Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2003
Автори: Guglya, A., Virich, V., Styervoyedov, A., Silkin, M.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101840
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition / A. Guglya, V. Virich, A. Styervoyedov, M. Silkin // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 56-58. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859665155891134464
author Guglya, A.
Virich, V.
Styervoyedov, A.
Silkin, M.
author_facet Guglya, A.
Virich, V.
Styervoyedov, A.
Silkin, M.
citation_txt Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition / A. Guglya, V. Virich, A. Styervoyedov, M. Silkin // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 56-58. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
first_indexed 2025-11-30T10:34:30Z
format Article
fulltext ������������� � ��� � ���� ����� ��������� ������� ������������ ���������� ���� �!"������#�$"���%�����&!� � '%��$ �!�� !"��$��$�!���$�(�!���#�$"�$ ! ��(�(��� !�!���$���)!(�* �+�' �(�,���"$���!$���������!� �"�(!,!%$�!����-�(���!�� !"��$��$�!������%� �$�,��"$�!����,�)���*(�������(�(! * ��%$��� ��'%�'�� � $�(� �&��&$�!�� � !�� ����"$���!$�� '�* ,$%�� �$+�� � (�,!�!�&� ����$�!��$�� %�$�$%���! �!% � �,� ��� ���('%��!������,'�'����$.� ���$%���-�(���!���#�$"�$ ! �* �(�(��� !�!���!���� !���$��"�"!/!�&��,�����%��(�� !�& "$���!$��)!��� '# ��$����$��!%���$.� ���$%��('�!�&� !"'�* �$���' �#�"#$�("����#+�!�� �)!�������&!� ��,� ����$� ��� �.�0� -�(��� %������!��$�� %��(!�!�� ��,� ������� ���� ��%�* ����&+���$�!1$�!���2������� '����,��� !('$��&$ � �!��)��. %�$"#���! �����*��3�����*���$4�!��*!�('%�(���+ !%$�*%��"* !%$��!����$%�!������%� � �#��)������ !('$��&$ � �$�(� '#* ��$��� '�,$%��$���$���5����#�$!��(��� '�� ��,�����!���!"* ��$��$�!��� $�(� !��� #�$"� $ ! ��(� (��� !�!��� 2�6784 ��)�(�$��! !#���!�%��$ ���,�%$�#���$�(��/+&���!��(���* !�!���,!�" �� ��%!$��+�!�� '�,$%���$+�� �$�(�"!/�(�$��$ #��)����%�$�!�&�$�(� '# ��$��� 9� :���'%��&$ � �#�!�& '�(��� !���� !��� !��$(!$�!���)!��� ,��"� %$�#!(� � $�(��/* !(� � $�(� ��)!��� �/����'�%�������$#��� !�,�'��%����� ��� �������!� ��,�����('%�(�,!�" � ;���"!'"�! �������� ��%�!���"$���!$��,���)�$�*�$�( %���� !��*�� ! �$��� %�$�!�& ��<�������� !(� � !�� $%�!���+ !����$%� �)!���&$ �!"�'�!�!� ���� �$������(� !&�!�&��,�%���* "!'"*#$ �(� %�$�!�& � ���� �'(+� �,� ���� $%%'"'�$�!�& "�%�$�! " ��,� '%�����"��� �$ ��/+&�� �%$�#���$�(��!* ���&��� !��(��� !��(�"$���!$��('�!�&��!���&��� !���#�$" #�"#$�(!�&�! �$��!"����$������#��"� 5����'��� ���,� ��! � �� �$�%��)$ � ��� �'(+�< �; �� $("!/�'��� (! ��!#'�!��� �,� ���� %���"!'"� ,!�"��#�$!��( #+� ���� �678�"����(���� ���� $�'"!�!'"� '# ��$��� $�( $� ��!� �(! ��!#'�!���!������%���"!'"*$�'"!�!'"�"!/�( $��$�)!����������%'���!���&���!��$(!$�!����,����� '# ��$��� � ��� �� ������� ��� �/���!"��� ��$���#����%$��!�(��'��$������!� �$��$�!����, !���#�$"�$ ! ��(�(��� !�!���=7�&�*�>� 9�:��;���"!'" )!�������??�?@��'�!�+�)$ ���$���$��(�#+����%����*#�$" ��$���$����'�(���%��(!�!�� ��,� !"'��$���' �#�"#$�(* !�&�)!������.�0��!���&��� !�� �$�(� !���%'������(�� !�+ ��A7B%" ��5���(��� !�!��� �$���)$ � #��)��������*��� �"B �%��5��� '# ��$�����"���$�'���)$ ������;��7�'"!�* !'"�)!��� ����??�??���'�!�+�)$ �%�� ���$ � $� '# ��$��� 5��� '# ��$��� '�,$%��)$ � "�����(�)!����(!$"��(��$ �� $�(����������%�*�����! ��(� 5��!��� �!&$�������!�,�'��%���,��������%'��!���!"��$�* �$�!��� ��� $� %�"������� ��'%�'��� �,� ���� (!,,' !��� �$+�� #��)����%�$�!�&�$�(� '# ��$��� �"���,� ��%!"�� �)��� !��$(!$��(�#�,����(��� !�!���#+��!���&���!�� �)!�������* &+� ��� .�0� $�� ����;� ��� ���� !"��$��$�!��� (�1�� �������C !��B%" ��5���)��.!�&��$%''"�)$ �����*D��$�' !�&��!�* ,�����'"�!�&��E'!�"�����8'�!�&��������%� �$���'��!�& ���!��� �'�%���$%''"�)$ �D���*���$�('����������!���&�� �/�$� !���!������(! %�$�&��%�$"#��� 5���,!�"� ��'%�'���$�(�%�"�������%�"�� !�!���)$ $�$�+ �(�' !�&����� �%��($�+�!���"$ * ��%���"���+�$�( 7'&��� ��%��� %��+��5��� �$����,�%���"!'"�%�$�!�&�)$ �'(!�(�)!������� %$��!�&��'�����!�&�"!%�� %��+� �� ��� � ��� �� ����� �������� ������ �� ���������� 5����� '�� ��,�7'&��� ��%��� %��!%�$�$�+ ! ��,�����$�'* "!�!'"� '�,$%��$��$�����"�)!(��!��$(!$��(�#+��!���&�� !�� �$��� ��)��!��F!&��$��<���%$�� �� ���$��!,�����%$�#�� %��%����$�!��� !&�!,!%$���+�(�%��$ � �$���$(+��������,!� � �* ��" � ������/+&���������$�� �(����+� !��#!&�$"�'��� 5��� !�%��$ �� �,� �!���&��� %��%����$�!���)!��� ���� (���� "$!��+�%���� ���( � ��� ���� !�!�!$���$�� ��,� �$��(�%'��� (� %�!#!�&�!� �(! ��!#'�!���!��$�'"!�!'"� '# ��$���9D:� ����! �.��)����$������"$!�����%� � ��$.!�&���$%���� ����"��$�� '�,$%��#�"#$�(�(�#+��!&��*�����&+���$�+�!�� $��� '# ��$��� �'����!�& �$( ����!����,�&$ �"���%'�� �,��" ��"$!�!�&�$�"� ������!���$%''"�%�$"#�� ����!��(! �* %!$�!��� $�(�(!,,' !��� !���� %�+ �$�� �$��!%�� #�%$' ���,� !� (!�$�$�!���$�(��$(!$�!��*$ ! ��(����%� � �9�:��5���%��* ���$�!���#��)����E'$��!�+��,�$( ��#�(�"���%'�� ��,��/+* &���$�(�%$�#���! �(����"!��(�"$!��+�#+������+����,�' �( "�$� ��,��!&�*�$%''"��'"�!�&��E'!�"���������'��%$ � ����' ���,��!�*,�����'"�*(�)��(����"!��(���)�%������ �,� %$�#����G$!�� �'�%� � �,� �/+&��� !�� $�'"!�!'"� $�� "���%'�� ��,�H < �< �;< �)�!%���$�����)�(! �%!$�!�� ����&!� �3�D� �� �$�(�@ �.%$�B"����$%%��(!�&�+�9�:��5�� (! �%!$�!�������&+��,��!���&���"���%'�� �! � �����.%$�B "��� � �����,���� ���!��������$�!���!����$�'"!�!'"�$�� ��� &!������"���$�'���2����;4�! ��� !#������+�#+�!���#�"* #$�("���� �������� '�,$%��$��$��,�%���"!'"�,!�"�(��� !��(����� $�'"!�!'"�)!��� �!���&��� !��� #�$"�$ ! �!�& � ���� �/+* &���$�(�%$�#���(! ��!#'�!��� ! �E'$��!�$�!���+� !"!�$�� �� ���� ��)��!��F!&��#��5���,�$�'����,�����(���(�$("!/�'�� (! ��!#'�!���!��(��� !��(�%���"!'"�! ������$�&��%������ �,�%$�#���$�(���)�%��������,��/+&���$�(��!���&����5�� �/��$�$�!����,���)�%��������,��!���&����! ���$��!���#�$" $ ! ��(�(��� !�!����$.� ���$%��)�!������ ����"����(��, -8;���?�� ��@��DI��?��D��D� ������������������� ������ ���������� ���������������� ����� ���� �� ���������� �� ����� ��� �������� ����������������� !��� ���"�#�$%�#&%$'���������(�)' ��������� ��� ������ ��=��� ������������������������� �������� �������� J������� ���������� ������������� ���� ���� �! � ����" K�%�!��(��?�� � ��� 5����$������� ��� ����� �'(+��� '�� ��,�!���� �!�!$��!"�'�!�!� � '%��$ �%$�#���2;4 ��/+&���2<4�$�(��!���&���2�4�!����;� %�$�!�&�,��"�(����$�'"!�!'"� '# ��$���$��������"���$�'�������;�'�(���%��(!�!�� ��,� !"'��$���' �%���"!'"�(��� !* �!���$�(�!� �#�"#$�(!�&�)!����!���&���!�� ��,����.�0�����&+����� ! � ��)����$��%$�#���(�� �L��������$��� � !����%�$�!�& (��������$���* ��"��</+&���! �"����$%�!���$�(�������$�� �!����%�$�!�&�(��������$��2����"4������!"!�$�+�#�"#$�("��� �,� ���� $�'"!�!'"� '# ��$���#+��!���&��� !�� �#�,���� %�$�!�&�(��� !�!��� ���(�1��� �⋅���C�!��B%" � ��$( � ��� %�� !(��$#�� $�'�$�!���#+��/+&��������#+�%$�#����5����/+&���%�������!��$�'"!�!'"�(�%��$ � �$�(�#�%�"� �!(���!%$��)!���!� �(! ��!* #'�!���!��%���"!'"�%�$�!�&�$,����%���"!'"�%�$�!�&�(��� !�!����5���%$�#���%�������!��$�'"!�!'"�$,����%�$�!�&�(��� !* �!���#�%�"� �"����!�%��$ �(���$�������/+&���%������ ������������� � ��� � ���� ����� ��������� ����� �� M4 F!&�����7'&��� ��%��� %��!%�$�$�+ ! ��,�!���� �!�!$��!"�'�!�!� �,���,!� ���� �"��,�����(�������$4��7���$ �!��$(!$��(��)!����N�!�� ����+ �#4�(��� !��(�;� ,!�"�'�(��� !"'��$���' ��N�!���#�"#$�("��� #4 �!����5���%�$�!�&�)$ � �'�����(�#+�$�&���!�� �)!�������* &+��,� �� .�0��7��� ��!%.�� � �,� %���"!'"�%�$�!�&� 2��� �"4�$�(�$�'"!�!'"� '# ��$���� '#O�%��(�����!���&���!�� #�$"�#�"#$�("����)$ � !��� �!&$��(��5���(! ��!#'�!�� �,��/+&���$�(�%$�#��� ! � ��)�� !�� ����F!&� $� 2)!���'� ����!"!�$�+� �!���&��� !��� ���%� !�&4� $�(�F!&� #� 2)!�� ����!"!�$�+����%� !�&4� <���%$�� �����$��< �; � (! ��!#'�!���!������ '�,$%���$+* ���! � !"!�$���������� '�� ��,�7'&��� ��%��� %��+��H�)��* �� �!��! � ������$������%$�#���%�������!�%��$ � �!����$� !* �!��� 1���� %�$�!�&* '# ��$����7 � $� �� '�� � '��!.�� ($�$ ��)��!������F!&���!��$�'"!�!'"� '# ��$���������(�"!* �$�� �%$�#���#'�������/+&����</+&���%�������!��$���1��� %�$�!�&* '# ��$���! �$����/!"$���+����� $"�� ��) �)��(��L���$������'&��%���!�%!�&��/��$�$�!�� �,���! ��,,�%������! ���%� $�+����"$.��$((!�!��$��!��� �!* &$�!�� ������'��%$ ������%$�#�������$� ��!� �����$�'"!�* !'"� '�,$%��('�!�&�����%���"!'"�(��� !�!���$�(�(!,,' * � �(����!���� '# ��$���$ �$��� '����,�$ ! ��(�!��$(!$�!��� �7� � �!��)$ �!����� �!�&����!��� �!&$���$�(�&�����,���� '�,$%����'&��� ��#�$!��(�'�(���!���#�$"�$ ! ��(�(��* � !�!����5���(!,,����%��#��)������! �"����(�$�(�"$�+ ��$ "$���%�����&!� �! �����$# ��%���,�����(����%�"��* �����!������%��(�� �(�"$���!$��,��)���55����+�!%$�����!�, �,� %���"!'"� %�$�!�&� (��� !��(� ��� ���� $�'"!�!'"�#+ �678� ��%�����&+� $�(��#�$!��(�)!��� ���� ' �� �,�7FGB �5G�,���-H0�$���!%$�!�� �,��"�<"!%����;�"�$�+�! ��)�����F!&�����G�$ '��"��� �%$��!�(��'���������$�� �,� (!,,������ ��%!"�� � ��)�(� ��$�� $���$&�(� �$�'�� �, ��'&��� � ! ����"��5�! ��� '��� ! � �+�!%$��,��� �����678 %�$�!�& �9?:� ���� '�,$%��"�(!,!%$�!���$ �%�"�$��(�)!���!���!"��$�* �$�!����-�(��� !���#�$"�$ ! ��(�(��� !�!��� ����%$��'�� �,��/+&���2$�(�%$�#��4�! ��� !#������+�!��$� ������!"� !�����$��$ ����&�$ �����,!�"�(��� !� ������!%.�� � *���"� P�!��� ����#��(����,� %�$�!�&�"��� � ��� ���� ,������,� !�� #�$"���������+��,�!���� �!�!$��!"�'�!�!� �,��"������� !('* $��$�"� ������ ��� �$�(�!� ���(! ��!#'�!���('������$(!$* �!��*���$�%�(�(!,,' !����$.� ���$%�� ��%��($�+�!���"$ * ��%���"���+�)$ �%$��!�(��'���� ����$�'"!�!'"� ��%!"�� �)!������%'���!���&��� !��� !"* ��$��$�!��� ��� (�1�� �������C�!��B%" � $�(�)!���'�� !�� $�( )!�������,����)!�&�%���"!'"�!���#�$"�$ ! ��(�(��� !* M4 F!&�� �5����/+&���$�(�%$�#���(! ��!#'�!���$4�)!���'������!"!�$�+�!�� ���%� !�&Q��#4�)!�������!"!�$�+�!������%� !�& #4 ����������������� !�� ���"�#�$%�#&%$��������(�) ������������� � ��� � ���� ����� ��������� ������@ ���������� <'���/���!"���$���� '�� � ��)�(���$��(��� !�!����,�%���* "!'"�%�$�!�&����$�'"!�!'"�'�(���%��(!�!�� ��,� !"'�* �$���' � !��$(!$�!���#+��!���&��� !�� � �,� ���.�0�����&+ (�� �L�� ��� �! !#��� %�$�!�&� %���$"!�$�!��� #+� !���� �!�!$� !"�'�!�!� �*�< �;��5�� �����"��� �$�����%$��(�!���$���) ��&!����,��*����"���$������%��(�� $��� '�,$%�������!"!* �$�+��!���&���!���#�"#$�("�����,����� '# ��$���#�,��� %�$�!�&�(��� !�!���(! ��(�� �����$�'"!�!'"� '�,$%��$�( ��$( ����"����%�� !(��$#���%���$"!�$�!����,� '�,$%��#+ �/+&����H�)���� �$,����(��� !�!����,�%�$�!�&�!� �%������ !�� '�,$%���$+�����)�� �$�(�#�%�"� ��� ���$������%��* ������,�%$�#��� F!&�����2;�*�4*7���%�"�� !�������!�,��#�$!��(�)!����'�����!�&�"!%�� %���� �*��+� �� � ��� <����,������$'���� ���27����+����+�(��4��$%.��)��(&� R���'���� &�$��� 287784 � ���O�%�*��I�7� B� @D� S)�!%� $���)�(��!"�������,��"�����7���$�(��5G��"�$ '��"��� $�������� �!�'����,���+ !% �$�(���+ !%$��5�%�����&!� ��, ;�$' ��$��5�%��!%$��-�!��� !�+��H��$� ����$�. �������,� 8���0��T�"���� � ���,��8��� ���5��U�$(.!.�� � $�(� � ��� "�"#�� ��,� � ���!�� &��'� � ,��� ���!�� $ ! �$�%��)!��� ��� "�$ '��"��� �$�(�,��� �!"'�$�!�&�(! %' !�� � 5����$����,���! �)��.�)$ � '������(�#+��5;-�&�$�� �� ���� � � � �� ������P�!+!�V� �U'$�&+'$��R� �V$)�������7�"!%�� ��'%�'�$��!��� * �!&$�!����,��� ���� �����#+��N�!"��$��$�!���$�(���%�!��!"* ��$��$�!���BB��'%����� ����W�G����������+ ��K� ��*�?@?��*6�?� *������*���� � 6��+!�7�0�����'%�'�$��%�$�&� � !�� �!�$�!'"��!��!(��%�$�!�& ���%� �(�#+�!���#�"#$�("���BB�-KF7;���X�+ !% �%��* "! ��+ �"�%�$�!% ��3�?@?��3�������3Y��� @*�����2!��K' !$�4 �� U'&�+$�7� �G$�%���.��V� � ���'������ 5�%�����&+� $�( �E'!�"�����,��!&������&+�!���#�$"�$ ! ��(����%� !�&��, "$���!$� �BB�G��$��'�&!%$���%!��%��$�(�5���"$�����%� !�& �,�G��$����*�??����*�����Y�� ?*����2!���K' !$�4 D� U'&�+$�7� �G$�+.�!��8� �G$�%���.���� ���.�'(������G��* ��(!%$��$ ��%� ��,� ,��"$�!����,� �)�*%�"�������"$���!$� )!���' ���,�!���#�$"�$ ! ��(���%�����&+�BB�G��$���%!��%� $�(�������)� ��5�%�����&!� �* �� ��*Z�� D����?���3Y��� ?�* ���D��2!��K' !$�4 �� F$�.$ �8� ��!�&��� �� �K$�&$ )$"+�G��G�(��!�&��,��!&� ,�'��%��5!� !��� !"��$��$�!���$�(��$%''"�%$�#'�!1$�!��� !� �����BB�[��7�������+ ��*�?@���*�C2D4 �*�� �*������D*�� �� �� T�&$��0� ���"����.��V� ����!'&!��7��������$�� ��� � �!� ���� %���"!'"�%��(�� $�� � �#�$!��(� !�� �$�!�' � �$%''" %��(!�!�� �� BB� ��+ !% � $�(� ;��"! ��+� �,� G$���!$� ���%� !�&�3�?@���3��D��*Y��@�*@���2!��K' !$�4 C� T!� $����0� �U$���0� �V'(!��<�����'%�'����,� �$%��(! ��!* #'�!���%$�%'�$�!����,��$%$�%+�%�' ��� �!���"��$� �!��$(!$��( )!���$� ���$"��,�$%%����$��(�!�� �BB�\'� �!�� ��,�$��'%��$� �%!��%��$�(�5�%��!% ����+ !% ��,� �$(!$�!���($"$&� �$�( �$(!$�!���"$���!���&+��*�?@���*��B����*Y� @*����2!��K' !$�4 @� U'&�+$�7� �G$�%���.�� �� �G$�+.�!��8� ���.�'(��� ��� ���('%�!����,�;�*��,!�" �#+�����!���#�$"*$ ! ��(�(��� !�!�� ��%�����&+I��/���!"����$�(�%�"�'���� !"'�$�!���BB��'�,$%� $�(�;�$�!�&�5�%�����&+��3 ��� �3���D*�����3��� @�* ? � ?� G$�;�H� �H'$�&� [�H� � ;����H��7� �'(+� �,� ���,����( ��!���$�!��� �,� �$�$(!'"� �!��!(�� $�(� 1!�%��!'"� �!��!(� %�$�!�& ���� !�!%�������$��(�#+�!���#�$"�$ ! ��(�(��� !�!�� BB��'�,$%��$�(�;�$�!�&�5�%�����&+�3 �����3�����*��D��3 ��� @?* ?D� ����������� �� � �������� � ���������� � �������� �� �� �� ��� � �� �� �� �� � ������� ��������� ��������� ��� � �������� ���� ���� �� ��� ��� ������������������� ������ ����������� ��� � � �� �� ������ ��� ����� ������� ������ ������ !"#���������$%&'�� � ���()%*+),+*�� �-���$".$/ �]^_` Mab^c��]^debf M g�_�`bh_i^cf�]�dj�_hbe� _��hk�l aj]�aM_i^ccm�a�jbhalMn�n]��e��� ]g�Mcgn��^ �_���h�cc�* ` g�ebf�aMc�o�� �`M_i^ccm�� p]�� � qg` � �r� ?? ?@ �`M_ieaMa`m� cM� Mbr�hchsae� jh_lbM_le� _�� �atgcg ���÷���c� � j]g�kag_l�` h� �`M_i^ccm� ����*���� c�B`^l ^c^]ohu�jeqlM�M`g` erqgn��N�h�cha�#�� ���l^v �thbfc�` h �le� O� w� ���lMB`� � ^�j^]M e]h� jh_lbM_lg�Z�w� ��� �Y� �bhalg�cMjgbraMbg`m�cM�qg` e�7��jh_lbM_le�27��qg` � �r ??�??�4��h�j�j^]^_cf���x]�xb^ce��N�h�cM�g�_��_�dg�� �⋅���C h�cB`� ����lMdMc� �t��aeob^yf�c^�j�kg]rs f`m�a`^]^_gce j�l]g m� _Mbh � chi�cM� �* � c���zg`^cf� xhbfk� Ml gacg{� h j]�cglMs�a�j�l]g m�obgxk^����c�����j^]^_cm�h�jbMc Myhm �N� e�7�� jh_lbM_le� _�� _�dg� � �⋅���C� h�cB`� �j]ga�_g f� _� dcMqc�o�� cM`gq^ccm� {�o�� lg`c^�� h � e��^ck��e� ` ej^ch aeob^y^����h`bm� cMc^`^ccm� n]��e� lhbflh` f� lg`cr� a�7� dcgies f`m�h�̀ Ms��_cMl�ag��d�{�o��]�dj�_hb���e�n]���a��e j�l]g h��zhbflh` f�aeob^yr�a�7��jh`bm�cMc^`^ccm�j�l]g m cMajMlg�` Ms�xhbfkg� �chi�lhbflh` f�lg`cr� � ��������������� ���������������� ��� ��� �����0���������1 � � ������������ ��� �� �� �� ������� ��� ������ �������� ������ ����� !"#��������&%&'�� �����(2%*+2,+*�� �-���&".&/ �]^_` Mab^c|� ]^debf M |� g``b^_�aMcg{� ]M`j]^_^b^cgm j]g�^`^{� ac^_]^cgm� a� jb^clMn� n]��M � � j�beq^cc|n �^ �_��� g�cc�*` g�ebg]�aMcc�o�� �`Mi_^cgm�� p]�� qg` � �{�?? ?@ ��`Mi_Mb`m�cM�Mbr�gcg^aer�j�_b�ile�_� �btgc|����÷����c� �j]g�̀ l�]�` g��`Mi_^cgm�����*����c�B `^l �}c^]ogg�jeqlM�M``g` g]ertgn��N�g�c�a�# � ���l}v jb� c�` g� �lM�O�w� ���l~B`� ��g� ^�j^]M e]^�j�_b�ilg�Z w������Y���b^clg�cMj|bmbg`f�cM�qg` er�7��j�_b�ile�27� qg` � �{� ??�??�4� � g� j]^_aM]g ^bfc�� �x]Mx� Mccer��N g�cM�g�_��_�d|�� �⋅���C�g�cB`� ����lMdMc� �q ��eob^]�_�c^ ]M`j]�` ]Mcm^ `m�aobexf�j�l]| gm�_Mbfk^ �q^��cM��* �c�� zg`b�]�_�x�b^^�Ml ga^c�g�j]�cglM^ �a�j�l]| g^�obexi^ ���c����]^_aM]g ^bfcMm�g�jbMc Mygm��N�a�7��j�_b�ile�_� _�d|� � �⋅���C� g�cB`� � j]ga�_g � l� dcMqg ^bfc��e cM`|t^cgr� ^o�� lg`b�]�_��� g � a� �^cfk^{� ` ^j^cg eob^]�_������`b^�cMc^`^cgm�n]��M�`�_^]iMcg^�lg`b�]�_M a� 7�� `cgiM^ `m� g� ` Mc�ag `m� �_gcMl�a|�� `� ^o� ]M`j]^_^b^cg^�� a� n]���a��� j�l]| gg�� Y�_^]iMcg^ eob^]�_M� a� 7�� j�`b^� cMc^`^cgm� j�l]| gm� cM�x�]� ` Mc�ag `m�x�bfkg� �q^��`�_^]iMcg^�lg`b�]�_M� � D � � �����" ��������" �������������" ������������" ������������" �������������" ��������" � �� ��� ��� � " ������" �������" �������" �����������" �����������"
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101840
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language English
last_indexed 2025-11-30T10:34:30Z
publishDate 2003
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Guglya, A.
Virich, V.
Styervoyedov, A.
Silkin, M.
2016-06-08T10:52:09Z
2016-06-08T10:52:09Z
2003
Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition / A. Guglya, V. Virich, A. Styervoyedov, M. Silkin // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 56-58. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101840
en
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
Article
published earlier
spellingShingle Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
Guglya, A.
Virich, V.
Styervoyedov, A.
Silkin, M.
title Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
title_full Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
title_fullStr Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
title_full_unstemmed Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
title_short Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
title_sort distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101840
work_keys_str_mv AT guglyaa distributionofinterstitialimpuritiesinchromiumcoatingobtainedbyionbeamassisteddeposition
AT virichv distributionofinterstitialimpuritiesinchromiumcoatingobtainedbyionbeamassisteddeposition
AT styervoyedova distributionofinterstitialimpuritiesinchromiumcoatingobtainedbyionbeamassisteddeposition
AT silkinm distributionofinterstitialimpuritiesinchromiumcoatingobtainedbyionbeamassisteddeposition