� ���������
���������
��������"�$%��
� ���������!"������-(�
��!"������'�
"��%��
�
��+�����������,�
�
�
�����.����,��
���
���
���� �
������+� ����� � ��
�
�
� �
����!����
�,)���� ��� ��
���
� ������
����
�
� �����'��+� ���� �
�
��'�
)���������
��!�
�
�
�����
�-���.� ������������
���
�����
��������+���������������+�
�
��!"�����!���
�
�������
��������
���)������"����-�����
��$�
��!������!�����
"������������������� ��'�
)*�"��
���'����+
������
)*�"+���2���� � ,+������"�
'�����������'�������� �
������� ���
�,�!���2�
��
���������3((��������
�����������
�.�������
�
�
��������'�����������
��
���'���������
������14541+�46%
�����
����
������������*��!
����!���+����������������!�
*��
�-�$%����*��������14 ������,*�������!"��
�,.������"���������������'����
��������
7�������
�����������
�������
�
�
��!"�����!�����
�����-���
��� � ����
�"� �����������
'����������
2
������(
�!�#89:&����,�����.��������
��������� ���2
�!"��
,��!"������
"����������!�;/2"��������<!������
2
�
��+������,*����,������ �'����-��
���������������2
��
��������"�
�
��!"�����!����#%$%&��
������'��
���
����
�������!�������� ���
�,������
������+��
2
��"��
�� �������+����-(�
+���� ���+�
�
�+�
�,��+
�
�������� �����������<!������,���!��������!��
�2
��!����
����!����*�����������-��� ���� �������
��
���� ���� /�� �������,�-�
���������������"���3��2
���� ���
�-�!"���������
�������
����*� ,���� ���
�����������
��
�
�����.������������������ ����
����2
���
�
�
�
���� �
������(
�!������ !.����������2
����������=15�>��?�����! ����
������� ��
�3�� ��,��
������������,��������!����������������-���������,2
���
��������������
���.��!"����
��������!"�%$%�
�
'���.� �3�� ���� ��
���������,���
��������2
������������������
����
�����
��������
�
���� ������
��
������.��������
�������
���������,������
����2
�!�����!�������������@
��������
���������-�,)���
A�B������ !+��������)*������,�
�-��!�����
����2
����!��%$%���� �������-)� ÷1/� � 0�
�� �
� ��
�2
�����-��������-.�"����*
��"�# ������//��
&��?����2
�! ��������
��
���
��"������ �����)�������,������
������
��������,���
��������������
�%$%��
����-.�"
���*
��"+�
��
�'�������-���
������������������'����
3���������,���
����������-����
�������
�����!"��
2
,��!"������
"�����������
�%$%���� ���)�����,��2
�!����
� �����!+��������)*������,���-��������-
����
�%$%���!.��1//� � 0�
�+����
��+��
�
�!"����2
*
��"�# �����1//��
&��A,*�������! �������
��� ��
2
��"�,����������������������,�����������������,� �
����!��������
���������-.�������������
���� ���+
����
��������
��!����� ��
���
����,���� ��
������
C�����D������������E��������������,�
�-��!�����
2
�����������%$%��
����-.�"����*
��"+����
��+���
���
�������-)�# ����� 4 � 0�
�&��@�����
��� �3����� ���2
�
��
�'���������������������,�������������3�� ���
������,����� ,��
������ 5� �
������� ���-(�
����
�����
���
.�"���������
���"�����
����
�����
��������
�
�����-���
�������)*����
����+���
���������
��!�
�����! ����� ��A"�
��
������
����
���������
��
����41��F����!���
�
���
"������� �'�,��
���� ������-2
���! �
���� ������������ �
������ �������%����'2
�
� �'�������
�-�������-������
���2
������,����
���
�
<�
���
����
����)�
���������������
������!���
�
�
������,������
+��
��
���)*
��������
*
�-���������2
���-��������
���2
�������
*
)*����������!���
�
�
������,����
�������
���
�������'����������������
�
�����"� !��
����
������������� �'����-��
�������
%$%��
������"���������*
�-)������� 1///4�
� ��
�������-)����1/4 � 0�
��
?�������+�����
��������������!�!�
����,*���2
����������������
��������������)*�����
����
������
�
�
���!+�������
�!�
�����������)*��������������
�
�������
�����������
�������
�
�
�
�����
������(
2
�!����3�����������!������
�������3������ ��������
��,����)�"
�
�������������)*�����
����
+���
������2
���
������
�����! ����� +������
���
�
���"�������
������
�
�
��!"�����!�������
�� ��
������?�����!�
���,�-�
�!�3��"���������
�����!�����,������
�!��
�
���
"��=G21G>�
H��-)��
����*����
���!������������������
���
������!"��
�
���������)*�����
����
+���
��������2
I���� 1�� A"�
� 3������ ���
�-���� ,��
�����
� 1� 5� �
���J� � 5
���J���5����-������
����J�G�5������'�����'
���-J���5������!�
�
�
��
������������� �
��� �
���� ����� �������� �����1�
�
������
�����! ����� +������!�������-�,��������
����
�����
��������
�
������������������
��%$%+�
�
�'����,�������������
��
��'�����+����,��,�,����
�2
��'����������������%$%+����,����!"����
��"��
�2
���
"�
��� �
�����
����������
������
��
��������
������������������
�
��
K������ ���!��!����!������!��
��
���
�������,��
2
�����+��"�
�����������������
��
������1��I
�������
�
���'����� �
�-����
���-� ��������
"���� G//4����
1�//4�+������� �����������4$�����1/4$+�
������
�����
�2
���� �*����-�−����G4��������4�����%
�
���!��
����
��,�
���-����
����"��
�
"
��������J����������� ��
�J
����������
����J��������+�
������� ��
�J��������+�
�2
������,�������!���
�������3���������,��
����
��!�
����,���
�
����,�����
���
�"��
��
�������������
2
�����������
����
����������
����
���� �����L/�M+� �2
�
�
4−0�÷��2 �#����
45���41/M���,������������
�
�5����2
��� M��C
�����������������
�
���-���������! �
�2
���� ����
���'������-)�������
�������≈�
1⋅��3
4F��I
2
�������
��������
�
���� ������-�����
�
��������N⋅������
�/⋅���4%
����
���������'�������
������4� ����
�����2
���� �'�,��
���� ���
���� ��� ������-����������4� �
���-�
����!��"
�
�����������#�$O&��
����
����2
�����!��
������ ��O
�
������$O���
����
������������
�
�
�����
���������� ��
��
������ ���������!��
��!�
�����������
�������+������$O+�����
���������� ��
�2
�������
��������
�
+��������������,"�,�
�������4�4��
@
�,�
��������
���������
���'�����4���
�����������
�
������������
�����K����,�
������$O����������"
�
���2
������
����
�-��������)*�����
����
�����
����2
����������=1�>��%�������������!"�,������"��
����� �2
'�����
������
��������"����-�����'� ��,��������
�2
���
+�����!�
� !��,�
���� ���
�������������������
�������)*�����
����
��!��
���
�
��+������������ ��
�����������
�
������N⋅���÷
��⋅���4%
��
��)�
�����,�����������
����������
���2
'�����#� ������� &���������
��
������������
��
����
�!.����
����������������
��������"����)*�"��
����
"
����
�������������J���������-����
�����!.
�
�1$0��
=G+1�>�����
�����������������!���
����� ��
�
����
,������������
�
�,�������
����
���������
���'����+
� ���
�������
����
� ���'
��� ����� %��������!�
��������
�������
�
��+����������� ���
����
������'2
�����'
���-+�3�����������������
��!������
���
���
��2
�
+��
��'
����������
���-������������-���
���
��P�
2
�������������
�
�������
���5�G//4�����
������������
�
��������
��������
�
���
�����
�
���3������ ���!+
�� ��������������
�
������'��� �������� ���
�,�,
�����'��+���������
�!�
����,*��������������������
��������������
�
�
����������!����=G>��%������
�
�����'����������������������
��� ��
��
�������
���2
�
��
���2�����'�
�����-�
���������������������'�
2
������������
�������������+����"���*�����
�
���2
�-�����������! ��
����� ��
���2
��������������������
���
����
��
��� ��
����������
������������ /�M������2
*�������
+�
����
���������M� ��
�
������������,������2
��)��
��
���������
����G/�M�
A��� �*-)���� ��
����������
��!�����������!
�� ��������� ���
�,�!��
��������
�
��<!������
�
��+
���������
�������'���������������
�
�
��� ���
�,�
�
�
� �'���������
�-� ///�°A�K�������,�-�
���������'2
�
�������������� ����������
��� ���������������
��������
*
���-�������,��,�!�3���������2�����
2
���-���������!�Q,�(��
�=1G+1N>��?��������
�������� 2
���
�,�!��
�
��������� ��
�
����
)���������,������
�///°�A�
�
'���.� ��
�
���� �������,� ���� �
����
����������
����
���
*���������������
�
�
��7� ������
��
*���������������
�
�
��!����!������!����� �2
*-)������ ����
������(���3���������������
����
+
��
�'������������������������3�����������"��������
I��,�-�
�!��� ������+����,����!"�3�� �� ����
�+
����
�
)�� �'�,��������B
����
���
*��������������
�
�
�
�������������'����(,��������
�
�������
���2
�
�����������
����//46��
<!�����������!��� �������3��������������������
����'����-�� �����������)*�����
����
�����
�����
�
���������
�������������
�
������
�����!"��
���2
���"��
����"��
�����A�3�������-)��!�
��
��
���
�
������
��������
���!"��� �������3��"��
�
�����
=1G>��?�
�
���-+���������������
������3�������������
�����������'����-�� ���������
"�����������
�
����
�/�÷�//4�+�
��
��������
�������������
�
�5�G//�÷�//���
K���������������������
��������
�������������
�
�
��,����,��������� ��
��������
��������
�
�����
���2
����
����
�����������!���
������,*���������, ��-2
.
����������,��
���������
�������������
�
�
��������,� !"��
����
"+���
���
����
����)�����2
��������
��������������,�
��������,���-�,���-�,)
�*����-� ������ �//4��0� �+� ���� ������'
��� 3���
�
��������3������������ �"
�
���������
����,���!
�
����
��F
����,�����-�,���-���� �*�����������2
����������-���
�-����)*����
����+���
���������
��!�
�����! ����� +�����������
�%$%��
����-.�"���2
���"�����"�������
�������!�������������-)�����
���
���'����� �+�������������� �������=;>����
�
��+������
�����������,�������
����
�����
��)�
)���������� �2
������
+���� ������
���+�������� �������
��!����!���2
���!�������!��������
���'���!�����
��
��
���������2
��'�����'
���-+������!���������
)���������������
I���� �� ���-�
����
�� "
�
���������
� �
������� �
����
� �
���������� 1454�� R� 1�� �%
J� 45� �� R� 14�%
J� �45��� R� N4�%
�
A���.�
�� ������ 5� ,�
������J� �,������ 5���
��������� �
����
� ����
��� � ����
��������� �
������ �������� �����
������������ �������
� ��
��
������������� �
��� �
���� ����� �������� ����� 1�
�� �
������������
����
� !���F�����-�������,� !�
���)*����
������������������,���-+��������������'2
����-��,���! ��
����
+��!�����
�����������
�
�2
��������!����
�
�����
�
������������!����������
���+��
����2
����-������
�
�
����������!�����������
��������,*���2
����! ����
�� ��������������
������-�,� !"��
��2
��"��
���
��������
+� ��
�
���
����
��%�� ���������2
�����
+����*����������� �*-)� ��
�������������
�����
���
����LL+L4M�=1�>+��������������!���-��������-
����
�
�
����������!����#�������� ��
�
&J�����3��
�
�����, ��-.��
�-�����������-�����"��
����)*���
�
����
����,������
�
'���.� ��
�
���� +�"
�
������,)*� �����,2
���������������-�����,���
��������������
�%$%+���2
�������3((���������-+������
���������������3�����2
�
��
�
���
����,������������!����
�
�
��������2
�,���������
�����=1;>������������
(��+�����
�����!�
S�4TUVWX�8YZ[������,�.�"�,��
������ ��
+��
���
�2
.�"������������1L;;����1LL;4���������
��������
���
(�2
�����������!����,�-�
�!������
.����
���
�������,�2
�
������#������&�������+��������,�-�
�!+����,����!�
���������-���
�������)*�����
����
+���
��������2
�
������
�����! ����� +��
"������������� ����,��
�,�.� �� ����! �����,�-�
�
��������,������
+���2
���-���
��������������
�%$%+�������
����/�M+������,2
*����������!.�����,�-�
���+����,�
� !"��
���,��"
,��
����
"��@
��� ��+����
�����=1L>�,�
�!�
����+����
��3((������������-���
���� ,������
� ���� �������
�
�
�����
������(
�!�����
������1/M�
������
�����������
����
�������
�
�����������
����
�����
��������
����������
��
����� ��
����
$�
��!������!�����
�������-��
����������
������2
���� ���������!�������-(�
��!�������'����%��2
������
��'��������,�
�����
� ���������!"������'�
"
���� �*-)�
�
������������3������������ ��������
\]^�_8T`�(�� !� S]ab����� ,�����)*� ��
���2
'�����G/4�������������
���������!�������,)*��
���
�����1�5�1M�A@
�
�����������+�������-����-��
��2
������3�1/� ��J
���
���� �5�1M�A@
�
�����������+�������-����-��
��2
������3�G/� ��J
���
������5� M�A@
�
�����������+�������-����-��
��2
������5�1/� ��J
���
����G�5� M�A@
�
�����������+�������-����-��
��2
������5��/� ��J
���
������5�1M�A@
�
�����������+�������-����-��
��2
������5� /��
��
F� ���
�,�
������'���������"���,�
�"��!�
������
1///°A��@
������"���������
�����1��� ��
��)�
���-
���
���
�����
�������C�������
���
��������������2
��
���������������'���#�����G&��%�����������
���� �2
�
�
�1M���������-�������
��������G/4 ��,���
��'2
�����������
�����
�
�
���������"������%��!.����
��������
���� ��
�
���� M����������
����
�
������2
����
����
���
����
�
������'�������!���'���1/4 �2
�,�����
�,)���������-�!�������
��!�
�
�
��
� �2
�� ����1+�4 � �#������&��%���,������������� �������2
���
�����/� ��,����������
�������
� ��������
����
�
�
���
�����-�������
��
)��#�����N&��A��������
�2
��������
���������
������∼�4 � +�
���������
�����"
G�÷�⋅���4� 5
�
I�������%������
�
�������������������� ������
����� �*������
12,��
����
�OQF7J� � 5� ��
� �����J� �� 5�A�B� �����
J� G� 5� ��2
���
�����-J���5������
�����-J�N2��
� ���
��,��
����
J���5�A�B
�����
J� ;� 5� ��
� ������
6!��� ��� 7#%�8'&9!&� (#%:!'9�;�<#=>� �� ?%#9!)#�� =&%&9� �"!5
(%!�
#""!@&�(�?��A��� +B�1��/
I���� ���$�
�!+� ����������
��!�� �
� �����"������ ���
��
� ��
#�1��/
I���� N�� $�
�!+� ����������
��!�� �
� �����"������^c� �
� �/
���� #���
���4G&�� #�1��/
����� � !"#��������$%"&'!()*(+����
���,�&"#��������%()-!�� ������-%.#")����
��/(01*.#������2/%-*��������.&3,�"#�
������������� �
��� �
���� ����� �������� �����1
�
����������������N+�
�
��!�������
��!��!���
�2
�
)�������������+����
�,��������,)����,��,�,+����
�2
��� ��������
��! ��
� ��,������������'������ �2
������
���
��
�����(��,�
��������
�
����������
���2
�! ���
����
���A�����
���-��+� �'���,����'�
�-+
���������
��!�
�
�
��
�������-��
��������
����!"
�
����
"��K��������������,������
��
����D3((���
�����
���E+�������!���������������
��
�����!"���
���"
�����
����
����
�
��!"�����!��������
�
�= />�
6������
��
�����������������
�����
�
�
���
�
� ��
�������
����
��
�����4���%���
����)���������
���
� �������"����
��
��������
�� �'����
��)2
���-+��������������
��'�����������!���'����/4 ��
�*������
���.����A���,��+���2���� � ,+��'��
�-��
�-2
���.����,�������������������������
�����
�
�
��
,��������� ���� ������
'���������(���!������"���2
��������'������ �������
���������
�
�����������)�2
��� ���
������ ,*������������
��'������
�
����
A��,��,�
������"������
��������
�
���������2
������*�����G�4 � ���������
��
������;��@
���,�����2
�
���
�.� ����
�
��! �����
��
�� �'���,��2
���-����-.��������� ����"���(���������������,�������
������A��������
� ���
�
��!"��������
������"�����
����.����
�
����������������
������∼�1�4 � �
%�������!����������
��
����
�
�+���������
�
�2
���������������
�,����������!��������
��������(
�!+
��������'����-���C�
A��F��*��
��
�����������2
�����������
��������÷ ;+�4 � ��K���"���.���������
��
'�!���((���������
��� ������
'����+� ���,2
����� ������
'���!"�3�������
"�#�����L&�
��������������
�%$%���
�!�
)���
�������������
�
����,��,�,����,�
� ��������!�����F
�+��
��� ��+
���
�������
����
�����������2 ��
���,)�� ��-����2
�����+��
��,�
�!�
���-��!.�+����, ��-.���)��
�������
�
�������������
�
���,��������)������ �*�����+
��,*����
��
�������
����
��)���
�������������!�
K�����
�!�
����
���������������
����,��,�,�%$%�
C
���
�-�!���
� ���������
�����
�
�
�, ��-.
��2
������1/�÷1�4 � �#������������2 ��
������� ���&���
/+G4 � ����
����
"������
�����
����
�
7�������
�������,��,�!����
���'�������������2
����
�
��!"�����!�����
� ���������!"������'�
"
����������-� ����
�������������,��,������
�
���
�
���(�
��� ������I?@2 +/������,������'��������
���
��%��
�
��+�����,'���
��
!"��
���"���
���"�����
�
������"������ �������
�(�� ��,������
����� �2
������
��A�����.�����������������������
'����� �2
������
��������������,��������������� �5��
��)�
��2
���,�����������
'���������������# //&+�����,�
�!�
��
�
� ���� ,*�������,)�,�
����,� ����������� # //&
�
�
����-��������"�������?��
�,)*������
�����C�
A
��'�������,�����
���$�
�������
�-�������������-���2
�
'�����
�
�
��
��,������-��+��
���
���
����������
�
�
+���� ��#111&+��
��
�!�
)���������
��������
�2
�
�!�
)����������C�
A��@
������1/��������
����!�(�
�2
���!���(�
�����
����
��
���������-����-)���
'2
������G/4 ���+�����������,)*�����������������
���
����
�
�
����������!����#�����1/
&������
��
������2
���-����-)���
'���������
����#�����1/�&�������+������
,��������� ��������-�������
�����������
'����� �2
������
����
���)���+�
�������
�
�
�,�����
)�����%�
���
�����)�����
'�����������������# //&�� �������
�!�
�������
����*��
������C�
A�������
���+���3����2
�������������
�
�
�
�G/4 ���#�����1/
&+����
'����
������# //&����
���������� +10�
�
+�
������
������3����2
��������4�
����#�����1/��&45���L//4�
���F��*��
�����
C�
A�����
������/+;4 � ����+�4 � ���������������+����
�
"���������"���.� �����
�������
��! ��3����������
������������%���,����������������-������������
�
����������!�������4�
����� /4�
�����*��
�����
C�
A� ����������
����F
������ ����������*��!�����
C�
A����
���� ��������3����������������
�
�
�
����2
�
�,�������������
������ ���� �"
��� ������
�������
�
�
� ��
�����-���� ��� �'���������
�C�
A����2
�
�
���������"��� �
�
����������!������������������
���,��,�!�������.����
I�������6������
��
�����������������
�����
�
�
+��������2
���
��!"� �
� �����"������ ���
��
4G+� ��� �
� ��
�
I���;�� A��,��,�
� �����"������
�
����� �������� #�1��/
I���� L��%���������� �������� ���
��
����
'�!� ��((��������2
�
��!�� ����
�� �� ���
'���!"� 3�������
"�#×
���/
��������� �
����
� ����
��� � ����
��������� �
������ �������� �����
������������ �������
� ��
��
������������� �
��� �
���� ����� �������� ����� 1�
�
'����"
�
���������������,��,�!�
�
��!"����2
�!��������������"������������-��7�������+�����
�!�
#d/+14 � &��
� ��!����
��������������������
�������
�����������,.�����)���(�
������!"��������?�
�
2
���-+�����,.�������������#111&����������������
�
�
������
�� ����,.������ �3�
����!"����
����+���,2
��������������-��������, ���
�-�! �3((���� ��A��2
���
�-���-��+��
� ������
�������������������
�������
����������
������
�
�
�����
��������� �����/+14 � �
%����
�� �����������
�����������-�
+��������� ���2
�� ����
������e� ���#�����11&+������+������
���
���2
����������.�� �(�����!����)���������-�!����,��!�
��(����!��K�����������-���,������
���������,��,��!"
����
���)*�"��
�������������������������
���������
���� ���
����������-��"� ���� ������#����������-��
��������� ���� �����&�
$�
��!������!�����
"����������
���'���� ����2
��������?�����������
����
���'��������������2
���-� ����� � ������
��!"��
�����!"��e� ���#XfU
ψ2
����&��I����������
���-����
'���������������#�11&
�
�
��B
��������
��
�!�
)*�������
�������
'����
����������#1/G&�C�
A����������!�
�!"�,����������
�!�������-��%�������
�-�����������,����
���e� �
#ψ C��°&���������-����
�����!"��e� ����#ψ �C����° �1�°&+
����ψ�2�,���� �'�,����
�-)��������"���������
��
��
���
�-)������
'
)*� ���������� �#�����1 &�����
2
�������+�����
�
���������!�����
"����������������2
��� ��'�
)*�"��
���'������������
���(��
���
����
������∼� �⋅��3� �
�
����
���'����+��������
�
�
� � �����
�����4∼1+�46%
�������
����
��,�-�g��
����������3((�������%,
����
�µ������
�
�
�����
���-��
��! ��1+1⋅���46%
�����/+/��������������2
���
7�������
���-� �
�'��
�����!��
�
��!�����2
�!�����
����-(�
��!"������'�
"��@
���(�
�����
2
"��!����)������������� !������
�
�
�
����
����
α5D
8��K�����������-���,������� +����+��
��������,�
�
����!�����
� ���������!"������'�
"+������
�
�
�
���
�������.-�������(�� ����
�����
����
��F��
(
��+������
���(�
�����
"����,����,)�����
'����
������-(�
����������'��+�����������,����'�
�-+����
���*��
�����������α 5D
8�����
��������� ����������2
�-��"� ���� ��������!�!�
���,������������,������
���������
�����,������� �������
����
����-(�
�Y8+
�����!���
�������
�,�������3��"���,�
�"��%�2���� � ,+
�� �
�������
������'������
����������
����������
����������)������"������
��
��,������
��$�
��2
����!�� 3((���� �
��)�
����� ���� �� �
��������
��
���������
�����!�������̀ h8���\f8�= >�
%��������!�� ������
��!���
�����!���e� ����
���������!��XfU
ψ2��
(������������-���,)�+�����
�2
���������!�����
����-(�
����������'����
�'�
�
"������������������� ��'�
)*�"��
���'��������2
�����
���(��
��������
������ε ≈�� �⋅��5�+�
��������
����
���'�����σ ≈�/+;�6%
��@
���'�������
�
���
����!����������
���-��
�'����������,������'�����
(�� ,���A��,��4= �>� ( ) ∆⋅⋅µ−⋅
δ⋅
=σ
�
1N
�?'&��
�µ
�5
��,�-�g��
������3((�������%,
����
��������-(�
+
δ�5����*��
������'��+���5��
��,����������!�������'��
�� ∆�5����*��
�����!������F
�
�������
��
�����
�����
σ
!
�R�/+G46%
+������
"���������"���.� ���������������
�
��! �+����,����! �������������� �������� �
C
����
���'�������
�
��!"������
"�����)���+
������ � ,+� ��� ������ ���� �(�� ����
���-����
�"�
'����������� ���
�,�!���
'��������2�
��
������
��3((��������������������
�.�������
�
�
���
��2
��
�
������'���
%��XfU
ψ2��
(��
� �'���������-����������.����
�
�
������
���'���� ������������%��,���������
2
������/+��NN�� �����
�
�
��
���
� �����������+��
���
I���� 1/�� ��(�
�����
!� ���
����+� ���,����!"� � ���
������-������������
�$%�G/� ��,��#
&������
����#�&��#7��,�����
Eλ�5�ij/�
I���� 11�� I���������
� #�
�����
&� ���
��
+� ���,�������
����������-������������
�%$%� /��
�����#7��,������'��������
���
&�
I���� 1 �� 7#$!�!���
F� �&8 "��(��
9�?�� %#��
�G9!G� H+���/� �
IJK
ψ (ψ 3� �?�"� �&8'�� 9�%�#"F*� (� �$&%L9��
!� �:%#=)#� !
9�%�#"F*� (� �
%#8#*M&;� "��(��
!/� ����
�
������ ����!���
�
� ������������ �����'����������-����-� ������
� /� �
����
����� � !"#��������$%"&'!()*(+����
���,�&"#��������%()-!�� ������-%.#")����
��/(01*.#������2/%-*��������.&3,�"#�
������������� �
��� �
���� ����� �������� �����1�
�
����-(�
����������'�������������
������ ,���
2
����)����������������
�
�
4#/+��N�4� &��K���,�
�!2
�
����
����,��������
����������������
��������
��
���,����!"��
��
�
��!"������
"�
�
���4����
�%�$&'&99>&�!��"&'�$#9!G� �=$�"G*
��'&"#
F��"&'�5
*M!&�$>$�'>�
1��%����������
������������+������-�,� ������
��
�����
�����
��������
����
+��������������,�
�-
�������������
���!.�����R�1�$0� ���,���-�,)� �*2
����-������� �//��0� �J� ���� 3�� � ��"�
���������(2
(,��!�����
�-2�!�����)*����
�����
����������,� � ��
���������,����,��� �
�����
������������
��!��� ������*����
���
���
�
���K((���������-�������
�%$%��
��
���
������
,��
�������
�����������)*�����
����
+���
��������2
�
������
�����! ����� +��
"������������� ����,��
�,�.� �� ����! �������'���� ��
G��%��,���!�
�
��!������!�����
����������
���2
�����"� ���������!"������-(�
��!"������'�
"����
������-�������
�����������1/� ��,����� /��
�����%�2
�
�
��+�����������,�
�
�
�����.����,������
���
���
�
����
�C�
A�����α5D
A+���������������+����*����
���������-��"� ���� ������
���%�����
�
�-�����
��'�����������
�����
�
�
�����"������
��������
����!"��
����
"�
N��%$%��
"������������������� ��'�
)*�"�
�2
���
���'�����∼�÷1+�46%
��A���
�����������'����+
�������������������
���'�������%$%���e��������
�
������ ���3((������������ ����������
�.������
�����'�����
�
�
�
����������
���
���'�������%$%+����,����!"������2
)*� ��
�����+���
���������
��� �
�����! ����� +
��
����
������������*��!�����!���+�����������������!2
�
*��
�-�����!������
�����-�������*��!�#���14 &
�����,*�������!"��
�,.������"��������������'����
���%
�
���!����)*�����
����
���
�!�
)���
��2
�������������
����,��,�,�%$%��C
���
�-�!���
� ��
�����
������
�
�
��, ��-.
��������1/�÷�1�4 � �#���
��������2 ��
������� ���&����/+G4 � ����
����
"��
���
�����
����
�
%��������!����������
��������)�����
'���.�
.
�� ����
���������"��������������
�
�
�
�����
�����
(
�!��F��)*����
���� ���
���������
��!��
����2
�! ����� +� �'�����,'��-��������������
��
�����
�!����������������-���������,���
��������������
%$%���
����
�����
�
������)�!"���
� �"� ������"
�������
"�
������2��
�� NOIIPQKK�R����,-.�.JQP�KH��STU�VKHOIWXJQ��YQKHIZQ[U
\\�X�ZUUHJK]I��^�WTU��J_WT�`[[�JUH�.JQP�KH�,�K^UXUKZU\
�UZ�KH� aX�KWJUX�,QXb�K�SUZTK���]c� d�JKW�,�K^UXUKZU
+`.,\a,S�
���/��30̀ ObOXK �`�QbQPQ�+4�`/��30
����3
0��0���
� `bXQTQP�S��.JQP�KH�QKH�.JQP�KH5�JeU�,QXb�K�aJ�PI�QKH
,�QWUH��X�HOZWI�3�`�SUZTK���]c�QKH�AQXeUW�4[HQWU� \\
�X�ZUUHJK]I��^�WTU��J_WT�`[[�JUH�.JQP�KH�,�K^UXUKZU\
�UZ�KH� aX�KWJUX�,QXb�K�SUZTK���]c� d�JKW�,�K^UXUKZU
+`.,\a,S�
���/��30̀ ObOXK �`�QbQPQ�+4�`/��30
����3
0��0����
�� dQPUI�,TJUK5AJK��OK]��STU�.QfK��^�.JQP�KH�`]U� \\
�X�ZUUHJK]I��^�WTU��J_WT�`[[�JUH�.JQP�KH�,�K^UXUKZU\
�UZ�KH� aX�KWJUX�,QXb�K�SUZTK���]c� d�JKW�,�K^UXUKZU
+`.,\a,S�
���/��30̀ ObOXK �`�QbQPQ�+4�`/��30
�����3
0��0�
�
�� �QITKU�0-�E� �g[Q�U��g�`� �NU��OI�-�`� ��WXU�hKJWIeJi�-���
��PU�^UQWOXUI��^�HJXUZW�ZOXXUKW�]��f�HJIZTQX]U�JK�Q�WXQKI5
�UXIQ��PQ]KUWJZ�̂ JU�H�̂ �X�HJQP�KH�̂ J�PI�HU[�IJWJ�K�\\��X�ZUU5
HJK]I��^��WT�VKWUXKQWJ�KQ��cP[�IJOP��K�.JQP�KH�aJ�PI
QKH�RU�QWUH�AQWUXJQ�I�� 30ETQXe��� +4eXQJKU/�� 30�����3
0��0���3�
�
1� j[Q�U��j�k� ��QITKU��-�E� ��WXU�hKJWIeJi�-�l� �NU��OI�-�k�
E��O[QU�Q�m�V���.JQP�KH�^J�PI�HU[�IJWJ�K�JK�Z�KHJWJ�KI
�^�HZ�]��f�HJIZTQX]U�JK�Q�WXQKI�UXIQ��PQ]KUWJZ�̂ JU�H�\\�̀ bIW5
XQZWI��^�WTU���WT���OX�[UQK�,�K^UXUKZU��K�HJQP�KH �HJQ5
P�KH5�JeU�PQ5WUXJQ�I �ZQXb�K�KQK�WObUI�QKH�IJ�JZ�K�ZQXbJHU�
50��XW��+��XWO]Q�/��30
�����3����1����
��
�� j #"&$�j�k� ��#n9&$�o�p� �p�$#"F@�(���p� �q
%&"F9!)5
(!;�o�l� ��r&"����o�k� �p�"� #&$#�7����q!9
&=�#"�#=9>L
�(%>
!;�$�
"&*M&��%#=%G'& ��
#:!"!=!%�$#99����#?5
9!
9>�� �"&��\\�o� %��>�#
��9�;�9#�(!�!�
&L9!(!��q&5
%!G�s�!=!(#�%#'!#)!�99>L� �$%&8'&9!;�!�%#'!#)!5
�99�&��#
&%!#"�$&'&9!&t��30
�����30�����+��/�30q��1�5
����
��������#n9&$�o�p� �j #"&$�j�k� �o>%�$&)����� �q
%&"F9!)5
(!;�o�l� �p�$#"F@�(���p� �r&"����o�k��u"&*M!;�%#=%G'
'"G� �9#9&�&9!G� #"�#=9>L� �(%>
!;�9#�:�"Fn!&� �5
$&%L9��
!�\\�q:�%9!(�'�("#'�$��
5?���&8'�9#%�'9�?�
�!� �=!��#� su�9(!&� "&9(!� $� v"&(
%�9!(&t�� 3
k"�#=9>&� "&9(!�!� "&9(!�%�'�
$&99>L��#
&%!#"�$�3
w#%F(�$�+x(%#!9#/��30
����3q�0��5���
�� �#n9&$�o�p� �j #"&$j�k� �o>%�$&)����� �y%!)!9#�o���
q
%&"F9!)(!;�o�l� �r&"����o�k� �p�9�$#"�$0o�y� �z#5
�$#"�k�{� �z�#"F(��|��� ��$#9�$�(!;�k����q &(
5
%#"F9>&�!��"&'�$#9!G�
"&*M&?��%#=%G'# ��
#:!"!=!5
%�$#99�?���#?9!
9>�� �"&��\\�q:�%9!(�'�("#'�$��
5
?���&8'�9#%�'9�?�� �!� �=!��#� su�9(!&� "&9(!� $
v"&(
%�9!(&t�3�k"�#=9>&� "&9(!�!� "&9(!�%�'�
$&99>L
�#
&%!#"�$��3�w#%F(�$�+x(%#!9#/��3�
�����30q�0��5���
�� �#n9&$� � � o�p� � � q
%&"F9!)(!;� � o�l� � j #"&$� � j�k�
r%>(� o�o� � �}#"G$#� p�k� � � �#%L��&9(�0k�k � {&("*5
'�$� ��} � p�"� #&$#� 7���� q
%�(
�%9>&� L#%#(5
&%!�
!(!�#"�#=9>L� �(%>
!; � �"�@&99>L�$�
"&*M&�
%#=%G'& � �
#:!"!=!%�$#99��� �#?9!
9>�� �"&�� \\
q:�%9!(�'�("#'�$��
5?���&8'�9#%�'9�?���!� �=!��#
su�9(!&� "&9(!�$�v"&(
%�9!(&t�3�k"�#=9>&� "&9(!�!
"&9(!�%�'�
$&99>L��#
&%!#"�$�3�w#%F(�$�+x(%#!9#/�
3�
����30q�01�5���
��� �QITKU��-�E� �g[Q�U��g�`� �-cX��UWI�V�V� ��WXU�hKJWIeJi�-���
NU��OI�-��̀ � �E��O[QU�Q�m�V� ��TPQ�e��~O�a���J]T�c�U^^UZ5
WJ�U�IUWO[�^�X�HJQP�KH�Z�QWJK]I�HU[�IJWJ�K\\�X�ZUUHJK]I
�^�WTU��J_WT�̀ [[�JUH�.JQP�KH�,�K^UXUKZU\�UZ�KH�aX�KWJUX
,QXb�K�SUZTK���]c�d�JKW�,�K^UXUKZU�+`.,\a,S�
���/�3
`ObOXK �`�QbQPQ�+4�`/�30
�����30��0�
�5��
�
��� �#n9&$�o�p� �q
%&"F9!)(!;�o�l� �j #"&$�j�k� �o>%�5
$&)����� �y%!)!9#�o��� �r!=*(�$0|�k��q!9
&=� �"!5
(%!�
#""!@&�(!L� #"�#=9>L� �(%>
!;� �� ���MF*
"&*M&?��%#=%G'# ��
#:!"!=!%�$#99�?���#?9!
9>�� �5
"&��\\�}#
&%!#">��&8'�9#%�'9�;�9#�@9�5
&L9!@&�(�;
(�9<&%&9)!!�sq$&%L
$&%'>&�!9�
%��&9
#"F9>&��#
&5
%!#">�9#�%�:&8&�
>�G@&"&
!;�� �"�@&9!& ��$�;�
$#
%!�&9&9!&t��30p!&$�+x(%#!9#/��30
�����30q�0
�5
1�
�
� �#n9&$��o�p� �q
%&"F9!)(!;�o�l� �j #"&$�j�k� �y%!5
)>9#�o��� �o>%�$&)0���� � r!=*(�$�|�k���� �"F=�5
$#9!&�
"&*M&?��%#=%G'# ��
#:!"!=!%�$#99�?���#?9!
5
9>�� �"&� �'"G��!9
&=#�#"�#=9>L� �(%>
!;�\\�q:�%9!(
'�("#'�$�
5;�}&8'�9#%�'9�;�(�9<&%&9)!!�sjuuj}5
t��30u�0
�%#='&"�
��30{{��w�u��+x(%#!9#/�3�
����3
0q�0��5�
�
��� �#n9&$�o�p� ��q
%&"F9!)(!;�o�l� �j #"&$�j�k� �y%!)>5
9#�o��� �o>%�$&)����� �r!=*(�$0|�k� �p%>n
#"F���y�
p�"� #&$#�7����6��
�#"�#=9>L� �(%>
!;�$���&�!�%#:�5
@!L�?#=�$��
�,�
�
�!��
�`X�,�
�
�$�
"&*M&��%#=%G'&
�
#:!"!=!%�$#99����#?9!
9>�� �"&��\\�q:�%9!(�'�(5
��������� �
����
� ����
��� � ����
��������� �
������ �������� �����
������������ �������
� ��
��
������������� �
��� �
���� ����� �������� ����� 11
"#'�$�w#%F(�$�(�;�9#�@9�;�#��#�:"&! �%#='&"���3�
��
�3
0q���3���
��� �#n9&$�o�p� ��q
%&"F9!)(!;�o�l� �j #"&$�j�k� �y%!)>5
9#�o��� �o>%�$&)����� �r!=*(�$0|�k� �p%>n
#"F���y�
p�"� #&$#�7����o"!G9!&�'�:#$(!�#%?�9#�$�$�'�%�'�5
�&
#9�$�*���&�F�9#��!9
&=�#"�#=9�?�� �(%>
!G�$�
"&*5
M&���%#=%G'& ��
#:!"!=!%�$#99����#?9!
9>�� �"&��\\
o� %��>�#
��9�;�9#�(!�!�
&L9!(!��q&%!G�s�!=!(#�%#5
'!#)!�99>L� �$%&8'&9!;�!�%#'!#)!�99�&��#
&%!#"�5
$&'&9!&t��30
��
��30�����+�
/��30q�0���5����
�1� 6#;=&%�|�����!=!(#�?#=�$�?��%#=%G'#�3�}���{#�(#��3
������3�1�
�Z�
��� �#$%�$�r�����"&(
%�99�5$%#M#
&"F9>&�� &(
%>�'$�L5
#
��9>L���"&(�"�!�'!#?9��
!(#�9&%#$9�$&�9�;� "#=�>
\\�w!�!G� "#=�>��30}���{#�(#�3�������3�o> �����30q�0�15
�
�
��� z�#"F(��|��� �q�"�$&;�o�o� ���
�)(!;�}�o��}&
#"5
"�5?!'%!'9>&�v9&%?�
&L9�"�?!!���%�:"&�>�!� &%� &(5
!$>�\\��%�:"&�>��#n!9��
%�&9!G��30�����30u�0� �����3
q�0��15��
�
��� NQW�UX� d�S� �DJKHJIZTPQK����.U�U��[PUKWI� JK� ,-.5
.JQP�KH��cKWTUIJI�.OXJK]�WTU��QIW�.UZQHU�\\�AR��NO�5
�UWJK��30������30-���0
� �������30��0
�
��� ~�0~�e�WQ �~�0̀ KH� �S�0SQZTJbQKQ �̀ �0DQWQKQbQ �UW�Q���A�X5
^���]JZQ��Z�KWX����^�HJQP�KH�̂ J�PI�JK�Q���0eD�PJZX�fQ�U
[�QIPQ�,-.�XUQZW�X�\\��X�ZUUHJK]I��^�WTU��J_WT�`[[�JUH
.JQP�KH�,�K^UXUKZU\�UZ�KH�aX�KWJUX�,QXb�K�SUZTK���]c
d�JKW�,�K^UXUKZU�+`.,\a,S0
���/��30̀ ObOXK �`�QbQPQ
+4�`/��30
�����30��0��
5�
��
/� ��������<���+�Q�������������I����
�
�
�����
(��
���
�
������(
�!��C��@
,�
��241L����5411NZ�
1� %�����<�k��l������������,��,��� ,�
�
���,��5�O6�+
1LN���3��1��Z�
� 6�((
�� I���� C�"
��������� �������
� �����"
�����������
��!"��������\\�Q����
������"��������5
C�
�C����301LN;��54F�4���54A�4 N2 L;�
�� 6���
����g�$�+� ������@�%�+�m ,����%�7�� �� ���
I
��!������ ������ �������!"�����!�������
�
�������������
� !� 00�%����"����-��Q����
+� "� ��+
�"
���
��541LL/��54n4��35�A�41G 51GN�
����� � !"#��������$%"&'!()*(+����
���,�&"#��������%()-!�� ������-%.#")����
��/(01*.#������2/%-*��������.&3,�"#�
��
�������
��
����� ��
���
������
���
�������5�4����
��
����
��
/5�5���
������
��5����� ����
����� � !6#����7���$%"&'!()'*(+����
���,�&6#�
��5���%()(!���5�5���(%.#")'����
��/801*.#�
�����/%(*�����5����.&3,�6#�
���
�o�������o�����
����
�op�����������
�,������
������o
�
���"��������o��#$%&� ����� �"o o��������
�'������
�
����p� (
��� #89:&� �
��������
��� ��o)���� ������+
��
�o�o���
����
��o��� � ���� ��%��
�
��+�*�� ������
�������q� ����',�
��� �����,� ���� ,� ���,'�o��-� ,
���, ��� ,� �
�
�o� #���
�� �//4��0� �&�� ?����
���
���, �������
�
�,���
��o��� ,����o��
������,q��
�������
�������o���
������o������"�o���
�
��"�
�������,����
q
����������"� �� �'��-� ���� ��o�������� ������,�$%��
�����"�o��o�-.���o'�1///4�
���������)�.����o��)�����,
�
�
�� �� ����o�',�
�� ,� ������o� �o��,���� �� o��
�o�-�o��-��� o.��+�����
����"�������
q�-����������.����
�
���
��%��������� ����o�'����� ������o�� �
���'����+
���,��,��� o� �
��,'������ ��
�,����o�����
�o���"�$%��
��o�������"� o� ���-(�
���"��o���
��
"��%��
�
��+�*�
������,�
�
�
� �����,q� ,��������� �
��o�o�+� ����� ,
����
��,��
��o���,����))�-��������
�"�������
���o
�,
�o���
�����+����o��
���',)�-��������
���
�
�
��@
�
�o
�������,����������
��o�o��o+��o����o���+�
�
���"��������o�
��.��)q�-����
���)������"�)�����
��$%���
"����-����o�
�oq)������
)��"��
��,'��-+�*�������
)�-+��o���o���+����
�"����'���o� �o���
���� ��� �o �
���p� �� ���
�,��� �����
���"��'��������(o�oq��o���������������.�������
�
�
�o
�o���
������������
��
��,'��������
�
q�14÷41+�46%
�o���
���
�
��'��-��o�����*������������+�*���������q�����*,�
��
$%����*���)����14 �����o������"����,.��-�p"�o"���r���o�
���o���
�����)�
345678986: 6; 38<=6:3 >6<98:?7
@78:? ?A6B 387>C<D?4 79<E8A8F43
EG =<?:498> ;84A3
H�I� 5JKLMNO� H�4� 7PQNRSMTPKUV� 6�<� 6WJRNO�
H�8� ?QTPKTMJ� 8�8� HVQXONPK� GY�<� ETZVYUXO�
H�H� EQVU� F�8� IXRYWJNOJ�
VK�WTJI�f�Xe�WTU�]��f�HJIZTQX]U�IWQbJ�J�UH�bc�Q�PQ]KUWJZ�̂ JU�H�JI
�^^UXUH�̂ �X�QK�QZWJ�QWJ�K��^�f�XeJK]�]QI�̂ �X�WTU�HJQP�KH�Z�QWJK]I
+.,/� HU[�IJWJ�K� bc�,-.�PUWT�H�� VW�fQI� IT�fK� Wstu� XWvs
wfXvstxVj�jUXWxjX�usj�sfVs�yczjx�wjUXfu{�fU�usj�vWxxjUu�vstUUj|
#}cxj� ustU� �//4Y0� �/��R�WQWJ�K� �^� Q� ZOXXUKW� ZTQKKU�� JK� Q
PQ]KUWJZ�̂ JU�H�[X��JHUI�WTU�Z�QWJK]I�HU[�IJWJ�K��K��QX]U�IOX^QZUI�
STJI� HJIZTQX]U� IZTUPU�TQI� K�W� [XJKZJ[�U� �JPJWQWJ�KI� �^� �.,
IcKWTUIJI��K�Q�IOX^QZU�P�XU�WTQK������ZP
�fJWT�TJ]T�.,�]X�fWT
XQWU��STUXU�JI�K��K�WJZUQb�U��OQKWJWc��^�JP[OXJWJUI�ZQOIUH�bc
WTU�ZQWT�HU�I[OWWUXJK]�JK�WTU�IWOHJUH�HJIZTQX]U�
STU�KOZ�UQWJ�K�[X�ZUII �IWXOZWOXU�QKH�IWXUII��^�[��cZXcIWQ��JKU
.,�HU[�IJWUH��K�P��cbHUKOP�QKH� WOK]IWUK� IObIWXQWUI�fUXU
JK�UIWJ]QWUH��VW�fQI�IT�fK�WTQW�^�XPQWJ�K��^�ZQXbJHUI�[XUZUHUI
WTU�HJQP�KH�IcKWTUIJI �P�XU��UX �ZQXbJHUI�QXU�̂ �XPUH��K�]XQJK
b�XHUXI��^��WTU�IObIWXQWU�PQWUXJQ� �fTUXU�WTUK�WTU�HJQP�KH�KOZ�UJ
Q[[UQX��YQWUX�WTU�ZQXbJHJ�QWJ�K�[X�ZUII�QKH�QZZ�XHJK]�c�HJQP�KH
Z�QWJK]�]X�fWT�I[XUQHI���UX�fT��U�]XQJK�IOX^QZU��STU�HJQP�KH
Z�QWJK]� TQI� Z�P[XUIIJ�K� IWXUII� QXJIJK]� Q[[QXUKW�c� HOXJK]� JWI
Z���JK]� W�� X��P� WUP[UXQWOXU� bUZQOIU� �^� WTUXPQ�� U_[QKIJ�K
Z�U^^JZJUKW�HJ^^UXUKZU��^�HJQP�KH�QKH�IObIWXQWU��STU�IWXUII��Q�OU
JI� �÷� 10��Q� QKH�fUQe�c� HU[UKHI� �K� Z�QWJK]� WTJZeKUII� WTQW
Q���fI�W��XUQ�J�U�HU[�IJWJ�K��^�WTJZe�Z�QWJK]I�O[�W���0PP�fJWT�OW
JWI�HU�QPJKQWJ�K��^X�P�WTU�IObIWXQWU�
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101839 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T20:49:12Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Пашнев, В.К Стрельницкий, В.Е. Опалев, О.А. Грицына, В.И. Выровец, И.И. Бизюков, Ю.А. Брык, В.В. Колупаева, З.И. 2016-06-08T10:50:10Z 2016-06-08T10:50:10Z 2003 Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101839 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем Article published earlier |
| spellingShingle | Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем Пашнев, В.К Стрельницкий, В.Е. Опалев, О.А. Грицына, В.И. Выровец, И.И. Бизюков, Ю.А. Брык, В.В. Колупаева, З.И. |
| title | Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем |
| title_full | Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем |
| title_fullStr | Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем |
| title_full_unstemmed | Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем |
| title_short | Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем |
| title_sort | осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101839 |
| work_keys_str_mv | AT pašnevvk osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem AT strelʹnickiive osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem AT opalevoa osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem AT gricynavi osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem AT vyrovecii osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem AT bizûkovûa osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem AT brykvv osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem AT kolupaevazi osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem |