Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101840 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition / A. Guglya, V. Virich, A. Styervoyedov, M. Silkin // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 56-58. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859665155891134464 |
|---|---|
| author | Guglya, A. Virich, V. Styervoyedov, A. Silkin, M. |
| author_facet | Guglya, A. Virich, V. Styervoyedov, A. Silkin, M. |
| citation_txt | Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition / A. Guglya, V. Virich, A. Styervoyedov, M. Silkin // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 56-58. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| first_indexed | 2025-11-30T10:34:30Z |
| format | Article |
| fulltext |
������������� �
��� �
���� ����� ��������� �������
������������
���������� ���� �!"������#�$"���%�����&!� � '%��$ �!��
!"��$��$�!���$�(�!���#�$"�$ ! ��(�(��� !�!���$���)!(�*
�+�' �(�,���"$���!$���������!� �"�(!,!%$�!����-�(���!��
!"��$��$�!������%� �$�,��"$�!����,�)���*(�������(�(! *
��%$��� ��'%�'�� � $�(� �&��&$�!�� � !�� ����"$���!$�� '�*
,$%�� �$+�� � (�,!�!�&� ����$�!��$�� %�$�$%���! �!% � �,� ���
���('%��!������,'�'����$.� ���$%���-�(���!���#�$"�$ ! �*
�(�(��� !�!���!���� !���$��"�"!/!�&��,�����%��(�� !�&
"$���!$��)!��� '# ��$����$��!%���$.� ���$%��('�!�&� !"'�*
�$���' �#�"#$�("����#+�!�� �)!�������&!� ��,� ����$�
��� �.�0�
-�(��� %������!��$�� %��(!�!�� ��,� ������� ���� ��%�*
����&+���$�!1$�!���2������� '����,��� !('$��&$ � �!��)��.
%�$"#���! �����*��3�����*���$4�!��*!�('%�(���+ !%$�*%��"*
!%$��!����$%�!������%� � �#��)������ !('$��&$ � �$�(� '#*
��$��� '�,$%��$���$���5����#�$!��(��� '�� ��,�����!���!"*
��$��$�!��� $�(� !��� #�$"� $ ! ��(� (��� !�!��� 2�6784
��)�(�$��! !#���!�%��$ ���,�%$�#���$�(��/+&���!��(���*
!�!���,!�" �� ��%!$��+�!�� '�,$%���$+�� �$�(�"!/�(�$��$
#��)����%�$�!�&�$�(� '# ��$��� 9�
:���'%��&$ � �#�!�&
'�(��� !���� !��� !��$(!$�!���)!��� ,��"� %$�#!(� � $�(��/*
!(� � $�(� ��)!��� �/����'�%�������$#��� !�,�'��%����� ���
�������!� ��,�����('%�(�,!�" �
;���"!'"�! �������� ��%�!���"$���!$��,���)�$�*�$�(
%���� !��*�� ! �$��� %�$�!�& ��<�������� !(� � !�� $%�!���+
!����$%� �)!���&$ �!"�'�!�!� ���� �$������(� !&�!�&��,�%���*
"!'"*#$ �(� %�$�!�& � ���� �'(+� �,� ���� $%%'"'�$�!�&
"�%�$�! " ��,� '%�����"��� �$ ��/+&�� �%$�#���$�(��!*
���&��� !��(��� !��(�"$���!$��('�!�&��!���&��� !���#�$"
#�"#$�(!�&�! �$��!"����$������#��"�
5����'��� ���,� ��! � �� �$�%��)$ � ��� �'(+�< �; ��
$("!/�'��� (! ��!#'�!��� �,� ���� %���"!'"� ,!�"��#�$!��(
#+� ���� �678�"����(���� ���� $�'"!�!'"� '# ��$��� $�(
$� ��!� �(! ��!#'�!���!������%���"!'"*$�'"!�!'"�"!/�(
$��$�)!����������%'���!���&���!��$(!$�!����,����� '# ��$���
� ��� ��
������� ���
�/���!"��� ��$���#����%$��!�(��'��$������!� �$��$�!����,
!���#�$"�$ ! ��(�(��� !�!���=7�&�*�>� 9�:��;���"!'"
)!�������??�?@��'�!�+�)$ ���$���$��(�#+����%����*#�$"
��$���$����'�(���%��(!�!�� ��,� !"'��$���' �#�"#$�(*
!�&�)!������.�0��!���&��� !�� �$�(� !���%'������(�� !�+
��A7B%"
��5���(��� !�!��� �$���)$ � #��)��������*���
�"B �%��5��� '# ��$�����"���$�'���)$ ������;��7�'"!�*
!'"�)!��� ����??�??���'�!�+�)$ �%�� ���$ � $� '# ��$���
5��� '# ��$��� '�,$%��)$ � "�����(�)!����(!$"��(��$ ��
$�(����������%�*�����! ��(�
5��!��� �!&$�������!�,�'��%���,��������%'��!���!"��$�*
�$�!��� ��� $� %�"������� ��'%�'��� �,� ���� (!,,' !��� �$+��
#��)����%�$�!�&�$�(� '# ��$��� �"���,� ��%!"�� �)���
!��$(!$��(�#�,����(��� !�!���#+��!���&���!�� �)!�������*
&+� ��� .�0� $�� ����;� ��� ���� !"��$��$�!��� (�1�� �������C
!��B%"
��5���)��.!�&��$%''"�)$ �����*D��$�' !�&��!�*
,�����'"�!�&��E'!�"�����8'�!�&��������%� �$���'��!�&
���!��� �'�%���$%''"�)$ �D���*���$�('����������!���&��
�/�$� !���!������(! %�$�&��%�$"#���
5���,!�"� ��'%�'���$�(�%�"�������%�"�� !�!���)$
$�$�+ �(�' !�&����� �%��($�+�!���"$ * ��%���"���+�$�(
7'&��� ��%��� %��+��5��� �$����,�%���"!'"�%�$�!�&�)$
�'(!�(�)!������� %$��!�&��'�����!�&�"!%�� %��+�
�� ���
� ��� ��
����� ��������
������ ��
����������
5����� '�� ��,�7'&��� ��%��� %��!%�$�$�+ ! ��,�����$�'*
"!�!'"� '�,$%��$��$�����"�)!(��!��$(!$��(�#+��!���&��
!�� �$��� ��)��!��F!&��$��<���%$�� �� ���$��!,�����%$�#��
%��%����$�!��� !&�!,!%$���+�(�%��$ � �$���$(+��������,!� �
�*
��" � ������/+&���������$�� �(����+� !��#!&�$"�'���
5��� !�%��$ �� �,� �!���&��� %��%����$�!���)!��� ���� (����
"$!��+�%���� ���( � ��� ���� !�!�!$���$�� ��,� �$��(�%'���
(� %�!#!�&�!� �(! ��!#'�!���!��$�'"!�!'"� '# ��$���9D:�
����! �.��)����$������"$!�����%� � ��$.!�&���$%����
����"��$�� '�,$%��#�"#$�(�(�#+��!&��*�����&+���$�+�!��
$��� '# ��$��� �'����!�& �$( ����!����,�&$ �"���%'�� �,��"
��"$!�!�&�$�"� ������!���$%''"�%�$"#�� ����!��(! �*
%!$�!��� $�(�(!,,' !��� !���� %�+ �$�� �$��!%�� #�%$' ���,� !�
(!�$�$�!���$�(��$(!$�!��*$ ! ��(����%� � �9�:��5���%��*
���$�!���#��)����E'$��!�+��,�$( ��#�(�"���%'�� ��,��/+*
&���$�(�%$�#���! �(����"!��(�"$!��+�#+������+����,�' �(
"�$� ��,��!&�*�$%''"��'"�!�&��E'!�"���������'��%$ �
����' ���,��!�*,�����'"�*(�)��(����"!��(���)�%������
�,� %$�#����G$!�� �'�%� � �,� �/+&��� !�� $�'"!�!'"� $��
"���%'�� ��,�H
< �<
�;< �)�!%���$�����)�(! �%!$�!��
����&!� �3�D� ��
�$�(�@
�.%$�B"����$%%��(!�&�+�9�:��5��
(! �%!$�!�������&+��,��!���&���"���%'�� �! �
�����.%$�B
"��� � �����,���� ���!��������$�!���!����$�'"!�!'"�$�� ���
&!������"���$�'���2����;4�! ��� !#������+�#+�!���#�"*
#$�("����
�������� '�,$%��$��$��,�%���"!'"�,!�"�(��� !��(�����
$�'"!�!'"�)!��� �!���&��� !��� #�$"�$ ! �!�& � ���� �/+*
&���$�(�%$�#���(! ��!#'�!��� ! �E'$��!�$�!���+� !"!�$�� ��
���� ��)��!��F!&��#��5���,�$�'����,�����(���(�$("!/�'��
(! ��!#'�!���!��(��� !��(�%���"!'"�! ������$�&��%������
�,�%$�#���$�(���)�%��������,��/+&���$�(��!���&����5��
�/��$�$�!����,���)�%��������,��!���&����! ���$��!���#�$"
$ ! ��(�(��� !�!����$.� ���$%��)�!������ ����"����(��,
-8;���?��
��@��DI��?��D��D�
������������������� ������
���������� ����������������
�����
����
�� ����������
��
����� ��� ��������
����������������� !���
���"�#�$%�#&%$'���������(�)'
���������
���
������
��=���
�������������������������
��������
��������
J�������
����������
������������� ����
���� �! �
����"
K�%�!��(��?��
�
���
5����$������� ��� ����� �'(+��� '�� ��,�!���� �!�!$��!"�'�!�!� � '%��$ �%$�#���2;4 ��/+&���2<4�$�(��!���&���2�4�!����;�
%�$�!�&�,��"�(����$�'"!�!'"� '# ��$���$��������"���$�'�������;�'�(���%��(!�!�� ��,� !"'��$���' �%���"!'"�(��� !*
�!���$�(�!� �#�"#$�(!�&�)!����!���&���!�� ��,����.�0�����&+����� ! � ��)����$��%$�#���(�� �L��������$��� � !����%�$�!�&
(��������$���*
��"��</+&���! �"����$%�!���$�(�������$�� �!����%�$�!�&�(��������$��2����"4������!"!�$�+�#�"#$�("���
�,� ���� $�'"!�!'"� '# ��$���#+��!���&��� !�� �#�,���� %�$�!�&�(��� !�!��� ���(�1��� �⋅���C�!��B%"
� ��$( � ��� %�� !(��$#��
$�'�$�!���#+��/+&��������#+�%$�#����5����/+&���%�������!��$�'"!�!'"�(�%��$ � �$�(�#�%�"� �!(���!%$��)!���!� �(! ��!*
#'�!���!��%���"!'"�%�$�!�&�$,����%���"!'"�%�$�!�&�(��� !�!����5���%$�#���%�������!��$�'"!�!'"�$,����%�$�!�&�(��� !*
�!���#�%�"� �"����!�%��$ �(���$�������/+&���%������
������������� �
��� �
���� ����� ��������� ����� ��
M4
F!&�����7'&��� ��%��� %��!%�$�$�+ ! ��,�!���� �!�!$��!"�'�!�!� �,���,!� ����
�"��,�����(�������$4��7���$ �!��$(!$��(��)!����N�!�� ����+ �#4�(��� !��(�;�
,!�"�'�(��� !"'��$���' ��N�!���#�"#$�("���
#4
�!����5���%�$�!�&�)$ � �'�����(�#+�$�&���!�� �)!�������*
&+��,� �� .�0��7��� ��!%.�� � �,� %���"!'"�%�$�!�&� 2���
�"4�$�(�$�'"!�!'"� '# ��$���� '#O�%��(�����!���&���!��
#�$"�#�"#$�("����)$ � !��� �!&$��(��5���(! ��!#'�!��
�,��/+&���$�(�%$�#��� ! � ��)�� !�� ����F!&�
$� 2)!���'�
����!"!�$�+� �!���&��� !��� ���%� !�&4� $�(�F!&�
#� 2)!��
����!"!�$�+����%� !�&4�
<���%$�� �����$��< �;
�
(! ��!#'�!���!������ '�,$%���$+*
���! � !"!�$���������� '�� ��,�7'&��� ��%��� %��+��H�)��*
�� �!��! � ������$������%$�#���%�������!�%��$ � �!����$� !*
�!��� 1���� %�$�!�&* '# ��$����7 � $� �� '�� � '��!.�� ($�$
��)��!������F!&���!��$�'"!�!'"� '# ��$���������(�"!*
�$�� �%$�#���#'�������/+&����</+&���%�������!��$���1���
%�$�!�&* '# ��$���! �$����/!"$���+����� $"��
��) �)��(��L���$������'&��%���!�%!�&��/��$�$�!��
�,���! ��,,�%������! ���%� $�+����"$.��$((!�!��$��!��� �!*
&$�!�� ������'��%$ ������%$�#�������$� ��!� �����$�'"!�*
!'"� '�,$%��('�!�&�����%���"!'"�(��� !�!���$�(�(!,,' *
� �(����!���� '# ��$���$ �$��� '����,�$ ! ��(�!��$(!$�!���
�7� � �!��)$ �!����� �!�&����!��� �!&$���$�(�&�����,����
'�,$%����'&��� ��#�$!��(�'�(���!���#�$"�$ ! ��(�(��*
� !�!����5���(!,,����%��#��)������! �"����(�$�(�"$�+
��$ "$���%�����&!� �! �����$# ��%���,�����(����%�"��*
�����!������%��(�� �(�"$���!$��,��)���55����+�!%$�����!�,
�,� %���"!'"� %�$�!�&� (��� !��(� ��� ���� $�'"!�!'"�#+
�678� ��%�����&+� $�(��#�$!��(�)!��� ���� ' �� �,�7FGB
�5G�,���-H0�$���!%$�!�� �,��"�<"!%����;�"�$�+�!
��)�����F!&�����G�$ '��"��� �%$��!�(��'���������$��
�,� (!,,������ ��%!"�� � ��)�(� ��$�� $���$&�(� �$�'�� �,
��'&��� � ! ����"��5�! ��� '��� ! � �+�!%$��,��� �����678
%�$�!�& �9?:�
���� '�,$%��"�(!,!%$�!���$ �%�"�$��(�)!���!���!"��$�*
�$�!����-�(��� !���#�$"�$ ! ��(�(��� !�!��� ����%$��'��
�,��/+&���2$�(�%$�#��4�! ��� !#������+�!��$� ������!"�
!�����$��$ ����&�$ �����,!�"�(��� !� ������!%.�� �
*���"�
P�!��� ����#��(����,� %�$�!�&�"��� � ��� ���� ,������,� !��
#�$"���������+��,�!���� �!�!$��!"�'�!�!� �,��"������� !('*
$��$�"� ������ ��� �$�(�!� ���(! ��!#'�!���('������$(!$*
�!��*���$�%�(�(!,,' !����$.� ���$%��
��%��($�+�!���"$ * ��%���"���+�)$ �%$��!�(��'����
����$�'"!�!'"� ��%!"�� �)!������%'���!���&��� !��� !"*
��$��$�!��� ��� (�1�� �������C�!��B%"
� $�(�)!���'�� !�� $�(
)!�������,����)!�&�%���"!'"�!���#�$"�$ ! ��(�(��� !*
M4
F!&��
�5����/+&���$�(�%$�#���(! ��!#'�!���$4�)!���'������!"!�$�+�!��
���%� !�&Q��#4�)!�������!"!�$�+�!������%� !�&
#4
����������������� !��
���"�#�$%�#&%$��������(�)
������������� �
��� �
���� ����� ��������� ������@
����������
<'���/���!"���$���� '�� � ��)�(���$��(��� !�!����,�%���*
"!'"�%�$�!�&����$�'"!�!'"�'�(���%��(!�!�� ��,� !"'�*
�$���' � !��$(!$�!���#+��!���&��� !�� � �,� ���.�0�����&+
(�� �L�� ��� �! !#��� %�$�!�&� %���$"!�$�!��� #+� !���� �!�!$�
!"�'�!�!� �*�< �;��5�� �����"��� �$�����%$��(�!���$���)
��&!����,��*����"���$������%��(�� $��� '�,$%�������!"!*
�$�+��!���&���!���#�"#$�("�����,����� '# ��$���#�,���
%�$�!�&�(��� !�!���(! ��(�� �����$�'"!�!'"� '�,$%��$�(
��$( ����"����%�� !(��$#���%���$"!�$�!����,� '�,$%��#+
�/+&����H�)���� �$,����(��� !�!����,�%�$�!�&�!� �%������
!�� '�,$%���$+�����)�� �$�(�#�%�"� ��� ���$������%��*
������,�%$�#���
F!&�����2;�*�4*7���%�"�� !�������!�,��#�$!��(�)!����'�����!�&�"!%�� %����
�*��+� �� � ���
<����,������$'���� ���27����+����+�(��4��$%.��)��(&�
R���'���� &�$��� 287784 � ���O�%�*��I�7�
B�
@D� S)�!%�
$���)�(��!"�������,��"�����7���$�(��5G��"�$ '��"���
$�������� �!�'����,���+ !% �$�(���+ !%$��5�%�����&!� ��,
;�$' ��$��5�%��!%$��-�!��� !�+��H��$� ����$�. �������,�
8���0��T�"���� � ���,��8��� ���5��U�$(.!.�� � $�(� � ���
"�"#�� ��,� � ���!�� &��'� � ,��� ���!�� $ ! �$�%��)!��� ���
"�$ '��"��� �$�(�,��� �!"'�$�!�&�(! %' !�� �
5����$����,���! �)��.�)$ � '������(�#+��5;-�&�$��
��
����
� � � ��
������P�!+!�V� �U'$�&+'$��R� �V$)�������7�"!%�� ��'%�'�$��!��� *
�!&$�!����,���
���� �����#+��N�!"��$��$�!���$�(���%�!��!"*
��$��$�!���BB��'%����� ����W�G����������+ ��K� ��*�?@?��*6�?�
*������*����
� 6��+!�7�0�����'%�'�$��%�$�&� � !�� �!�$�!'"��!��!(��%�$�!�&
���%� �(�#+�!���#�"#$�("���BB�-KF7;���X�+ !% �%��*
"! ��+ �"�%�$�!% ��3�?@?��3�������3Y���
@*�����2!��K' !$�4
�� U'&�+$�7� �G$�%���.��V� � ���'������ 5�%�����&+� $�(
�E'!�"�����,��!&������&+�!���#�$"�$ ! ��(����%� !�&��,
"$���!$� �BB�G��$��'�&!%$���%!��%��$�(�5���"$�����%� !�&
�,�G��$����*�??����*�����Y��
?*����2!���K' !$�4
D� U'&�+$�7� �G$�+.�!��8� �G$�%���.���� ���.�'(������G��*
��(!%$��$ ��%� ��,� ,��"$�!����,� �)�*%�"�������"$���!$�
)!���' ���,�!���#�$"�$ ! ��(���%�����&+�BB�G��$���%!��%�
$�(�������)� ��5�%�����&!� �*
��
��*Z��
D����?���3Y���
?�*
���D��2!��K' !$�4
�� F$�.$ �8� ��!�&��� �� �K$�&$ )$"+�G��G�(��!�&��,��!&�
,�'��%��5!� !��� !"��$��$�!���$�(��$%''"�%$�#'�!1$�!��� !�
�����BB�[��7�������+ ��*�?@���*�C2D4 �*�� �*������D*��
��
�� T�&$��0� ���"����.��V� ����!'&!��7��������$�� ��� � �!�
���� %���"!'"�%��(�� $�� � �#�$!��(� !�� �$�!�' � �$%''"
%��(!�!�� �� BB� ��+ !% � $�(� ;��"! ��+� �,� G$���!$�
���%� !�&�3�?@���3��D��*Y��@�*@���2!��K' !$�4
C� T!� $����0� �U$���0� �V'(!��<�����'%�'����,� �$%��(! ��!*
#'�!���%$�%'�$�!����,��$%$�%+�%�' ��� �!���"��$� �!��$(!$��(
)!���$� ���$"��,�$%%����$��(�!�� �BB�\'� �!�� ��,�$��'%��$�
�%!��%��$�(�5�%��!% ����+ !% ��,� �$(!$�!���($"$&� �$�(
�$(!$�!���"$���!���&+��*�?@���*��B����*Y�
@*����2!��K' !$�4
@� U'&�+$�7� �G$�%���.�� �� �G$�+.�!��8� ���.�'(��� ���
���('%�!����,�;�*��,!�" �#+�����!���#�$"*$ ! ��(�(��� !�!��
��%�����&+I��/���!"����$�(�%�"�'���� !"'�$�!���BB��'�,$%�
$�(�;�$�!�&�5�%�����&+��3
��� �3���D*�����3���
@�*
?
�
?� G$�;�H� �H'$�&� [�H� � ;����H��7� �'(+� �,� ���,����(
��!���$�!��� �,� �$�$(!'"� �!��!(�� $�(� 1!�%��!'"� �!��!(�
%�$�!�& ���� !�!%�������$��(�#+�!���#�$"�$ ! ��(�(��� !�!��
BB��'�,$%��$�(�;�$�!�&�5�%�����&+�3
�����3�����*��D��3
���
@?*
?D�
�����������
��
� ��������
�
����������
�
��������
��
�� ��
���
� ��
��
��
��
�
�������
���������
��������� ��� �
��������
����
���� ��
��� ��� ������������������� ������
�����������
��� � � ��
��
������
��� �����
�������
������
������ !"#���������$%&'��
� ���()%*+),+*�� �-���$".$/
�]^_`
Mab^c��]^debf
M
g�_�`bh_i^cf�]�dj�_hbe� _��hk�l
aj]�aM_i^ccm�a�jbhalMn�n]��e���
]g�Mcgn��^
�_���h�cc�*
`
g�ebf�aMc�o�� �`M_i^ccm�� p]�� � qg`
�
�r� ?? ?@
�`M_ieaMa`m� cM� Mbr�hchsae� jh_lbM_le� _��
�atgcg
���÷���c� � j]g�kag_l�`
h� �`M_i^ccm� ����*���� c�B`^l
^c^]ohu�jeqlM�M`g`
erqgn��N�h�cha�#��
���l^v �thbfc�`
h
�le� O� w�
���lMB`�
�
^�j^]M
e]h� jh_lbM_lg�Z�w�
��� �Y�
�bhalg�cMjgbraMbg`m�cM�qg`
e�7��jh_lbM_le�27��qg`
�
�r
??�??�4��h�j�j^]^_cf���x]�xb^ce��N�h�cM�g�_��_�dg�� �⋅���C
h�cB`�
����lMdMc� �t��aeob^yf�c^�j�kg]rs
f`m�a`^]^_gce
j�l]g
m� _Mbh � chi�cM� �*
� c���zg`^cf� xhbfk� Ml
gacg{� h
j]�cglMs�a�j�l]g
m�obgxk^����c�����j^]^_cm�h�jbMc
Myhm
�N� e�7�� jh_lbM_le� _�� _�dg� � �⋅���C� h�cB`�
�j]ga�_g
f� _�
dcMqc�o�� cM`gq^ccm� {�o�� lg`c^�� h � e��^ck��e� `
ej^ch
aeob^y^����h`bm� cMc^`^ccm� n]��e� lhbflh`
f� lg`cr� a�7�
dcgies
f`m�h�̀
Ms��_cMl�ag��d�{�o��]�dj�_hb���e�n]���a��e
j�l]g
h��zhbflh`
f�aeob^yr�a�7��jh`bm�cMc^`^ccm�j�l]g
m
cMajMlg�`
Ms�xhbfkg� �chi�lhbflh`
f�lg`cr�
�
��������������� ����������������
��� ��� �����0���������1
� �
������������
��� �� ��
��
�������
��� ������
��������
������
����� !"#��������&%&'��
�����(2%*+2,+*�� �-���&".&/
�]^_`
Mab^c|� ]^debf
M
|� g``b^_�aMcg{� ]M`j]^_^b^cgm
j]g�^`^{� ac^_]^cgm� a� jb^clMn� n]��M � � j�beq^cc|n
�^
�_��� g�cc�*`
g�ebg]�aMcc�o�� �`Mi_^cgm�� p]��
qg`
�
�{�?? ?@ ��`Mi_Mb`m�cM�Mbr�gcg^aer�j�_b�ile�_�
�btgc|����÷����c� �j]g�̀ l�]�`
g��`Mi_^cgm�����*����c�B
`^l �}c^]ogg�jeqlM�M``g`
g]ertgn��N�g�c�a�#
�
���l}v
jb�
c�`
g�
�lM�O�w�
���l~B`�
��g�
^�j^]M
e]^�j�_b�ilg�Z
w������Y���b^clg�cMj|bmbg`f�cM�qg`
er�7��j�_b�ile�27�
qg`
�
�{� ??�??�4� � g� j]^_aM]g
^bfc�� �x]Mx�
Mccer��N
g�cM�g�_��_�d|�� �⋅���C�g�cB`�
����lMdMc� �q
��eob^]�_�c^
]M`j]�`
]Mcm^
`m�aobexf�j�l]|
gm�_Mbfk^ �q^��cM��*
�c��
zg`b�]�_�x�b^^�Ml
ga^c�g�j]�cglM^
�a�j�l]|
g^�obexi^
���c����]^_aM]g
^bfcMm�g�jbMc
Mygm��N�a�7��j�_b�ile�_�
_�d|� � �⋅���C� g�cB`�
� j]ga�_g
� l� dcMqg
^bfc��e
cM`|t^cgr� ^o�� lg`b�]�_��� g � a� �^cfk^{� `
^j^cg
eob^]�_������`b^�cMc^`^cgm�n]��M�`�_^]iMcg^�lg`b�]�_M
a� 7�� `cgiM^
`m� g� `
Mc�ag
`m� �_gcMl�a|�� `� ^o�
]M`j]^_^b^cg^�� a� n]���a��� j�l]|
gg�� Y�_^]iMcg^
eob^]�_M� a� 7�� j�`b^� cMc^`^cgm� j�l]|
gm� cM�x�]�
`
Mc�ag
`m�x�bfkg� �q^��`�_^]iMcg^�lg`b�]�_M�
�
D
�
�
�����"
��������"
�������������"
������������" ������������"
�������������"
��������"
� �� ��� ���
�
"
������"
�������"
�������"
�����������" �����������"
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101840 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-30T10:34:30Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Guglya, A. Virich, V. Styervoyedov, A. Silkin, M. 2016-06-08T10:52:09Z 2016-06-08T10:52:09Z 2003 Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition / A. Guglya, V. Virich, A. Styervoyedov, M. Silkin // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 56-58. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101840 en Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition Guglya, A. Virich, V. Styervoyedov, A. Silkin, M. |
| title | Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition |
| title_full | Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition |
| title_fullStr | Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition |
| title_full_unstemmed | Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition |
| title_short | Distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition |
| title_sort | distribution of interstitial impurities in chromium coating, obtained by ion beam assisted deposition |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101840 |
| work_keys_str_mv | AT guglyaa distributionofinterstitialimpuritiesinchromiumcoatingobtainedbyionbeamassisteddeposition AT virichv distributionofinterstitialimpuritiesinchromiumcoatingobtainedbyionbeamassisteddeposition AT styervoyedova distributionofinterstitialimpuritiesinchromiumcoatingobtainedbyionbeamassisteddeposition AT silkinm distributionofinterstitialimpuritiesinchromiumcoatingobtainedbyionbeamassisteddeposition |