Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2003
Автори: Осинский, В.И., Гончаренко, Т.И., Ляхова, Н.Н.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101844
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ / В.И. Осинский, Т.И. Гончаренко, Н.Н. Ляхова // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 94-98. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859623823536553984
author Осинский, В.И.
Гончаренко, Т.И.
Ляхова, Н.Н.
author_facet Осинский, В.И.
Гончаренко, Т.И.
Ляхова, Н.Н.
citation_txt Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ / В.И. Осинский, Т.И. Гончаренко, Н.Н. Ляхова // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 94-98. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
first_indexed 2025-11-29T08:58:02Z
format Article
fulltext �� ����������� ��� ����������������������������� �������� ������������ � �!����� "���#�!�#$%�$#� &'()�*()�* +� � , � �-�!.�������#��/�� 0��/���!��1�.���2�#�%���-#�3 ���������4�!�%�5���$�#����5�%� �����5���0����63 .$7���/��1.�6%�5�%�� �8���!���5���6�.���5��1. !�/0 !-�%�# �� �1$!. �.�� ����0��!-�.96�� ���� ����:�#3 � ;�����0�<%# � 0�����!-.�/0���./�-���2���/�-.��3 ��!����-��7�!%�5�6 -�!����!7���� ��/���:�#� ;��� ��# 6.�7��0�!�"� .9��0�$!�#�5!�� 0�������;��!%�0 -#�1�# 0��= � �!����� �6.$7 >?�0� "���#�!�#$%�$# &'()�*()����� !��/?��� �#��/� #�2 ��!/�-#�1.�� !�6� ��/��!��7��% �1�.�"��!��� ��-��<::�%�����!���� !#�%$�!.$@1��-#���2 >?�"����!�����# 6��1�7��� . �-��� % .�� ��/��= #/�$�!��#�5�����2�#�%���!-�3 .96$>�!/����"�%��-������������#����# !���#���%�3 ��#����!�1�����<::�%�������./�!�6� ��/�%� �����3 # 6��#��0�!�#$%�$#���1�!-�7�� >?�0���!�%�5���$�3 #����5�%� �����5���0����6.$7���/�A�B��C���#�!�#$%3 �$#�� � &'()�*()���1�7�����# ?�� >�!/������ �� DE�3"��#����5� �<-�� %!���� �-��.�@% 0�! -:�# �� ���#����F��.���F���.?���5�� ��%���!��#���� 3 ;��5�-.�!%�!���#�!� �G �H� �6�-. !����� ��!�����! -:�# ������ �����%#���03 ��.�"�5���#�6 >�!/�7�-��# 6��# ���� ×� ×� �%���%�!������������!.�/��%���#�0�-�����/�!/���3 %�����%��� %���G#�!���H��4������6.$7���/�-#��!0���� 7�#�6�! -:�#��$>�-��.�@%$��-#�6# 7�$>�����!����� 3 - 6����������"��!��� ��E�� %��6� 7���.9� /�# 6��; ��-�% 6 ��./0�-#�.��.���/�! -:�# �G� � I��JKH�����6�$0 -#�������%�6� 7���.9�����1# �������# @���/��� "# �/0�- # ..�.�-�-�� ��6�! -:�# ���6��!�����7���� !�������� 0��� ��!����� #!���� �" ..�/���:�!:�� �" .3 .�/�<::�%�����5���������6.$7���/��!$?�!��./��!/�! -���?9>�.��6���0�!�!�����A�B���#��<������0����63 .$7���/���@���$��.�7��9���L�M�K�# 6�-��!# �����>�! �"����������7�#�6�"# ���- # ..�.�-�-�� ����6� ��� <.����������%#��-��%��� ��!������! -:�# �6 �#$�3 �/��!/��"����!�%�5����#��!�9>� 4�� !��/?�5�# 1�����!!.���� � �<%!�# %;�/��6.$3 7���/��6� 7�-��� !��#0/#%�0� !������������ � �!���� ! -:�# *���#�� �" ..�/�-#��# 6.�7��0��1# 1��% 0 -���#0��!�����"�����#����N 6# 1�� ���-#�;�!!��-�3 .�#��%���! -:�# �-��-#���.���5��./�!�������������3 ����%���!$?�!�����������$��.�7�� >?�5�!�����!�9 !����������� O�.9�� !��/?�"���!!.���� ��/�M��-#���.������-��3 � .9��0�$!.���5��1# 1��%��-���#0��!���! -:�# �� -#�;�!! 0�!�6� ��/��6���"��<.����������%#��-��%���� 7 !���!����<..�-��7�!%�0���!:�#�7�!%�0�.��6���!�!� �� 7�-���!����������� ������ ���� �������� ��������� ������� ������� ��� P./�#�2���/� %�$ .9��5�6 � 7��<%!�# %;����6.$7���/ �6�"���#�!�#$%�$#�� ��!�����! -:�# ����10������# 63 # 1�� �9�-#�;�!!��:�#��#�� ��/�-���#0��!���<.�3 ���������%#����0�# 6��#���-$������0 ��7�!%�0��0�3 ��7�!%�0��-. 6�����0��# �� ;�����0�����-�# �$#��0 ���#$"�0���6��5!���5� D�0 ��7�!% /�2.�:��% ��= �<����<� -��:�#��3 #$��!/� 6 � �� /�:�#� ���%#�.��6��-$���� !�/��/ ��!�$-������!�#�0�$".����P./�<��"��-�!.��# 6��.���/ -. !������ �7�-����%#�- # ..�.�-�-���-����#" ��!/ 1# 6����5��1# 1��%���/�./>?�5!/�����0��.�"���-#�3 ��@$��7��5��-�# ;��5��%���# /��1�!-�7�� ���!���#3 2��!����:�#�����#�%.��������.��6 %#�-.������� 3 %$$�����-#�! !�� �����7�-����1# 1 ��� >�!/�-�!3 .���� ��.9��� �#��/� .� 6�����2.�:�� .9���� ��!�#$���� ���� %���#���-�6��./>��-#���!��� 7�#3 ���$>��-�.$7�!���$>���7�!���$>��1# 1��%$�-���#03 ��!����4�6��$�%��� %� �2.�:�� .9��"����!�#$���� ��! 7�- ���-�� ��!/��0. @� >? /�@��%�!�9� ��!.���� ��.9���-#��6�����!/�2.�:��% �7�-�� !�/6 ����� 1# 6�����!�-#��$����.9��5��� "# ��� 3 ;�����5�-�� 7�5���!�#$���� ����#�����1�!-�7�� �� 1�.92$>�-#��6������.9��!�9�����92$>�2�#�0�� 3 ��!�9������92$>�".$1��$�� #$2����"��-���#0��!�3 ��"��!.�/��Q. "�� #/�-#��$����.9��5�-�� 7���$� ��!/ !��� �9�!�7�- ��!.�5�.>1�5���.?������#��<�������3 ��!/���6��@��!�9�!��� �9�6 � ���5�!.�5�����!%�.9%� <� -����7���-���2 ���% 7�!�����1# 1 ��� ���0�7�-��� R�.?�� �!S�� ��-#���./��!/�".$1���5�� #$2����"� -���#0��!���"��!.�/���$�� #� /���.?�� �!S�� ���.@3 � �1��9�� ���!%�.9%����%#����#���1�.92��".$1��� ����� ��� �� � �� ���� � ����� ������������ � , �� � ��� ������� � � �� ���� �! TPU�L�L���J�� ����������� ��� ���������� �������� � �� �� �������������� ������ ��� ���������� �� ������� ��� ��� ������� !"� # $ % ���������� � �������� ������� ��������������� ���������� �������� ��� �� ������������������������������� �� �� �� � "�� ������������ ��#�$%�&$�$&&' ������ �� (� ���)���(� * � �� ���� � ���� ��� ������ ����+�� �+����� ��� �������� �� ���,����(+� �����-. �+� ���� �� ��� (+� �� ���+� �)��)� �� �����+ �� ��� �� ��)� � (� �������(� ������� �� ���,���� ��� �����. ����!� ���� ��� �������� �� ��� �/� ��0�� �� �� �� ���������#0�!� �+� � ����� ��� 1������� (� �� ����2. (�� �������� �)��)� �� �����+ �� �� ���,���� �� ��������� �� �� ��� � � �3�� *���� ��� �� ���� � �/� � ��� �� �/� *���� ���� �+� �� �,������ �+� �� � �� ��� ���� ������ ��� ���������4� � ���� ��� �- ��� 3�� �. ��� 5���+��� �� �� +��� ��� �� ��� ���� ����,�� ���� ��� � � �� � ���� ���,���� 6 � � 7$&Å� �� �� �����2. �!� �(�� �!� �� �� ���� �� �!� 6 8�9 � 7� $$&� Å � �L����������� ��� ���������������������������� � #$2����"��!.�/�� �� %@��$7���� �9���%.��������:�#3 ����7�-������6 � ���5��E1�7���<����!.�5��!��� ��!/ ���� �<� - �7�#����5���7�!����5��1# 1��%�5��7���-�63 ��./���-�.$7 �9�.$72���% 7�!����-���#0��!�����:�#3 ���7�-��������92$>�".$1��$�� #$2����"��-���#03 ��!���"��!.�/��C.$1�� �� #$2����"��-���#0��!���"� !.�/�����7�-�����1# 1�� ���0�2.�:��%�5�!�/6 ���� 1# 6������ 6 ��!������ 6�#��!��!���2.�:�� .9��"� ��!�#$���� ���"��!%�#�!�����!%�#�!���!S�� � �!!.���� .�!9�� %@��2.�:�� ����7�-���!��1��3 ���� 1# 6������%���#����1�!-�7�� ���1�.�������#��3 �$>�!�#$%�$#$�-���#0��!�����#�2��2����1# 1��%$ !��1������ 1# 6�����7�-�����>��#���$>�� ���$> -���#0��!�9��1�6�!.������ -# �.���5��1# 1��%���V.�3 :��% � !��1������ 1# 6�����/�./��!/�1�.���-#��63 ������.9��5����1�!-�7�� ���.$72���% 7�!����-���#03 ��!����4�-�#�$>��7�#��9�<����1$!.��.������!$�!����� ���10�����!�����@�!�%���%#�-.�����7�-�����0�-#�3 %.��� ��/��%���#������6�� �����6��%��������� -#/3 @���5���7�- 0� ��!�#$������./�2.�:�� ��/�!��1������ 1# 6�3 �����6"����./.!/��6�!� .���4�% 7�!����2.�:$>?�0 � ��#� .���-#����/.�!9�������� 1# 6������!$!-��3 6���!��!-�.96�� �������%#�-�#�2%������M�W���%��� ���%�0���%#�-�#�2%���6�#��!��!�9>�L�M�� ��%�����3 #���-#�"����.������!$!-��6��� 1# 6������-�#�2%� ���$7�� .�!9��7���$.$72 ����0�"# �$.����#�7�!%�5 !�!� ���������2��������#��0���@��%�0�%��-������� ��� %�5�!$!-��6���X�Y�Z�I���Y�G�MLH��P./�-���2���/��/63 %�!�����!$!-��6�>������.!/�<��.��3".�%�.9��.��".�3 ;�#��� D�0 ��7�!% /�-�.�#��% ��1�!-�7�� ���-�.$7���� 6�#% .9��5�-���#0��!���1�6�� #$2���/� "�����#��� P./�$� .���/�� #$2����"��!.�/���-�.$7���/�-���#03 ��!���!�[ )� ≤ ���L\� M���%�����10������!�/�9��1?�5�!.�5 7�- ������M���# 6 �-#���2 >?�5�".$1��$�� #$2����"� !.�/�� �-#����$?�5��-�# ;���2.�:��%����6��!���� 7�����0 ��7�!% /�-�.�#��% � .� 6��5�- !��5��!���#3 @ ?�5���%#�-�#�2�%� !$1��%#����5� 6�#��!��!�� ]�D� �L���!� �./���� #$2����5�!.�5�".$1���5�����3 !%�.9%����%#����#������6# !� >?�5�!�$���92����� ���#��!���� ��#� . �����#����!�����!���5�GLM� H\� M� �%�����<���$�:���2�$>�-�.�#��%$���-�.�/.��0���3 %�3��0 ��7�!%�������������!� �./>?���� #$2����5 !.�5������ .9��5�".$1���������!��$���#����!��5���3 �������%�� �!!.���� ��/�-�% 6 .��� 7��� �./�:�#��#�� ��/ ��%#�.��6��6�! -:�#���5�-��.�@%��7�-������10�3 �����-#����/�9�-�!.���� ��.9����-�.�#��%$���0 ��3 7�!%$>��0���%�3��0 ��7�!%$>���0���7�!%$>����#� / -#����/��!/�� ��-�# ;���-#��� #���.9��5�-�.�#��%�� P./�<��"��� �-�.�#$>?�5���!�#$������ %.��� ��!/ 6 �2 ����5.�%��:��#��:�.9�#�� .9� /��% �9��.��1 ��!�� 4�% 7�!����-�.�#$>?�0���?�!����!-�.96$��!/� .� 63 ����- !�����!$!-��6��� ��#���-�.�#��%�5� .� 6� /�- !� �� ��!��!/�� �% �9�-�.�#���7��"����!�#$���� �����# ��!/�����% �9 -�.�#�� .9��"����!�#$���� �����7������L�M�� ������4 -#�;�!!��-�.�#�� ��/���# 1�7$>�6��$���-#�#�����-� % -./��-�� ��!/� .� 6� /�!$!-��6�/��= �-#��/@���� �-�# ;���-�.�#�� ��/�!%�#�!�9�!S�� �$���92 ��!/ ��#�6$.9� ����6��! � .� 6��0�6�#�����-���@���/��0 1# 6����5�!-�!�1��!��� D�0 ��7�!% /� -�.�#��% � -#�� <����: %��7�!%� -#��!� �./���!�1�5��!$-�#���%���2.�:�� �����N 6��# ��%#�; # -��� -�!.����0 ��7�!%�"�� -�.�#�� ��/ !������!��$���6�#��!��!���-�.�#$>?�"�� .� 6��"� ��%#�-�#�2% ��4�#�6$.9� ���� %�5��1# 1��%��� #$3 2����5�!.�5�-�.��!�9>����!��� ��!/�������@���1��9 !%�.9� $"������ .������<���$�:���2� /��-�# ;�/ -�.�#��%��-#������!/�0���%�3��0 ��7�!%�������3 ������$�9�<��"������� ��6 %.>7 ��!/�������0 ��7�!%�� $� .�����-#��$%����0���7�!%�"���6 �����5!���/�� 3 ��#� . �7�- �!�-�.�#$>?���!�!� ���� ^���7�!% /�-�.�#��% �7�-���-#�����. !9���$!.�3 ��/0�. ��� #��"��-���% ��# ����./�����!���.9���-�3 ��#0��!��� 7�- �� P./� <��"�� 7�-�� -���? .�!9� � � 0��/?$>!/���!�!$���!��# ����.���-��!� �%$����;���3 # .9�$>�7 !�9�%���#�5���-#�#�����-�� � .!/�-���% �# ����./�������"����6��5!������$� ./��!/�� #$2��3 ��5�!.�5�7�-����_����1�!-�7�� ����-�.�#��%$�-���!�5 !:�#�7�!%�5��.��<..�-!��� .9��5�-���#0��!����!-�3 !�1!��$���-�#���!$���?�!������# !���#���$!%�#/���� !� 1�.�6�#$���-#�;�!!��# �.���/���$.$72 ���% 7�!��� �1# 1 ��� ���5�-���#0��!����R % /�0���%�3��� ��3 7�!% /�-�.�#��% �/�./��!/�-�!.����5�!� ���5���0 ��3 7�!%�5�����:�% ;���-���#0��!��� ��!.�� -#����%�� 7�-��� �� ������6�� ���5� ���� -���#0��!�9��0�!� 1�.�6�#�� . !9���:�%!�#$>?�0 # !���# 0����% 7�!����%���#�0�-#����/.�!9��� -#���#� !$.9:���� �#�/��<��.���� ������# $%!$!� /�%�!.�� �.��# !���#�����!�.�5��` ����7�-��!$2�.�!9�����%� 7�!��"��!$0�"����6�$0 �;���#�:$"�#�� ������.��� 3 "#�������:# %# !�����6.$7������ � -:�#�/�./��!/�0���7�!%��� .� %��������%�!3 .����-�<���$��"��0���7�!% /���0���%�3��0 ��7�!% / -�.�#��% �6 �#$���� ��P./�-�.�#$>?�"���# �.���/ ��0 ��7�!%��-�.�#�� ���0�! -:�#���0�7�-���1�.� �-#�1�� ���!.��$>?�����!�%����-�# �$#�����# ��3 ��.�Y��#��:�!:�#� /�%�!.�� �= � N � �G� �M�L abHc�# !3 -. ��1$#����) � d � , J �G� a�Hc�# !-. ��:��#�!��"��!���3 ; ��ef � �GKL a��Hc��# !-. ��1�!$.9: � �% .�/�G�L a��H� U#����# !!���#����0���������-�#!-�%������" 6�3 ����-�.�#$>?����# �.�����! -:�# ��P./��-#���.���/ #�@������1# 1���%�7�-����!!.���� ���-#�;�!!���13 # 1��%�� �-. !����! -:�# ��%���#���-#����/>�!/�� % 7�!����-��.�@�%��./�DE��M�"��#����5�<-�� %!�� "���#�!�#$%�$#�&'()�*()�*+� � E � ���6��!�����7���# 1�3 7$>�-���#0��!�9� ! -:�# �� � � %���#$>�-#������!/ <-�� %!�/� ���#������ ���10������ �1# 1 ��� �9� �� -�.$7���/��7��9�� .�5�2�#�0�� ��!�������92����Å� 7���!$?�!�������$��#�@ ���-. !������E1# ��$>����3 # 1�7$>��-���#0��!�9���@����1# 1 ��� �9�!�1�.92�5 2�#�0�� ��!�9>�� %���# /� �-#���./��!/� �-#���.��3 �����$!.���/���<%!�# %;����6.$7���/��6�7�-��� 4�% 7�!����-�.�#$>?�"���# ����./�1�.��!!.���� � ;�.�5�#/��!.�@��0�!��������5���- � ghb� � ih � ��# 6.�73 ����:��#�!���� !��������/� !�#��� 0.�#�#�:.>�#�3 ��� ��G���f � H�����#� bb�f � �/�./��!/�� �.$72���-�.�#$>?����# ����3 .����./�-.�!%�!��5�! -:�# �G� ��H��G��� H��G �H�� G� ��H��-�!%�.9%$��1�!-�7�� ���� �.$72���% 7�!��� -���#0��!���!������#��������$� .������6 "#/6��3 ��5���R��-�# �$#���# �.���/�.�@ ������ - 6������� M�L a��A�B��D %!�� .9� /�!%�#�!�9��# �.���/�M� �W �%�*������-#���L a��� E�� %��� �1�.���# !-#�!�# ��������636 �-#�!��3 �������0��.�"�7��!���/�./��!/�-#�;�!!��# �.���/�! -3 :�# �-���%�������#�� ����� - 6�������-�# �$#��� M��� ����� M�� a����%�#�!�9��# �.���/�! -:�# �� ���������� � ������� ������� �������������� �W ����������� ��� ����������������������������� -���%������#�� �/�./��!/�.�" #�:��7�!%�5�:$�%;��5 ���-�# �$#��G#�!���H� =���!� �% ���<��"��!-�!�1 �/�./>�!/Y�!�.�%���3 ��!�9��# �.���/����!�% /����-�# �$# �-#�;�!! ��6 3 �#$��/>? /��"��-#�����������<-�� %!� .9��5�$!� ���3 %�����-#���.���!�9��./��1# 1��%��7�-����P./�!��@�3 ��/����-�# �$#���# �.���/��-#����/��!/�����6 ;�/ " 6���5�!#���� �#��#� %������������3-. 6��������# �.��������3 -�# �$#��-#�;�!!���-���@ >�!/����� �M�L �����7�� -#���.�����./��# �.���/�7�-��� ���!# �����>�!��1�7���������� ���@��%�!���5 0���7�!%�5��1# 1��%��������-. 6��0���7�!%�"���# �3 .���/� �1. � ��� #/����-#���$?�!��Y��^R�-#�;�!! !$0�5����������- !��5����%���!-�.96$�����#� %������ " 6��1�6�#�����������!-. ������������2����c��^R �1�!-�7�� ���1�.�����!�%$>�# 6#�2 >?$>�!-�!�13 ��!�9������92$>�!��-��9�1�%���"��-���# �.�� ��/� �#����^R��-�/�./��!/���6��@��!�9�!����!���9�������� � %$$������1S����#/��-�!.���� ��.9��� ��-�.�/�3 ��0��-�# ;�5��# �.���/��!�%# ���9���0��.�"�7�!%�5 -#�;�!!��1# 1��%�����$���92��9���#�/���!�9�6 "#/63 ����/��.��-��#�@����/�7�-����.��-��.�@�%� 4�% 7�!�����# �/?�0�" 6�����"$���!-�.96�� �9!/� #3 "����:��#!���#@ ?���!��������/�bf � ��bf � �� f W ��bhf � G-#��-�#�"���0�6� 7���/0�1��1 #��#$>?�0�������� M�� �<4H�G#�!��H��$".�#��!���#@ ?���!��������/�b,� b, � ��G-#��� �.�����W �M�K �� ���-#�����-�# �$# 0���2� � �U�!%�#�!�9��# �.���/�]� � , � �G �H�!�!� �./���� ML M����� M��!�*!H��� ��� %@��db� � ��ddj �� G!%�#�!�9��# �.���/ ��L���*!�-#��� E�����4k���?��!��� ����4�*!��H�A�B� �����5���# �� ;�����5���@�"��4�!�%�"��%#�!� .3 .�7�!%�"��!���#2��!�� �-���#0��!���-��.�@�%���7�3 -�����@�����1��9!/������.9%��0���7�!%����# �.�3 ������ #$2����"��!.�/�������!�-���?9>������"���.� # �� ;�����"����@�" � E!�������: %��#����$.$72 >?���!�#$%�$#$�-�3 ��#0��!���-#����@�"���/�./��!/�-#�;�!!�#�%#�!� ..�3 6 ;���� #$2����"��!.�/�� %������-#���% >?�5�-#� ���������# �� ;���������@�"���N�%#�!� ..�6 ;�/ � #$2����"��!.�/�!�-#���@� ��!/�!�/�������$�#��3 ��0�� -#/@���5���%#$"���:�%��������!����0���0 3 ��7�!%�5��1# 1��%�5��_���� <::�%����7��.����:�%3 !�#$��!/����������#���"����!%�5���-�"# :������!9� 7$�!�����.9����%�� -#/@�����$�!�!��/��>�-���#03 ��!����1# 6; ��4���!� 0�!�.�% .9������ -#/@���/��� � -#���#���1.�6��; # -���������@�" �� 1.>� ��!/���3 -�.����.9��5�%���# !����!7�6 >?�5�-�!.����@�" � 0��/�! ���; # -����0�#�2�����������-��7�!%�����%3 #�!%�-��� ����@@����5�-���#0��!����1# 6; � = �!� ��/0�0���7�!%�5�G0���%�3��0 ��7�!%�5H��13 # 1��%��� �� %@��� ��-�# ;�/0��7�!�%��7�-���%���#�.�3 #$>��7�!���$���0��.�"�7�!%�0�!#���G# 6.�7�����#" 3 ��7�!%���# !���#���.����!�!� ����./��# �.���/���-�.�3 #��%������$����#�H� U 7�!������5�%���#�.9�6 "#/6����5��#�!�%��-/���� -����%�����!%�.���� �-���#0��!���-��.�@�%���7�-�� �!$?�!��./.!/���6$ .9����!��!-�.96�� ������-��7�!3 %�0���%#�!%�-����. 6�#���������#:�#����# �����! -���?9>�-#�:�.����# � P./�!# �����/�1�.��!�/���l)!-#���.������2�#�0�3 � ��!���� ��$7 !�%����.���5��� ��%����./��-���#0��!��� �1# 1�� ���5�� ���G#�!���H����-�%$-��5�G��-�#���5H G#�!��LH�-. !����! -:�# ��= �#�!��W�-�% 6 � �-#�:�.�3 "# �� �2�#�0�� ��!�������%#�!�#$%�$# �G#�!��JH����# 3 1�7�5�-���#0��!����4������7�����0 ��7�!% /�-�.�#��3 % �6 �������!��@ ����2�#�0�� ��!�9���$.$72 �����%#�3 ����#����!�9�-���#0��!���G#�!��KH��E�� %��".$1�� �� 3 #$2����"��!.�/��!��@���!� ��!/�6� 7���.9��5�G#�!���� WH�� �-�<���$�:���2�$>��-�# ;�>�-�.�#��%�����10�3 �����-#������9�0���%�3��0 ��7�!%�����.��-. 6��3 0���7�!%�������� ��� N�!�����` ��!���!�9�!%�#�!����# �.���/�! -:�# �m�������-�# 3 �$#��X� �� -���%�� � 7�!��"�� ����#�� � N�!�� ��� ` ��!���!�9� � ��.?���� !�# �.����"�� !.�/�+� � , � �� �6��3 #����5� <..�-!����#�7�!%������������ ��� �#������ ��6��5!���/ ������+j��bhf � � �� �0� !��!�5� A�B� ��������� � �� ������ ����������������� �� � ����������������� �� ���������������������� ��� � �� ����������� ! " �����:��;���)������ ��� �������- �����,������������+� ����. �!� ������� � ����� <�� ��)����� � ��� �� �����- �� � ���,���� ������ ��+� ����. �!� � ������� �� �J����������� ��� ���������������������������� N�!����V�#�0�� ��!�9� �-��7�!%�� ��-�.�#�� ���5� -���#0��!��� ! -:�# �� !#���� #�:����7�!%��� ��%.������� -#�:�./ [ ) � I� � �Å�� � �1�.92 /� ��!�� ���%#���#����!��5� �[ n)o� I� �� �Å� N�!�L��V�#�0�� ��!�9� # 1�7�5� !��#���� -��.�@%�� ! -:�# � G6 #$1�@��"�� -#��6���!�� H�� [ n)o � I� ��LÅ�� � [ � I�JÅ N�!�� W��V�#�0�� ��!�9� ��# 1�7�5� !��#����-��.�@%�� ! -:�# �[ n)o � I���K� %Å�� � [ � I� L� %Å� ���������� � ������� ������� �������������� �K ����������� ��� ����������������������������� ��������� � �� ������ ����������������� �� � ����������������� �� ���������������������� ��� � �� ����������� ! " R 1.�; �� E-��� .9����$!.���/�-�.$7���/�<.������� ��%#��-��%��!�<%�����7�!%�5��;��%�5� � ������� R %����1# 6�����!!.���� ����-#�;�!!���:�#��#�� ��/ <.����������%#��-��%��� �7�- 0�"���#�!�#$%�$#�!����3 �������()&'�*+& � , � �-�% 6�� ����7����./�� %!�� .9��5 <%!�# %;����6.$7���/�<%�����7�!%���1�!��� ���� /�./��!/�!�6� �����-��7�!%��!���#2����5���-���#0��!�� ��%#�.��6�!�2�#�0�� ��!�9>��0 # %��#�6$���5�!#����3 #�:����7�!%�����%.��������-#�:�./�[ )� I�� Å�� � %!�� .9��5����!���5�����%#���#����!��5��[ n)o �I��� �Å� ��!.����!��@���/�<��0�- # ���#����1# 1��%��-�3 ��#0��!���� .9��52�����#�"�!��/?��� $���92���� 2�#�0�� ��!���!$?�!����������$��.�7�� ���<::�%�����!�� ����� ��6.$7���/� �#��;�-� .9� /�����6� �-#��.�@����"��� ���-��0�� !�!������������7������1 6�#$��!/�� �#� .9��0�-#���# 0�1�6 �#$����%�0���0��.�"�5��-#����/���0��1�7����-#� -��"����%��-���#0��!���! -:�# ��./�<-�� %!� .9��"� ��# ?�� ��/�"���#�!�#$%�$#��P .9��52����!!.���� ��� ;�.�!��1# 6���-#���.@��9���� -# �.������-����6 ;�� -�% 6 ��./�-#�.��.���/��-��7�!%�5�!#�������%���#$> �������!/��6.$7�����!�-���#0��!���! -:�# � ����� ��� �� E!��!%�5�4������#�� .���4�����R�0����%��E�p��E-��3 <.�%�#������ !�#$%�$#��� ����"�%��-�������0�-�3 .$-#������% 0��M�D��!%Y�= $% �����0��% ����K��M�� Kq!� �� Q�#"�]���P�����������������3�D�Y�D�#����J���M����LL M�LW�� �� = 2�.9!%�5��]��p��R�0��.�"�/��-�.$-#������%���0 � ��#� .����M�D�Y�D�� ..$#"�/����KJ��M�����!� �� r)')st�gu�h��r��()s� M� lv)st� tuwvg'x� �y� s)llvgjt**� � z� �twuj�wvtn�� �w�M���J���M�m��������������M�N����� L� 4�#1�;%�5�4�C���������� ����0��.�"��� �� <.�%�#�3 ��%���M�U�Y�{D��|�!/}��� ���M��JW�!� ����� ��� =��� �������� �� � � ��� �� �� � � ���� ���>7� �G�*[H� 3���6� ?� �(�� �� �� �� ���� �� �!� ��� �������� �� �� ���� �! �� ����� �,��(� G ������ �@/� ��>I� �GAH�� 3��� A� .� �����!� � � ���� ��� ������ �� ������3��2 �!�,����!� ����� B$@� �� B'@� .� ��� �,���. ��� �!� �� ���� �!� ��4 �"�%!�7�"�.��0�� !!�;�#- � ��!�?$���#� ������%� �!���� 9�!��6 #1��!�.�O /�� ��69.�-!� ����� / %!�7�� 0�D %��#�.�- 3��6��#-/ %�!�4 3/.�/9�!��9.���� 3��'�# ���#-/!�� 5��; #�-�5��9. 3�- �/�� ��#�.�- ��/.� �!�$���< 5�.!5����2$# � �%�0�%9.�%!���� 3!�-�����01��= 39.�-!���?>$��. ���������� ��6 �1�.�"���!�%��@ /���.� #�^� 3�� 0��3�%���^ %��#�.�-/ %!�7 ���!�7 %��%�!�4 3 ����!��0#���- �9�!�� ��0�#�2/ . 3#�:9�!��@��6�� 3�#%��/�� ��#�� 6��. 3��#-/!�>��� ��#�- ��!�?$� 3�-5�%!�7�� 0�� ��@���5�%��#�. 3�� 7��%�9��1 5��� �!5��9. ��%��1 #1� 3!�7���0��6 .� ����.� #���% 5�0$!!!�;�#-R^� �5��! -������� ��.�1�� ��7�-!�1� ����!�7 %��%�!�� ��3.�%/!�� 29���$ 3%$��#-0��7�1�- >����� #!�-��� 3��@�� �����! 3!�7���0�"���!�% /���.� #��"�% 3���#-��%�#�V 3.��0�������� �%��1 #1���"� �%�@�.��- �����7�� #"E /.���������#- �%��-��#%�� ���-�7 = ��#�!�����-�% 6 ���0����6 ��!���!����������!����!�� �6.$7���/�����I���G�*[H����./���&'()�*+& � , � ����"���#�3 !�������� ��!���!:�#�7�!%�5����.��6�5�������2�#�0�� ��!������[ G%#�� /��H����0�����%���5�6 ��!���!���������!����!�� �6.$7���/����I���G&H��- # ..�.�-�-����1# 6��0�7�-�� G%#�� /��H�����7�-����!����!:�#�7�!%�5������%#�.��6�5 G%#�� /� �H��]� .�6� 6 ��!���!��5� -�% 6�� ���� 7�� �����!����!�9��6.$7���/�-# %��7�!%�����$��.�7�� ��!/��-#� 2�#�0�� ��!��������������� �Å� ��.$7������� %!�� .9����6� 7�������!������%3 #���#����!��5�� n)o �I��� Å�!$?�!����������92���.�3 ������.����6.$7���/�!������������!�!� �./>?�5��� M�L ���� E-��� .9����$!.���/�-�.$7���/�<.����������%3 #��-��%�� !� <%�����7�!%�5� �;��%�5� -#�������� � � 1.��� ��������������������������������� ��!�� �"�#�������$��#� ��% � &�%!�� �����!�����&��&����� �����!��'��'� �� � ()*+,-./ # $ % �����������0 � ������� ������� �������������� �� 3�� � C� ���)����� � � �� �CD� ��C ��/� ������C �. � �3�� �C����� ���� ����+� ���� ��C ���C��C�� �� ���. ,C���C!� �C� ���� �C� �� ���- �� C� �C�� �+ ���3C! �)��) �� �����+ C�� �� ��)�� �� �+ ���3C#� ������C�� ��. �C���� �� ���,C��/� � �� � 3��-�E 2��� � �+ ���3CE#� ��3. � ���� �� ��C ���C��C��� F� ��� C� �� ����2 C� ����� �)��) �� �����+ C� ���,C��� �� ������C� � ���� �� � 2�3� ����� C�� �C ���� � �/� �� ����� ��C� �� �+� C� �,���� �+ �C ���� ���C��C�C����C ���C��C���F� � ���� �� �- #�3��. ��#� 5��5���� C/� 0�� +��� ��� �E 2��� ����� 2�. ���,�� �� ��� �C�+��� ��� ���,��#�6 � � 7� $&Å� � �� �� . �����2 �#� �(�� �#� �C �� ��C� �� �!�6 8�9� 7� $$& Å� � &'() *� ��$&�+(,&"*� ��*-�.+�$ )/0,"*0�$ �$&�,"1�"0�$ �$&�+(.),2,��-0 '��-0�)3�00� ��1�$1)+�$ -)0),$+0,(*0(,)+� ()*+,-./ # $ % 45�5�$67�689:�05�5��;�<=�>?�8;:� 5 5�'9�=;@� Xvt��gxvu�touj)wug�'�lj�e�tns�y�j�vgxv�ejgxvu'tss�()��~ ���' )� s)llvgjt� s�esuj)ut��tjt� �gsw�sst�� �'�tj� w�'3sg�tj)ug�'� �y �gyytjt'u� s�jy)wt� ujt)unt'us�� &'tolt'sg�t� s)llvgjt� l��gsvg'x utwv'g��t� w�nl)uge�t��guv�~ ��lj�3��wug�'� utwv'���x��v)s ett'��t�t��lt���guv��lugng�)ug�'��y�s)llvgjt�s�jy)wt�ujt)unt'u ��jg'x�uvt�y�jn)ug�'��y�s)l3lvgjt�ngwj���lugw��t's��y�t��glugw )'��slvtjgw)��xt�ntuj����tjngssge�t��)��t��y�s�jy)wt�j��xv'tss v)s�ett'��tutj3ng't��)s�su)'�)j���t�g)ug�'��y�stwug�'��[ ) �I�� Å ��)'��n)ogn�n�vtgxvu��y�s�jy)wt�j��xv'tss��[ n)o �I��� Å��
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101844
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-11-29T08:58:02Z
publishDate 2003
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Осинский, В.И.
Гончаренко, Т.И.
Ляхова, Н.Н.
2016-06-08T10:58:16Z
2016-06-08T10:58:16Z
2003
Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ / В.И. Осинский, Т.И. Гончаренко, Н.Н. Ляхова // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 94-98. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101844
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃
Article
published earlier
spellingShingle Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃
Осинский, В.И.
Гончаренко, Т.И.
Ляхова, Н.Н.
title Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃
title_full Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃
title_fullStr Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃
title_full_unstemmed Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃
title_short Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃
title_sort влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах ingan/al₂o₃
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101844
work_keys_str_mv AT osinskiivi vliânieobrabotkipoverhnostičipovnaékstrakciûizlučeniâsverhʺârkihsvetodiodovnageterostrukturahinganal2o3
AT gončarenkoti vliânieobrabotkipoverhnostičipovnaékstrakciûizlučeniâsverhʺârkihsvetodiodovnageterostrukturahinganal2o3
AT lâhovann vliânieobrabotkipoverhnostičipovnaékstrakciûizlučeniâsverhʺârkihsvetodiodovnageterostrukturahinganal2o3