Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физическая инженерия поверхности
Datum:2003
Hauptverfasser: Пашнев, В.К, Стрельницкий, В.Е., Опалев, О.А., Грицына, В.И., Выровец, И.И., Бизюков, Ю.А., Брык, В.В., Колупаева, З.И.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101839
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859518721925578752
author Пашнев, В.К
Стрельницкий, В.Е.
Опалев, О.А.
Грицына, В.И.
Выровец, И.И.
Бизюков, Ю.А.
Брык, В.В.
Колупаева, З.И.
author_facet Пашнев, В.К
Стрельницкий, В.Е.
Опалев, О.А.
Грицына, В.И.
Выровец, И.И.
Бизюков, Ю.А.
Брык, В.В.
Колупаева, З.И.
citation_txt Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
first_indexed 2025-11-25T20:49:12Z
format Article
fulltext ������������� � ��� � ���� ����� �������� ����� �� ��������� � ���� ������� � ��������� � ���� � ���� ��� � ���� ��������� � ������ �������� ����� ������������ ������� � �� �� ���� ���� !� ���� �"# $%�&'(&)� ���� �*�$ !� ���� �#&'+��� ���� �+#,! '� ���� �&-.(,!� ����/�#+(� ���� �,$0*� !�1 ���������� ���� � ������������������ ������������� ���� ���������� ����������� ������ ���� ������������������������ ���������� ���� ���������� ��������� ��� � !"#�$�%&'#()!*������� ��� ��� ������ ��������� ���� ����� �������� � ������ �������� � ��!"�����!����#$%&� ����� �"� ����������� '����� ���� ������( �!�+,-./�������'������)*���� ����+��� ��������� ��!�� �����! ����� ��%�� � ��+������ ���� �������������,� �-� �!���,)�,���-�,)� �*����-� �� ������ �� � ��� #��!.���//���0� �&���� *����� �������� � � � ��� ������ ��������������� ���� ������������!����� ����-.��������"�������� �� ���"� �� ���� ����� ��� �������� �-�!"���� ��������������,*���������������� �$%�� ������"������������1///0� ����!�������������-) ���� � � � ����������,� � �� ���������,����,���� �������������������� ����+����������������!"��!�!� ���� � ��!����� �� ��� ��%�������!��������� �������������� � ��'�����+� ���,��,�!���� ���'������� ��������� ��������� ��������"�$%�� � ���������!"������-(� ��!"������'� "��%�� � ��+�����������,� � � �����.����,�� ��� ��� ���� � ������+� ����� � �� � � � � ����!���� �,)���� ��� �� ��� � ������ ���� � � �����'��+� ���� � � ��'� )��������� ��!� � � ����� �-���.� ������������ ��� ����� ��������+���������������+� � ��!"�����!��� � ������� �������� ���)������"����-����� ��$� ��!������!����� "������������������� ��'� )*�"�� ���'����+ ������ )*�"+���2���� � ,+������"� '�����������'�������� � ������� ��� �,�!���2� �� ���������3((�������� ����������� �.������� � � ��������'����������� �� ���'��������� ������14541+�46% ����� ���� ������������*��! ����!���+����������������!� *�� �-�$%����*��������14 ������,*�������!"�� �,.������"���������������'���� �������� 7������� ����������� ������� � � ��!"�����!����� �����-��� ��� � ���� �"� ����������� '���������� 2 ������( �!�#89:&����,�����.�������� ��������� ���2 �!"�� ,��!"������ "����������!�;/2"��������<!������ 2 � ��+������,*����,������ �'����-�� ���������������2 �� ��������"� � ��!"�����!����#%$%&�� ������'�� ��� ���� �������!�������� ��� �,������ ������+�� 2 ��"�� �� �������+����-(� +���� ���+� � �+� �,��+ � �������� �����������<!������,���!��������!�� �2 ��!���� ����!����*�����������-��� ���� ������� �� ���� ���� /�� �������,�-� ���������������"���3��2 ���� ��� �-�!"��������� ������� ����*� ,���� ��� ����������� �� � �����.������������������ ���� ����2 ��� � � � ���� � ������( �!������ !.����������2 ����������=15�>��?�����! ���� ������� �� �3�� ��,�� ������������,��������!����������������-���������,2 ��� �������������� ���.��!"���� ��������!"�%$%� � '���.� �3�� ���� �� ���������,��� ��������2 ������������������ ���� ����� �������� � ���� ������ �� ������.�������� ������� ���������,������ ����2 �!�����!�������������@ �������� ���������-�,)��� A�B������ !+��������)*������,� �-��!����� ����2 ����!��%$%���� �������-)� ÷1/� � 0� �� � � �� �2 �����-��������-.�"����* ��"�# ������//�� &��?����2 �! �������� �� ��� ��"������ �����)�������,������ ������ ��������,��� �������������� �%$%�� ����-.�" ���* ��"+� �� �'�������-��� ������������������'���� 3���������,��� ����������-���� ������� �����!"�� 2 ,��!"������ "����������� �%$%���� ���)�����,��2 �!���� � �����!+��������)*������,���-��������- ���� �%$%���!.��1//� � 0� �+���� ��+�� � �!"����2 * ��"�# �����1//�� &��A,*�������! ������� ��� �� 2 ��"�,����������������������,�����������������,� � ����!�������� ���������-.������������� ���� ���+ ���� �������� ��!����� �� ��� ����,���� �� ������ C�����D������������E��������������,� �-��!����� 2 �����������%$%�� ����-.�"����* ��"+���� ��+��� ��� �������-)�# ����� 4 � 0� �&��@����� ��� �3����� ���2 � �� �'���������������������,�������������3�� ��� ������,����� ,�� ������ 5� � ������� ���-(� ���� ����� ��� .�"��������� ���"����� ���� ����� �������� � �����-��� �������)*���� ����+��� ��������� ��!� �����! ����� ��A"� �� ������ ���� ��������� �� ����41��F����!��� � ��� "������� �'�,�� ���� ������-2 ���! � ���� ������������ � ������ �������%����'2 � � �'������� �-�������-������ ���2 ������,���� ��� � <� ��� ���� ����)� ��������������� ������!��� � � ������,������ +�� �� ���)* �������� * �-���������2 ���-�������� ���2 ������� * )*����������!��� � � ������,���� ������� ��� �������'���������������� � �����"� !�� ���� ������������� �'����-�� ������� %$%�� ������"���������* �-)������� 1///4� � �� �������-)����1/4 � 0� �� ?�������+����� ��������������!�!� ����,*���2 ���������������� ��������������)*����� ���� ������ � � ���!+������� �!� �����������)*�������������� � ������� ����������� ������� � � � ����� ������( 2 �!����3�����������!������ �������3������ �������� ��,����)�" � �������������)*����� ���� +��� ������2 ��� ������ �����! ����� +������ ��� � ���"������� ������ � � ��!"�����!������� �� �� ������?�����!� ���,�-� �!�3��"��������� �����!�����,������ �!�� � ��� "��=G21G>� H��-)�� ����*���� ���!������������������ ��� ������!"�� � ���������)*����� ���� +��� ��������2 I���� 1�� A"� � 3������ ��� �-���� ,�� ����� � 1� 5� � ���J� � 5 ���J���5����-������ ����J�G�5������'�����' ���-J���5������!� � � �� ������������� � ��� � ���� ����� �������� �����1� � ������ �����! ����� +������!�������-�,�������� ���� ����� �������� � ������������������ ��%$%+� � �'����,������������� �� ��'�����+����,��,�,���� �2 ��'����������������%$%+����,����!"���� ��"�� �2 ��� "� ��� � ����� ���������� ������ �� �������� ������������������ � �� K������ ���!��!����!������!�� �� ��� �������,�� 2 �����+��"� ����������������� �� ������1��I ������� � ���'����� � �-���� ���-� �������� "���� G//4���� 1�//4�+������� �����������4$�����1/4$+� ������ ����� �2 ���� �*����-�−����G4��������4�����% � ���!�� ���� ��,� ���-���� ����"�� � " ��������J����������� �� �J ���������� ����J��������+� ������� �� �J��������+� �2 ������,�������!��� �������3���������,�� ���� ��!� ����,��� � ����,����� ��� �"�� �� ������������� 2 ����������� ���� ���������� ���� ���� �����L/�M+� �2 � � 4−0�÷��2 �#���� 45���41/M���,������������ � �5����2 ��� M��C ����������������� � ���-���������! � �2 ���� ���� ���'������-)������� �������≈� 1⋅��3 4F��I 2 ������� �������� � ���� ������-����� � ��������N⋅������ �/⋅���4% ���� ���������'������� ������4� ���� �����2 ���� �'�,�� ���� ��� ���� ��� ������-����������4� � ���-� ����!��" � �����������#�$O&�� ���� ����2 �����!�� ������ ��O � ������$O��� ���� ������������ � � ����� ���������� �� �� ������ ���������!�� ��!� ����������� �������+������$O+����� ���������� �� �2 ������� �������� � +��������������,"�,� �������4�4�� @ �,� �������� ��������� ���'�����4��� ����������� � ������������ �����K����,� ������$O����������" � ���2 ������ ���� �-��������)*����� ���� ����� ����2 ����������=1�>��%�������������!"�,������"�� ����� �2 '����� ������ ��������"����-�����'� ��,�������� �2 ��� +�����!� � !��,� ���� ��� ������������������� �������)*����� ���� ��!�� ��� � ��+������������ �� ����������� � ������N⋅���÷ ��⋅���4% �� ��)� �����,����������� ���������� ���2 '�����#� ������� &��������� �� ������������ �� ���� �!.���� ���������������� ��������"����)*�"�� ���� " ���� �������������J���������-���� �����!. � �1$0�� =G+1�>����� �����������������!��� ����� �� � ���� ,������������ � �,������� ���� ��������� ���'����+ � ��� ������� ���� � ���' ��� ����� %��������!� �������� ������� � ��+����������� ��� ���� ������'2 �����' ���-+�3����������������� ��!������ ��� ��� ��2 � +�� ��' ���������� ���-������������-��� ��� ��P� 2 ������������� � ������� ���5�G//4����� ������������ � �������� �������� � ��� ����� � ���3������ ���!+ �� �������������� � ������'��� �������� ��� �,�, �����'��+��������� �!� ����,*�������������������� �������������� � � ����������!����=G>��%������ � �����'���������������������� ��� �� �� ������� ���2 � �� ���2�����'� �����-� ���������������������'� 2 ������������ �������������+����"���*����� � ���2 �-�����������! �� ����� �� ���2 �������������������� ��� ���� �� ��� �� ���������� ������������ /�M������2 *������� +� ���� ���������M� �� � ������������,������2 ��)�� �� ��������� ����G/�M� A��� �*-)���� �� ���������� ��!�����������! �� ��������� ��� �,�!�� �������� � ��<!������ � ��+ ��������� �������'��������������� � � ��� ��� �,� � � � �'��������� �-� ///�°A�K�������,�-� ���������'2 � �������������� ���������� ��� ��������������� �������� * ���-�������,��,�!�3���������2����� 2 ���-���������!�Q,�(�� �=1G+1N>��?�������� �������� 2 ��� �,�!�� � ��������� �� � ���� )���������,������ �///°�A� � '���.� �� � ���� �������,� ���� � ���� ���������� ���� ��� *��������������� � � ��7� ������ �� *��������������� � � ��!����!������!����� �2 *-)������ ���� ������(���3��������������� ���� + �� �'������������������������3�����������"�������� I��,�-� �!��� ������+����,����!"�3�� �� ���� �+ ���� � )�� �'�,��������B ���� ��� *�������������� � � � �������������'����(,�������� � ������� ���2 � ����������� ����//46�� <!�����������!��� �������3�������������������� ����'����-�� �����������)*����� ���� ����� ����� � ��������� ������������� � ������ �����!"�� ���2 ���"�� ����"�� �����A�3�������-)��!� �� �� ��� � ������ �������� ���!"��� �������3��"�� � ����� =1G>��?� � ���-+��������������� ������3������������� �����������'����-�� ��������� "����������� � ���� �/�÷�//4�+� �� �������� ������������� � �5�G//�÷�//��� K��������������������� �������� ������������� � � ��,����,��������� �� �������� �������� � ����� ���2 ���� ���� �����������!��� ������,*���������, ��-2 . ����������,�� ��������� ������������� � � ��������,� !"�� ���� "+��� ��� ���� ����)�����2 �������� ��������������,� ��������,���-�,���-�,) �*����-� ������ �//4��0� �+� ���� ������' ��� 3��� � ��������3������������ �" � ��������� ����,���! � ���� ��F ����,�����-�,���-���� �*�����������2 ����������-��� �-����)*���� ����+��� ��������� ��!� �����! ����� +����������� �%$%�� ����-.�"���2 ���"�����"������� �������!�������������-)����� ��� ���'����� �+�������������� �������=;>���� � ��+������ �����������,������� ���� ����� ��)� )���������� �2 ������ +���� ������ ���+�������� ������� ��!����!���2 ���!�������!�������� ���'���!����� �� �� ���������2 ��'�����' ���-+������!��������� )��������������� I���� �� ���-� ���� �� " � ��������� � � ������� � ���� � � ���������� 1454�� R� 1�� �% J� 45� �� R� 14�% J� �45��� R� N4�% � A���.� �� ������ 5� ,� ������J� �,������ 5��� ��������� � ���� � ���� ��� � ���� ��������� � ������ �������� ����� ������������ ������� � �� �� ������������� � ��� � ���� ����� �������� ����� 1� �� � ������������ ���� � !���F�����-�������,� !� ���)*���� ������������������,���-+��������������'2 ����-��,���! �� ���� +��!����� ����������� � �2 ��������!���� � ����� � ������������!���������� ���+�� ����2 ����-������ � � ����������!����������� ��������,*���2 ����! ���� �� �������������� ������-�,� !"�� ��2 ��"�� ��� �������� +� �� � ��� ���� ��%�� ���������2 ����� +����*����������� �*-)� �� ������������� ����� ��� ����LL+L4M�=1�>+��������������!���-��������- ���� � � ����������!����#�������� �� � &J�����3�� � �����, ��-.�� �-�����������-�����"�� ����)*��� � ���� ����,������ � '���.� �� � ���� +�" � ������,)*� �����,2 ���������������-�����,��� �������������� �%$%+���2 �������3((���������-+������ ���������������3�����2 � �� � ��� ����,������������!���� � � ��������2 �,��������� �����=1;>������������ (��+����� �����!� S�4TUVWX�8YZ[������,�.�"�,�� ������ �� +�� ��� �2 .�"������������1L;;����1LL;4��������� �������� ��� (�2 �����������!����,�-� �!������ .���� ��� �������,�2 � ������#������&�������+��������,�-� �!+����,����!� ���������-��� �������)*����� ���� +��� ��������2 � ������ �����! ����� +�� "������������� ����,�� �,�.� �� ����! �����,�-� � ��������,������ +���2 ���-��� �������������� �%$%+������� ����/�M+������,2 *����������!.�����,�-� ���+����,� � !"�� ���,��" ,�� ���� "��@ ��� ��+���� �����=1L>�,� �!� ����+���� ��3((������������-��� ���� ,������ � ���� ������� � � ����� ������( �!����� ������1/M� ������ ����������� ���� ������� � ����������� ���� ����� �������� ���������� �� ����� �� ���� $� ��!������!����� �������-�� ���������� ������2 ���� ���������!�������-(� ��!�������'����%��2 ������ ��'��������,� ����� � ���������!"������'� " ���� �*-)� � ������������3������������ �������� \]^�_8T`�(�� !� S]ab����� ,�����)*� �� ���2 '�����G/4������������� ���������!�������,)*�� ��� �����1�5�1M�A@ � �����������+�������-����-�� ��2 ������3�1/� ��J ��� ���� �5�1M�A@ � �����������+�������-����-�� ��2 ������3�G/� ��J ��� ������5� M�A@ � �����������+�������-����-�� ��2 ������5�1/� ��J ��� ����G�5� M�A@ � �����������+�������-����-�� ��2 ������5��/� ��J ��� ������5�1M�A@ � �����������+�������-����-�� ��2 ������5� /�� �� F� ��� �,� ������'���������"���,� �"��!� ������ 1///°A��@ ������"��������� �����1��� �� ��)� ���- ��� ��� ����� �������C������� ��� ��������������2 �� ���������������'���#�����G&��%����������� ���� �2 � � �1M���������-������� ��������G/4 ��,��� ��'2 ����������� ����� � � ���������"������%��!.���� �������� ���� �� � ���� M���������� ���� � ������2 ���� ���� ��� ���� � ������'�������!���'���1/4 �2 �,����� �,)���������-�!������� ��!� � � �� � �2 �� ����1+�4 � �#������&��%���,������������� �������2 ��� �����/� ��,���������� ������� � �������� ���� � � ��� �����-������� �� )��#�����N&��A�������� �2 �������� ��������� ������∼�4 � +� ��������� �����" G�÷�⋅���4� 5 � I�������%������ � �������������������� ������ ����� �*������ 12,�� ���� �OQF7J� � 5� �� � �����J� �� 5�A�B� ����� J� G� 5� ��2 ��� �����-J���5������ �����-J�N2�� � ��� ��,�� ���� J���5�A�B ����� J� ;� 5� �� � ������ 6!��� ��� 7#%�8'&9!&� (#%:!'9�;�<#=>� �� ?%#9!)#�� =&%&9� �"!5 (%!� #""!@&�(�?��A��� +B�1��/ I���� ���$� �!+� ���������� ��!�� � � �����"������ ��� �� � �� #×�1��/ I���� N�� $� �!+� ���������� ��!�� � � �����"������^c� � � �/ ���� #��� ���4G&�� #×�1��/ ����� � !"#��������$%"&'!()*(+���� ���,�&"#��������%()-!�� ������-%.#")���� ��/(01*.#������2/%-*��������.&3,�"#� ������������� � ��� � ���� ����� �������� �����1 � ����������������N+� � ��!������� ��!��!��� �2 � )�������������+���� �,��������,)����,��,�,+���� �2 ��� �������� ��! �� � ��,������������'������ �2 ������ ��� �� �����(��,� �������� � ���������� ���2 �! ��� ���� ���A����� ���-��+� �'���,����'� �-+ ��������� ��!� � � �� �������-�� �������� ����!" � ���� "��K��������������,������ �� ����D3((��� ����� ���E+�������!��������������� �� �����!"��� ���" ����� ���� ���� � ��!"�����!�������� � �= />� 6������ �� ����������������� ����� � � ��� � � �� ������� ���� �� �����4���%��� ����)��������� ��� � �������"���� �� �������� �� �'���� ��)2 ���-+�������������� ��'�����������!���'����/4 �� �*������ ���.����A���,��+���2���� � ,+��'�� �-�� �-2 ���.����,������������������������� ����� � � �� ,��������� ���� ������ '���������(���!������"���2 ��������'������ ������� ��������� � �����������)�2 ��� ��� ������ ,*������������ ��'������ � ���� A��,��,� ������"������ �������� � ���������2 ������*�����G�4 � ��������� �� ������;��@ ���,�����2 � ��� �.� ���� � ��! ����� �� �� �'���,��2 ���-����-.��������� ����"���(���������������,������� ������A�������� � ��� � ��!"�������� ������"����� ����.���� � ���������������� ������∼�1�4 � � %�������!���������� �� ���� � �+��������� � �2 ��������������� �,����������!�������� ��������( �!+ ��������'����-���C� A��F��*�� �� �����������2 ����������� ��������÷ ;+�4 � ��K���"���.��������� �� '�!���((��������� ��� ������ '����+� ���,2 ����� ������ '���!"�3������� "�#�����L&� �������������� �%$%��� �!� )��� ������������� � ����,��,�,����,� � ��������!�����F �+�� ��� ��+ ��� ������� ���� �����������2 �� ���,)�� ��-����2 �����+�� ��,� �!� ���-��!.�+����, ��-.���)�� ������� � ������������� � ���,��������)������ �*�����+ ��,*���� �� ������� ���� ��)��� �������������!� K����� �!� ���� ��������������� ����,��,�,�%$%� C ��� �-�!��� � ��������� ����� � � �, ��-. ��2 ������1/�÷1�4 � �#������������2 �� ������� ���&��� /+G4 � ���� ���� "������ ����� ���� � 7������� �������,��,�!���� ���'�������������2 ���� � ��!"�����!����� � ���������!"������'� " ����������-� ���� �������������,��,������ � ��� � ���(� ��� ������I?@2 +/������,������'�������� ��� ��%�� � ��+�����,'��� �� !"�� ���"��� ���"����� � ������"������ ������� �(�� ��,������ ����� �2 ������ ��A�����.����������������������� '����� �2 ������ ��������������,��������������� �5�� ��)� ��2 ���,����������� '���������������# //&+�����,� �!� �� � � ���� ,*�������,)�,� ����,� ����������� # //& � � ����-��������"�������?�� �,)*������ �����C� A ��'�������,����� ���$� ������� �-�������������-���2 � '����� � � �� ��,������-��+�� ��� ��� ���������� � � +���� ��#111&+�� �� �!� )��������� �������� �2 � �!� )����������C� A��@ ������1/�������� ����!�(� �2 ���!���(� ����� ���� �� ���������-����-)��� '2 ������G/4 ���+�����������,)*����������������� ��� ���� � � ����������!����#�����1/ &������ �� ������2 ���-����-)��� '��������� ����#�����1/�&�������+������ ,��������� ��������-������� ����������� '����� �2 ������ ���� ���)���+� ������� � � �,����� )�����%� ��� �����)����� '�����������������# //&�� ������� �!� ������� ����*�� ������C� A������� ���+���3����2 ������������� � � � �G/4 ���#�����1/ &+���� '���� ������# //&���� ���������� +10� � +� ������ ������3����2 ��������4� ����#�����1/��&45���L//4� ���F��*�� ����� C� A����� ������/+;4 � ����+�4 � ���������������+���� � "���������"���.� ����� ������� ��! ��3���������� ������������%���,����������������-������������ � ����������!�������4� ����� /4� �����*�� ����� C� A� ���������� ����F ������ ����������*��!����� C� A���� ���� ��������3���������������� � � � ����2 � �,������������� ������ ���� �" ��� ������ ������� � � � �� �����-���� ��� �'��������� �C� A����2 � � ���������"��� � � ����������!������������������ ���,��,�!�������.���� I�������6������ �� ����������������� ����� � � +��������2 ��� ��!"� � � �����"������ ��� �� 4G+� ��� � � �� � I���;�� A��,��,� � �����"������ � ����� �������� #×�1��/ I���� L��%���������� �������� ��� �� ���� '�!� ��((��������2 � ��!�� ���� �� �� ��� '���!"� 3������� "�#× ���/ ��������� � ���� � ���� ��� � ���� ��������� � ������ �������� ����� ������������ ������� � �� �� ������������� � ��� � ���� ����� �������� ����� 1� � '����" � ���������������,��,�!� � ��!"����2 �!��������������"������������-��7�������+����� �!� #d/+14 � &�� � ��!���� �������������������� ������� �����������,.�����)���(� ������!"��������?� � 2 ���-+�����,.�������������#111&���������������� � � ������ �� ����,.������ �3� ����!"���� ����+���,2 ��������������-��������, ��� �-�! �3((���� ��A��2 ��� �-���-��+�� � ������ ������������������� ������� ���������� ������ � � ����� ��������� �����/+14 � � %���� �� ����������� �����������-� +��������� ���2 �� ���� ������e� ���#�����11&+������+������ ��� ���2 ����������.�� �(�����!����)���������-�!����,��!� ��(����!��K�����������-���,������ ���������,��,��!" ���� ���)*�"�� ������������������������� ��������� ���� ��� ����������-��"� ���� ������#����������-�� ��������� ���� �����&� $� ��!������!����� "���������� ���'���� ����2 ��������?����������� ���� ���'��������������2 ���-� ����� � ������ ��!"�� �����!"��e� ���#XfU ψ2 ����&��I���������� ���-���� '���������������#�11& � � ��B �������� �� �!� )*������� ������� '���� ����������#1/G&�C� A����������!� �!"�,���������� �!�������-��%������� �-�����������,���� ���e� � #ψ C��°&���������-���� �����!"��e� ����#ψ �C����° �1�°&+ ����ψ�2�,���� �'�,���� �-)��������"��������� �� �� ��� �-)������ ' )*� ���������� �#�����1 &����� 2 �������+����� � ���������!����� "����������������2 ��� ��'� )*�"�� ���'������������ ���(�� ��� ε����� ������∼� �⋅��3� � � ���� ���'����+�������� � � � � ����� �����4∼1+�46% ������� ���� ��,�-�g�� ����������3((�������%, ���� �µ������ � � ����� ���-�� ��! ��1+1⋅���46% �����/+/��������������2 ��� 7������� ���-� � �'�� �����!�� � ��!�����2 �!����� ����-(� ��!"������'� "��@ ���(� ����� 2 "��!����)������������� !������ � � � ���� ���� α5D 8��K�����������-���,������� +����+�� ��������,� � ����!����� � ���������!"������'� "+������ � � � ��� �������.-�������(�� ���� ����� ���� ��F�� ( ��+������ ���(� ����� "����,����,)����� '���� ������-(� ����������'��+�����������,����'� �-+���� ���*�� �����������α 5D 8����� ��������� ����������2 �-��"� ���� ��������!�!� ���,������������,������ ��������� �����,������� ������� ���� ����-(� �Y8+ �����!��� ������� �,�������3��"���,� �"��%�2���� � ,+ �� � ������� ������'������ ���������� ���������� ����������)������"������ �� ��,������ ��$� ��2 ����!�� 3((���� � ��)� ����� ���� �� � �������� �� ��������� �����!�������̀ h8���\f8�= >� %��������!�� ������ ��!��� �����!���e� ���� ���������!��XfU ψ2�� (������������-���,)�+����� �2 ���������!����� ����-(� ����������'���� �'� � "������������������� ��'� )*�"�� ���'��������2 ����� ���(�� �������� ������ε ≈�� �⋅��5�+� �������� ���� ���'�����σ ≈�/+;�6% ��@ ���'������� � ��� ����!���������� ���-�� �'����������,������'����� (�� ,���A��,��4= �>� ( ) ∆⋅⋅µ−⋅ δ⋅ =σ � 1N �?'&�� �µ �5 ��,�-�g�� ������3((�������%, ���� ��������-(� + δ�5����*�� ������'��+���5�� ��,����������!�������'�� �� ∆�5����*�� �����!������F � ������� �� ����� ����� σ ! �R�/+G46% +������ "���������"���.� ��������������� � ��! �+����,����! �������������� �������� � C ���� ���'������� � ��!"������ "�����)���+ ������ � ,+� ��� ������ ���� �(�� ���� ���-���� �"� '����������� ��� �,�!��� '��������2� �� ������ ��3((�������������������� �.������� � � ��� ��2 �� � ������'��� %��XfU ψ2�� (�� � �'���������-����������.���� � � ������ ���'���� ������������%��,��������� 2 ������/+��NN�� ����� � � �� ��� � �����������+�� ��� I���� 1/�� ��(� ����� !� ��� ����+� ���,����!"� � ��� ������-������������ �$%�G/� ��,��# &������ ����#�&��#7��,����� Eλ�5�ij/� I���� 11�� I��������� � #� ����� &� ��� �� +� ���,������� ����������-������������ �%$%� /�� �����#7��,������'�������� ��� &� I���� 1 �� 7#$!�!��� F� �&8 "��(�� 9�?�� %#�� �G9!G� H+���/� � IJK ψ (ψ 3� �?�"� �&8'�� 9�%�#"F*� (� �$&%L9�� !� �:%#=)#� ! 9�%�#"F*� (� � %#8#*M&;� "��(�� !/� ���� � ������ ����!��� � � ������������ �����'����������-����-� ������ � /� � ���� ����� � !"#��������$%"&'!()*(+���� ���,�&"#��������%()-!�� ������-%.#")���� ��/(01*.#������2/%-*��������.&3,�"#� ������������� � ��� � ���� ����� �������� �����1� � ����-(� ����������'������������� ������ ,��� 2 ����)���������������� � � 4#/+��N�4� &��K���,� �!2 � ���� ����,�������� ���������������� �������� �� ���,����!"�� �� � ��!"������ "� � ���4���� �%�$&'&99>&�!��"&'�$#9!G� �=$�"G* ��'&"# F��"&'�5 *M!&�$>$�'>� 1��%���������� ������������+������-�,� ������ �� ����� ����� �������� ���� +��������������,� �- ������������� ���!.�����R�1�$0� ���,���-�,)� �*2 ����-������� �//��0� �J� ���� 3�� � ��"� ���������(2 (,��!����� �-2�!�����)*���� ����� ����������,� � �� ���������,����,��� � ����� ������������ ��!��� ������*���� ��� ��� � ���K((���������-������� �%$%�� �� ��� ������ ,�� ������� �����������)*����� ���� +��� ��������2 � ������ �����! ����� +�� "������������� ����,�� �,�.� �� ����! �������'���� �� G��%��,���!� � ��!������!����� ���������� ���2 �����"� ���������!"������-(� ��!"������'� "���� ������-������� �����������1/� ��,����� /�� �����%�2 � � ��+�����������,� � � �����.����,������ ��� ��� � ���� �C� A�����α5D A+���������������+����*���� ���������-��"� ���� ������ ���%����� � �-����� ��'����������� ����� � � �����"������ �������� ����!"�� ���� "� N��%$%�� "������������������� ��'� )*�"� �2 ��� ���'�����∼�÷1+�46% ��A��� �����������'����+ ������������������� ���'�������%$%���e�������� � ������ ���3((������������ ���������� �.������ �����'����� � � � ���������� ��� ���'�������%$%+����,����!"������2 )*� �� �����+��� ��������� ��� � �����! ����� + �� ���� ������������*��!�����!���+�����������������!2 � *�� �-�����!������ �����-�������*��!�#���14 & �����,*�������!"�� �,.������"��������������'���� ���% � ���!����)*����� ���� ��� �!� )��� ��2 ������������� ����,��,�,�%$%��C ��� �-�!��� � �� ����� ������ � � ��, ��-. ��������1/�÷�1�4 � �#��� ��������2 �� ������� ���&����/+G4 � ���� ���� "�� ��� ����� ���� � %��������!���������� ��������)����� '���.� . �� ���� ���������"�������������� � � � ����� ����� ( �!��F��)*���� ���� ��� ��������� ��!�� ����2 �! ����� +� �'�����,'��-�������������� �� ����� �!����������������-���������,��� �������������� %$%��� ���� ����� � ������)�!"��� � �"� ������" ������� "� ������2�� �� NOIIPQKK�R����,-.�.JQP�KH��STU�VKHOIWXJQ��YQKHIZQ[U \\�X�ZUUHJK]I��^�WTU��J_WT�`[[�JUH�.JQP�KH�,�K^UXUKZU\ �UZ�KH� aX�KWJUX�,QXb�K�SUZTK���]c� d�JKW�,�K^UXUKZU +`.,\a,S� ���/��30̀ ObOXK �`�QbQPQ�+4�`/��30 ����3 0��0��� � `bXQTQP�S��.JQP�KH�QKH�.JQP�KH5�JeU�,QXb�K�aJ�PI�QKH ,�QWUH��X�HOZWI�3�`�SUZTK���]c�QKH�AQXeUW�4[HQWU� \\ �X�ZUUHJK]I��^�WTU��J_WT�`[[�JUH�.JQP�KH�,�K^UXUKZU\ �UZ�KH� aX�KWJUX�,QXb�K�SUZTK���]c� d�JKW�,�K^UXUKZU +`.,\a,S� ���/��30̀ ObOXK �`�QbQPQ�+4�`/��30 ����3 0��0���� �� dQPUI�,TJUK5AJK��OK]��STU�.QfK��^�.JQP�KH�`]U� \\ �X�ZUUHJK]I��^�WTU��J_WT�`[[�JUH�.JQP�KH�,�K^UXUKZU\ �UZ�KH� aX�KWJUX�,QXb�K�SUZTK���]c� d�JKW�,�K^UXUKZU +`.,\a,S� ���/��30̀ ObOXK �`�QbQPQ�+4�`/��30 �����3 0��0� � �� �QITKU�0-�E� �g[Q�U��g�`� �NU��OI�-�`� ��WXU�hKJWIeJi�-��� ��PU�^UQWOXUI��^�HJXUZW�ZOXXUKW�]��f�HJIZTQX]U�JK�Q�WXQKI5 �UXIQ��PQ]KUWJZ�̂ JU�H�̂ �X�HJQP�KH�̂ J�PI�HU[�IJWJ�K�\\��X�ZUU5 HJK]I��^��WT�VKWUXKQWJ�KQ��cP[�IJOP��K�.JQP�KH�aJ�PI QKH�RU�QWUH�AQWUXJQ�I�� 30ETQXe��� +4eXQJKU/�� 30�����3 0��0���3� � 1� j[Q�U��j�k� ��QITKU��-�E� ��WXU�hKJWIeJi�-�l� �NU��OI�-�k� E��O[QU�Q�m�V���.JQP�KH�^J�PI�HU[�IJWJ�K�JK�Z�KHJWJ�KI �^�HZ�]��f�HJIZTQX]U�JK�Q�WXQKI�UXIQ��PQ]KUWJZ�̂ JU�H�\\�̀ bIW5 XQZWI��^�WTU���WT���OX�[UQK�,�K^UXUKZU��K�HJQP�KH �HJQ5 P�KH5�JeU�PQ5WUXJQ�I �ZQXb�K�KQK�WObUI�QKH�IJ�JZ�K�ZQXbJHU� 50��XW��+��XWO]Q�/��30 �����3����1���� �� �� j #"&$�j�k� ��#n9&$�o�p� �p�$#"F@�(���p� �q %&"F9!)5 (!;�o�l� ��r&"����o�k� �p�"� #&$#�7����q!9 &=�#"�#=9>L �(%> !;�$� "&*M&��%#=%G'& �� #:!"!=!%�$#99����#?5 9! 9>�� �"&��\\�o� %��>�# ��9�;�9#�(!�!� &L9!(!��q&5 %!G�s�!=!(#�%#'!#)!�99>L� �$%&8'&9!;�!�%#'!#)!5 �99�&��# &%!#"�$&'&9!&t��30 �����30�����+��/�30q��1�5 ���� ��������#n9&$�o�p� �j #"&$�j�k� �o>%�$&)����� �q %&"F9!)5 (!;�o�l� �p�$#"F@�(���p� �r&"����o�k��u"&*M!;�%#=%G' '"G� �9#9&�&9!G� #"�#=9>L� �(%> !;�9#�:�"Fn!&� �5 $&%L9�� !�\\�q:�%9!(�'�("#'�$�� 5?���&8'�9#%�'9�?� �!� �=!��#� su�9(!&� "&9(!� $� v"&( %�9!(&t�� 3 k"�#=9>&� "&9(!�!� "&9(!�%�'� $&99>L��# &%!#"�$�3 w#%F(�$�+x(%#!9#/��30 ����3q�0��5��� �� �#n9&$�o�p� �j #"&$j�k� �o>%�$&)����� �y%!)!9#�o��� q %&"F9!)(!;�o�l� �r&"����o�k� �p�9�$#"�$0o�y� �z#5 �$#"�k�{� �z�#"F(��|��� ��$#9�$�(!;�k����q &( 5 %#"F9>&�!��"&'�$#9!G� "&*M&?��%#=%G'# �� #:!"!=!5 %�$#99�?���#?9! 9>�� �"&��\\�q:�%9!(�'�("#'�$�� 5 ?���&8'�9#%�'9�?�� �!� �=!��#� su�9(!&� "&9(!� $ v"&( %�9!(&t�3�k"�#=9>&� "&9(!�!� "&9(!�%�'� $&99>L �# &%!#"�$��3�w#%F(�$�+x(%#!9#/��3� �����30q�0��5��� �� �#n9&$� � � o�p� � � q %&"F9!)(!;� � o�l� � j #"&$� � j�k� r%>(� o�o� � �}#"G$#� p�k� � � �#%L��&9(�0k�k � {&("*5 '�$� ��} � p�"� #&$#� 7���� q %�( �%9>&� L#%#(5 &%!� !(!�#"�#=9>L� �(%> !; � �"�@&99>L�$� "&*M&� %#=%G'& � � #:!"!=!%�$#99��� �#?9! 9>�� �"&�� \\ q:�%9!(�'�("#'�$�� 5?���&8'�9#%�'9�?���!� �=!��# su�9(!&� "&9(!�$�v"&( %�9!(&t�3�k"�#=9>&� "&9(!�! "&9(!�%�'� $&99>L��# &%!#"�$�3�w#%F(�$�+x(%#!9#/� 3� ����30q�01�5��� ��� �QITKU��-�E� �g[Q�U��g�`� �-cX��UWI�V�V� ��WXU�hKJWIeJi�-��� NU��OI�-��̀ � �E��O[QU�Q�m�V� ��TPQ�e��~O�a���J]T�c�U^^UZ5 WJ�U�IUWO[�^�X�HJQP�KH�Z�QWJK]I�HU[�IJWJ�K\\�X�ZUUHJK]I �^�WTU��J_WT�̀ [[�JUH�.JQP�KH�,�K^UXUKZU\�UZ�KH�aX�KWJUX ,QXb�K�SUZTK���]c�d�JKW�,�K^UXUKZU�+`.,\a,S� ���/�3 `ObOXK �`�QbQPQ�+4�`/�30 �����30��0� �5�� � ��� �#n9&$�o�p� �q %&"F9!)(!;�o�l� �j #"&$�j�k� �o>%�5 $&)����� �y%!)!9#�o��� �r!=*(�$0|�k��q!9 &=� �"!5 (%!� #""!@&�(!L� #"�#=9>L� �(%> !;� �� ���MF* "&*M&?��%#=%G'# �� #:!"!=!%�$#99�?���#?9! 9>�� �5 "&��\\�}# &%!#">��&8'�9#%�'9�;�9#�@9�5 &L9!@&�(�; (�9<&%&9)!!�sq$&%L $&%'>&�!9� %��&9 #"F9>&��# &5 %!#">�9#�%�:&8&� >�G@&"& !;�� �"�@&9!& ��$�;� $# %!�&9&9!&t��30p!&$�+x(%#!9#/��30 �����30q�0 �5 1� � � �#n9&$��o�p� �q %&"F9!)(!;�o�l� �j #"&$�j�k� �y%!5 )>9#�o��� �o>%�$&)0���� � r!=*(�$�|�k���� �"F=�5 $#9!&� "&*M&?��%#=%G'# �� #:!"!=!%�$#99�?���#?9! 5 9>�� �"&� �'"G��!9 &=#�#"�#=9>L� �(%> !;�\\�q:�%9!( '�("#'�$� 5;�}&8'�9#%�'9�;�(�9<&%&9)!!�sjuuj}5 t��30u�0 �%#='&"� ��30{{��w�u��+x(%#!9#/�3� ����3 0q�0��5� � ��� �#n9&$�o�p� ��q %&"F9!)(!;�o�l� �j #"&$�j�k� �y%!)>5 9#�o��� �o>%�$&)����� �r!=*(�$0|�k� �p%>n #"F���y� p�"� #&$#�7����6�� �#"�#=9>L� �(%> !;�$���&�!�%#:�5 @!L�?#=�$�� �,� � �!�� �`X�,� � �$� "&*M&��%#=%G'& � #:!"!=!%�$#99����#?9! 9>�� �"&��\\�q:�%9!(�'�(5 ��������� � ���� � ���� ��� � ���� ��������� � ������ �������� ����� ������������ ������� � �� �� ������������� � ��� � ���� ����� �������� ����� 11 "#'�$�w#%F(�$�(�;�9#�@9�;�#��#�:"&! �%#='&"���3� �� �3 0q���3��� ��� �#n9&$�o�p� ��q %&"F9!)(!;�o�l� �j #"&$�j�k� �y%!)>5 9#�o��� �o>%�$&)����� �r!=*(�$0|�k� �p%>n #"F���y� p�"� #&$#�7����o"!G9!&�'�:#$(!�#%?�9#�$�$�'�%�'�5 �& #9�$�*���&�F�9#��!9 &=�#"�#=9�?�� �(%> !G�$� "&*5 M&���%#=%G'& �� #:!"!=!%�$#99����#?9! 9>�� �"&��\\ o� %��>�# ��9�;�9#�(!�!� &L9!(!��q&%!G�s�!=!(#�%#5 '!#)!�99>L� �$%&8'&9!;�!�%#'!#)!�99�&��# &%!#"�5 $&'&9!&t��30 �� ��30�����+� /��30q�0���5���� �1� 6#;=&%�|�����!=!(#�?#=�$�?��%#=%G'#�3�}���{#�(#��3 ������3�1� �Z� ��� �#$%�$�r�����"&( %�99�5$%#M# &"F9>&�� &( %>�'$�L5 # ��9>L���"&(�"�!�'!#?9�� !(#�9&%#$9�$&�9�;� "#=�> \\�w!�!G� "#=�>��30}���{#�(#�3�������3�o> �����30q�0�15 � � ��� z�#"F(��|��� �q�"�$&;�o�o� ��� �)(!;�}�o��}& #"5 "�5?!'%!'9>&�v9&%?� &L9�"�?!!���%�:"&�>�!� &%� &(5 !$>�\\��%�:"&�>��#n!9�� %�&9!G��30�����30u�0� �����3 q�0��15�� � ��� NQW�UX� d�S� �DJKHJIZTPQK����.U�U��[PUKWI� JK� ,-.5 .JQP�KH��cKWTUIJI�.OXJK]�WTU��QIW�.UZQHU�\\�AR��NO�5 �UWJK��30������30-���0 � �������30��0 � ��� ~�0~�e�WQ �~�0̀ KH� �S�0SQZTJbQKQ �̀ �0DQWQKQbQ �UW�Q���A�X5 ^���]JZQ��Z�KWX����^�HJQP�KH�̂ J�PI�JK�Q���0eD�PJZX�fQ�U [�QIPQ�,-.�XUQZW�X�\\��X�ZUUHJK]I��^�WTU��J_WT�`[[�JUH .JQP�KH�,�K^UXUKZU\�UZ�KH�aX�KWJUX�,QXb�K�SUZTK���]c d�JKW�,�K^UXUKZU�+`.,\a,S0 ���/��30̀ ObOXK �`�QbQPQ +4�`/��30 �����30��0�� 5� �� /� ��������<���+�Q�������������I���� � � ����� (�� ��� � ������( �!��C��@ ,� ��241L����5411NZ� 1� %�����<�k��l������������,��,��� ,� � ���,��5�O6�+ 1LN���3��1��Z� � 6�(( �� I���� C�" ��������� ������� � �����" ����������� ��!"��������\\�Q���� ������"��������5 C� �C����301LN;��54F�4���54A�4 N2 L;� �� 6��� ����g�$�+� ������@�%�+�m ,����%�7�� �� ��� I ��!������ ������ �������!"�����!������� � ������������� � !� 00�%����"����-��Q���� +� "� ��+ �" ��� ��541LL/��54n4��35�A�41G 51GN� ����� � !"#��������$%"&'!()*(+���� ���,�&"#��������%()-!�� ������-%.#")���� ��/(01*.#������2/%-*��������.&3,�"#� �� ������� �� ����� �� ��� ������ ��� �������5�4���� �� ���� �� /5�5��� ������ ��5����� ���� ����� � !6#����7���$%"&'!()'*(+���� ���,�&6#� ��5���%()(!���5�5���(%.#")'���� ��/801*.#� �����/%(*�����5����.&3,�6#� ��� �o�������o����� ���� �op����������� �,������ ������o � ���"��������o��#$%&� ����� �"o o�������� �'������ � ����p� ( ��� #89:&� � �������� ��� ��o)���� ������+ �� �o�o��� ���� ��o��� � ���� ��%�� � ��+�*�� ������ �������q� ����',� ��� �����,� ���� ,� ���,'�o��-� , ���, ��� ,� � � �o� #��� �� �//4��0� �&�� ?���� ��� ���, ������� � �,��� ��o��� ,����o�� ������,q�� ������� �������o��� ������o������"�o��� � ��"� �������,���� q ����������"� �� �'��-� ���� ��o�������� ������,�$%�� �����"�o��o�-.���o'�1///4� ���������)�.����o��)�����, � � �� �� ����o�',� �� ,� ������o� �o��,���� �� o�� �o�-�o��-��� o.��+����� ����"������� q�-����������.���� � ��� ��%��������� ����o�'����� ������o�� � ���'����+ ���,��,��� o� � ��,'������ �� �,����o����� �o���"�$%�� ��o�������"� o� ���-(� ���"��o��� �� "��%�� � ��+�*� ������,� � � � �����,q� ,��������� � ��o�o�+� ����� , ���� ��,�� ��o���,����))�-�������� �"������� ���o �, �o��� �����+����o�� ���',)�-�������� ��� � � ��@ � �o �������,���������� ��o�o��o+��o����o���+� � ���"��������o� ��.��)q�-���� ���)������"�)����� ��$%��� "����-����o� �oq)������ )��"�� ��,'��-+�*������� )�-+��o���o���+���� �"����'���o� �o��� ���� ��� �o � ���p� �� ��� �,��� ����� ���"��'��������(o�oq��o���������������.������� � � �o �o��� ������������ �� ��,'�������� � q�14÷41+�46% �o��� ��� � ��'��-��o�����*������������+�*���������q�����*,� �� $%����*���)����14 �����o������"����,.��-�p"�o"���r���o� ���o��� �����)� 345678986: 6; 38<=6:3 >6<98:?7 @78:? ?A6B 387>C<D?4 79<E8A8F43 EG =<?:498> ;84A3 H�I� 5JKLMNO� H�4� 7PQNRSMTPKUV� 6�<� 6WJRNO� H�8� ?QTPKTMJ� 8�8� HVQXONPK� GY�<� ETZVYUXO� H�H� EQVU� F�8� IXRYWJNOJ� VK�WTJI�f�Xe�WTU�]��f�HJIZTQX]U�IWQbJ�J�UH�bc�Q�PQ]KUWJZ�̂ JU�H�JI �^^UXUH�̂ �X�QK�QZWJ�QWJ�K��^�f�XeJK]�]QI�̂ �X�WTU�HJQP�KH�Z�QWJK]I +.,/� HU[�IJWJ�K� bc�,-.�PUWT�H�� VW�fQI� IT�fK� Wstu� XWvs wfXvstxVj�jUXWxjX�usj�sfVs�yczjx�wjUXfu{�fU�usj�vWxxjUu�vstUUj| #}cxj� ustU� �//4Y0� �/��R�WQWJ�K� �^� Q� ZOXXUKW� ZTQKKU�� JK� Q PQ]KUWJZ�̂ JU�H�[X��JHUI�WTU�Z�QWJK]I�HU[�IJWJ�K��K��QX]U�IOX^QZUI� STJI� HJIZTQX]U� IZTUPU�TQI� K�W� [XJKZJ[�U� �JPJWQWJ�KI� �^� �., IcKWTUIJI��K�Q�IOX^QZU�P�XU�WTQK������ZP �fJWT�TJ]T�.,�]X�fWT XQWU��STUXU�JI�K��K�WJZUQb�U��OQKWJWc��^�JP[OXJWJUI�ZQOIUH�bc WTU�ZQWT�HU�I[OWWUXJK]�JK�WTU�IWOHJUH�HJIZTQX]U� STU�KOZ�UQWJ�K�[X�ZUII �IWXOZWOXU�QKH�IWXUII��^�[��cZXcIWQ��JKU .,�HU[�IJWUH��K�P��cbHUKOP�QKH� WOK]IWUK� IObIWXQWUI�fUXU JK�UIWJ]QWUH��VW�fQI�IT�fK�WTQW�^�XPQWJ�K��^�ZQXbJHUI�[XUZUHUI WTU�HJQP�KH�IcKWTUIJI �P�XU��UX �ZQXbJHUI�QXU�̂ �XPUH��K�]XQJK b�XHUXI��^��WTU�IObIWXQWU�PQWUXJQ� �fTUXU�WTUK�WTU�HJQP�KH�KOZ�UJ Q[[UQX��YQWUX�WTU�ZQXbJHJ�QWJ�K�[X�ZUII�QKH�QZZ�XHJK]�c�HJQP�KH Z�QWJK]�]X�fWT�I[XUQHI���UX�fT��U�]XQJK�IOX^QZU��STU�HJQP�KH Z�QWJK]� TQI� Z�P[XUIIJ�K� IWXUII� QXJIJK]� Q[[QXUKW�c� HOXJK]� JWI Z���JK]� W�� X��P� WUP[UXQWOXU� bUZQOIU� �^� WTUXPQ�� U_[QKIJ�K Z�U^^JZJUKW�HJ^^UXUKZU��^�HJQP�KH�QKH�IObIWXQWU��STU�IWXUII��Q�OU JI� �÷� 10��Q� QKH�fUQe�c� HU[UKHI� �K� Z�QWJK]� WTJZeKUII� WTQW Q���fI�W��XUQ�J�U�HU[�IJWJ�K��^�WTJZe�Z�QWJK]I�O[�W���0PP�fJWT�OW JWI�HU�QPJKQWJ�K��^X�P�WTU�IObIWXQWU�
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101839
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-11-25T20:49:12Z
publishDate 2003
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Пашнев, В.К
Стрельницкий, В.Е.
Опалев, О.А.
Грицына, В.И.
Выровец, И.И.
Бизюков, Ю.А.
Брык, В.В.
Колупаева, З.И.
2016-06-08T10:50:10Z
2016-06-08T10:50:10Z
2003
Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101839
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
Article
published earlier
spellingShingle Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
Пашнев, В.К
Стрельницкий, В.Е.
Опалев, О.А.
Грицына, В.И.
Выровец, И.И.
Бизюков, Ю.А.
Брык, В.В.
Колупаева, З.И.
title Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
title_full Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
title_fullStr Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
title_full_unstemmed Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
title_short Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
title_sort осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101839
work_keys_str_mv AT pašnevvk osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem
AT strelʹnickiive osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem
AT opalevoa osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem
AT gricynavi osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem
AT vyrovecii osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem
AT bizûkovûa osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem
AT brykvv osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem
AT kolupaevazi osaždeniealmaznyhpokrytiisispolʹzovaniemtleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolem