Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2003
• Hauptverfasser: Пашнев, В.К, Стрельницкий, В.Е., Опалев, О.А., Грицына, В.И., Выровец, И.И., Бизюков, Ю.А., Брык, В.В., Колупаева, З.И.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101839
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.