Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101844 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ / В.И. Осинский, Т.И. Гончаренко, Н.Н. Ляхова // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 94-98. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859623823536553984 |
|---|---|
| author | Осинский, В.И. Гончаренко, Т.И. Ляхова, Н.Н. |
| author_facet | Осинский, В.И. Гончаренко, Т.И. Ляхова, Н.Н. |
| citation_txt | Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ / В.И. Осинский, Т.И. Гончаренко, Н.Н. Ляхова // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 94-98. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| first_indexed | 2025-11-29T08:58:02Z |
| format | Article |
| fulltext |
�� �����������
���
�����������������������������
��������
������������ � �!����� "���#�!�#$%�$#� &'()�*()�*
+�
�
,
�
�-�!.�������#��/�� 0��/���!��1�.���2�#�%���-#�3
���������4�!�%�5���$�#����5�%� �����5���0����63
.$7���/��1.�6%�5�%��
�8���!���5���6�.���5��1. !�/0
!-�%�# �� �1$!. �.�� ����0��!-�.96�� ���� ����:�#3
� ;�����0�<%# � 0�����!-.�/0���./�-���2���/�-.��3
��!����-��7�!%�5�6 -�!����!7���� ��/���:�#� ;���
��# 6.�7��0�!�"� .9��0�$!�#�5!�� 0�������;��!%�0
-#�1�# 0��= � �!����� �6.$7 >?�0� "���#�!�#$%�$#
&'()�*()����� !��/?��� �#��/� #�2 ��!/�-#�1.��
!�6� ��/��!��7��% �1�.�"��!��� ��-��<::�%�����!����
!#�%$�!.$@1��-#���2 >?�"����!�����# 6��1�7���
. �-��� % .�� ��/��= #/�$�!��#�5�����2�#�%���!-�3
.96$>�!/����"�%��-������������#����# !���#���%�3
��#����!�1�����<::�%�������./�!�6� ��/�%� �����3
# 6��#��0�!�#$%�$#���1�!-�7�� >?�0���!�%�5���$�3
#����5�%� �����5���0����6.$7���/�A�B��C���#�!�#$%3
�$#�� � &'()�*()���1�7�����# ?�� >�!/������ ��
DE�3"��#����5� �<-�� %!���� �-��.�@% 0�! -:�#
�� ���#����F��.���F���.?���5��
��%���!��#���� 3
;��5�-.�!%�!���#�!� �G
�H�
�6�-. !����� ��!�����! -:�# ������ �����%#���03
��.�"�5���#�6 >�!/�7�-��# 6��# ����
�
�
�%���%�!������������!.�/��%���#�0�-�����/�!/���3
%�����%��� %���G#�!���H��4������6.$7���/�-#��!0����
7�#�6�! -:�#��$>�-��.�@%$��-#�6# 7�$>�����!����� 3
- 6����������"��!��� ��E�� %��6� 7���.9� /�# 6��;
��-�% 6 ��./0�-#�.��.���/�! -:�# �G�
�
I��JKH�����6�$0
-#�������%�6� 7���.9�����1# �������# @���/���
"# �/0�- # ..�.�-�-�� ��6�! -:�# ���6��!�����7����
!�������� 0��� ��!����� #!���� �" ..�/���:�!:�� �" .3
.�/�<::�%�����5���������6.$7���/��!$?�!��./��!/�!
-���?9>�.��6���0�!�!�����A�B���#��<������0����63
.$7���/���@���$��.�7��9���L�M�K�# 6�-��!# �����>�!
�"����������7�#�6�"# ���- # ..�.�-�-�� ����6� ���
<.����������%#��-��%��� ��!������! -:�# �6 �#$�3
�/��!/��"����!�%�5����#��!�9>�
4�� !��/?�5�# 1�����!!.���� � �<%!�# %;�/��6.$3
7���/��6� 7�-��� !��#0/#%�0� !������������ � �!����
! -:�# *���#�� �" ..�/�-#��# 6.�7��0��1# 1��% 0
-���#0��!�����"�����#����N 6# 1�� ���-#�;�!!��-�3
.�#��%���! -:�# �-��-#���.���5��./�!�������������3
����%���!$?�!�����������$��.�7�� >?�5�!�����!�9
!�����������
O�.9�� !��/?�"���!!.���� ��/�M��-#���.������-��3
� .9��0�$!.���5��1# 1��%��-���#0��!���! -:�# ��
-#�;�!! 0�!�6� ��/��6���"��<.����������%#��-��%����
7 !���!����<..�-��7�!%�0���!:�#�7�!%�0�.��6���!�!� ��
7�-���!�����������
������
����
��������
���������
�������
�������
���
P./�#�2���/� %�$ .9��5�6 � 7��<%!�# %;����6.$7���/
�6�"���#�!�#$%�$#�� ��!�����! -:�# ����10������# 63
# 1�� �9�-#�;�!!��:�#��#�� ��/�-���#0��!���<.�3
���������%#����0�# 6��#���-$������0 ��7�!%�0��0�3
��7�!%�0��-. 6�����0��# �� ;�����0�����-�# �$#��0
���#$"�0���6��5!���5�
D�0 ��7�!% /�2.�:��% ��= �<����<� -��:�#��3
#$��!/� 6 � �� /�:�#� ���%#�.��6��-$���� !�/��/
��!�$-������!�#�0�$".����P./�<��"��-�!.��# 6��.���/
-. !������ �7�-����%#�- # ..�.�-�-���-����#" ��!/
1# 6����5��1# 1��%���/�./>?�5!/�����0��.�"���-#�3
��@$��7��5��-�# ;��5��%���# /��1�!-�7�� ���!���#3
2��!����:�#�����#�%.��������.��6 %#�-.������� 3
%$$�����-#�! !�� �����7�-����1# 1 ��� >�!/�-�!3
.���� ��.9��� �#��/� .� 6�����2.�:�� .9����
��!�#$���� ���� %���#���-�6��./>��-#���!��� 7�#3
���$>��-�.$7�!���$>���7�!���$>��1# 1��%$�-���#03
��!����4�6��$�%��� %� �2.�:�� .9��"����!�#$���� ��!
7�- ���-�� ��!/��0. @� >? /�@��%�!�9�
��!.���� ��.9���-#��6�����!/�2.�:��% �7�-��
!�/6 ����� 1# 6�����!�-#��$����.9��5��� "# ��� 3
;�����5�-�� 7�5���!�#$���� ����#�����1�!-�7�� ��
1�.92$>�-#��6������.9��!�9�����92$>�2�#�0�� 3
��!�9������92$>�".$1��$�� #$2����"��-���#0��!�3
��"��!.�/��Q. "�� #/�-#��$����.9��5�-�� 7���$� ��!/
!��� �9�!�7�- ��!.�5�.>1�5���.?������#��<�������3
��!/���6��@��!�9�!��� �9�6 � ���5�!.�5�����!%�.9%�
<� -����7���-���2 ���% 7�!�����1# 1 ��� ���0�7�-���
R�.?�� �!S�� ��-#���./��!/�".$1���5�� #$2����"�
-���#0��!���"��!.�/���$�� #� /���.?�� �!S�� ���.@3
� �1��9�� ���!%�.9%����%#����#���1�.92��".$1���
����� ��� �� �
��
���� � ����� ������������
�
,
�� �
���
������� � �
��
���� �!
TPU�L�L���J��
�����������
��� ����������
��������
�
��
��
��������������
������ ���
����������
��
�������
��� ���
������� !"�
#
$
%
���������� �
��������
������� ���������������
����������
��������
���
��
������������������������������� ��
��
��
�
"��
������������
��#�$%�&$�$&&'
������
�� (� ���)���(� *
�
��
���� � ���� ��� ������ ����+��
�+����� ���
�������� �� ���,����(+� �����-.
�+� ���� �� ��� (+� ��
���+� �)��)�
�� �����+ ��
��� �� ��)�
� (� �������(� �������
�� ���,���� ��� �����.
����!� ���� ���
�������� ��
���
�/� ��0��
�� �� �� ���������#0�!� �+� �
�����
��� 1������� (� ��
����2.
(�� �������� �)��)�
�� �����+ ��
�� ���,���� �� ��������� �� �� ��� � � �3�� *����
��� ��
����
�
�/� �
���
��
�/� *����
����
�+� �� �,������
�+� �� � �� ���
���� ������ ���
���������4�
� ���� ��� �- ��� 3�� �.
��� 5���+���
��
�� +���
��� ��
��� ���� ����,��
����
��� � �
�� � ���� ���,���� 6
�
� 7$&� �� ��
�����2.
�!� �(��
�!� ��
�� ���� ��
�!� 6
8�9
� 7� $$&� Å
�
�L�����������
���
����������������������������
� #$2����"��!.�/�� �� %@��$7���� �9���%.��������:�#3
����7�-������6 � ���5��E1�7���<����!.�5��!��� ��!/
���� �<� - �7�#����5���7�!����5��1# 1��%�5��7���-�63
��./���-�.$7 �9�.$72���% 7�!����-���#0��!�����:�#3
���7�-��������92$>�".$1��$�� #$2����"��-���#03
��!���"��!.�/��C.$1�� �� #$2����"��-���#0��!���"�
!.�/�����7�-�����1# 1�� ���0�2.�:��%�5�!�/6 ����
1# 6������ 6 ��!������ 6�#��!��!���2.�:�� .9��"�
��!�#$���� ���"��!%�#�!�����!%�#�!���!S�� �
�!!.���� .�!9�� %@��2.�:�� ����7�-���!��1��3
���� 1# 6������%���#����1�!-�7�� ���1�.�������#��3
�$>�!�#$%�$#$�-���#0��!�����#�2��2����1# 1��%$
!��1������ 1# 6�����7�-�����>��#���$>�� ���$>
-���#0��!�9��1�6�!.������ -# �.���5��1# 1��%���V.�3
:��% � !��1������ 1# 6�����/�./��!/�1�.���-#��63
������.9��5����1�!-�7�� ���.$72���% 7�!����-���#03
��!����4�-�#�$>��7�#��9�<����1$!.��.������!$�!�����
���10�����!�����@�!�%���%#�-.�����7�-�����0�-#�3
%.��� ��/��%���#������6�� �����6��%��������� -#/3
@���5���7�- 0�
��!�#$������./�2.�:�� ��/�!��1������ 1# 6�3
�����6"����./.!/��6�!� .���4�% 7�!����2.�:$>?�0
� ��#� .���-#����/.�!9�������� 1# 6������!$!-��3
6���!��!-�.96�� �������%#�-�#�2%������M�W���%���
���%�0���%#�-�#�2%���6�#��!��!�9>�L�M��
��%�����3
#���-#�"����.������!$!-��6��� 1# 6������-�#�2%�
���$7�� .�!9��7���$.$72 ����0�"# �$.����#�7�!%�5
!�!� ���������2��������#��0���@��%�0�%��-�������
��� %�5�!$!-��6���X�Y�Z�I���Y�G�MLH��P./�-���2���/��/63
%�!�����!$!-��6�>������.!/�<��.��3".�%�.9��.��".�3
;�#���
D�0 ��7�!% /�-�.�#��% ��1�!-�7�� ���-�.$7����
6�#% .9��5�-���#0��!���1�6�� #$2���/� "�����#���
P./�$� .���/�� #$2����"��!.�/���-�.$7���/�-���#03
��!���!�[
)�
≤ ���L\�
M���%�����10������!�/�9��1?�5�!.�5
7�- ������M���# 6 �-#���2 >?�5�".$1��$�� #$2����"�
!.�/�� �-#����$?�5��-�# ;���2.�:��%����6��!����
7�����0 ��7�!% /�-�.�#��% � .� 6��5�- !��5��!���#3
@ ?�5���%#�-�#�2�%� !$1��%#����5� 6�#��!��!��
]�D�
�L���!� �./���� #$2����5�!.�5�".$1���5�����3
!%�.9%����%#����#������6# !� >?�5�!�$���92�����
���#��!���� ��#� . �����#����!�����!���5�GLM�
H\�
M�
�%�����<���$�:���2�$>�-�.�#��%$���-�.�/.��0���3
%�3��0 ��7�!%�������������!� �./>?���� #$2����5
!.�5������ .9��5�".$1���������!��$���#����!��5���3
�������%��
�!!.���� ��/�-�% 6 .��� 7��� �./�:�#��#�� ��/
��%#�.��6��6�! -:�#���5�-��.�@%��7�-������10�3
�����-#����/�9�-�!.���� ��.9����-�.�#��%$���0 ��3
7�!%$>��0���%�3��0 ��7�!%$>���0���7�!%$>����#� /
-#����/��!/�� ��-�# ;���-#��� #���.9��5�-�.�#��%��
P./�<��"��� �-�.�#$>?�5���!�#$������ %.��� ��!/
6 �2 ����5.�%��:��#��:�.9�#�� .9� /��% �9��.��1 ��!��
4�% 7�!����-�.�#$>?�0���?�!����!-�.96$��!/� .� 63
����- !�����!$!-��6���
��#���-�.�#��%�5� .� 6� /�- !� �� ��!��!/��
�% �9�-�.�#���7��"����!�#$���� �����# ��!/�����% �9
-�.�#�� .9��"����!�#$���� �����7������L�M��
������4
-#�;�!!��-�.�#�� ��/���# 1�7$>�6��$���-#�#�����-�
% -./��-�� ��!/� .� 6� /�!$!-��6�/��= �-#��/@����
�-�# ;���-�.�#�� ��/�!%�#�!�9�!S�� �$���92 ��!/
��#�6$.9� ����6��! � .� 6��0�6�#�����-���@���/��0
1# 6����5�!-�!�1��!���
D�0 ��7�!% /� -�.�#��% � -#�� <����: %��7�!%�
-#��!� �./���!�1�5��!$-�#���%���2.�:�� �����N 6��#
��%#�; # -��� -�!.����0 ��7�!%�"�� -�.�#�� ��/
!������!��$���6�#��!��!���-�.�#$>?�"�� .� 6��"�
��%#�-�#�2% ��4�#�6$.9� ���� %�5��1# 1��%��� #$3
2����5�!.�5�-�.��!�9>����!��� ��!/�������@���1��9
!%�.9� $"������ .������<���$�:���2� /��-�# ;�/
-�.�#��%��-#������!/�0���%�3��0 ��7�!%�������3
������$�9�<��"������� ��6 %.>7 ��!/�������0 ��7�!%��
$� .�����-#��$%����0���7�!%�"���6 �����5!���/�� 3
��#� . �7�- �!�-�.�#$>?���!�!� ����
^���7�!% /�-�.�#��% �7�-���-#�����. !9���$!.�3
��/0�. ��� #��"��-���% ��# ����./�����!���.9���-�3
��#0��!��� 7�- �� P./� <��"�� 7�-�� -���? .�!9� �
� 0��/?$>!/���!�!$���!��# ����.���-��!� �%$����;���3
# .9�$>�7 !�9�%���#�5���-#�#�����-�� � .!/�-���%
�# ����./�������"����6��5!������$� ./��!/�� #$2��3
��5�!.�5�7�-����_����1�!-�7�� ����-�.�#��%$�-���!�5
!:�#�7�!%�5��.��<..�-!��� .9��5�-���#0��!����!-�3
!�1!��$���-�#���!$���?�!������# !���#���$!%�#/����
!� 1�.�6�#$���-#�;�!!��# �.���/���$.$72 ���% 7�!���
�1# 1 ��� ���5�-���#0��!����R % /�0���%�3��� ��3
7�!% /�-�.�#��% �/�./��!/�-�!.����5�!� ���5���0 ��3
7�!%�5�����:�% ;���-���#0��!���
��!.�� -#����%�� 7�-��� �� ������6�� ���5� ����
-���#0��!�9��0�!� 1�.�6�#�� . !9���:�%!�#$>?�0
# !���# 0����% 7�!����%���#�0�-#����/.�!9��� -#���#�
!$.9:���� �#�/��<��.���� ������# $%!$!� /�%�!.��
�.��# !���#�����!�.�5��` ����7�-��!$2�.�!9�����%�
7�!��"��!$0�"����6�$0 �;���#�:$"�#�� ������.��� 3
"#�������:# %# !�����6.$7������
� -:�#�/�./��!/�0���7�!%��� .� %��������%�!3
.����-�<���$��"��0���7�!% /���0���%�3��0 ��7�!% /
-�.�#��% �6 �#$���� ��P./�-�.�#$>?�"���# �.���/
��0 ��7�!%��-�.�#�� ���0�! -:�#���0�7�-���1�.�
�-#�1�� ���!.��$>?�����!�%����-�# �$#�����# ��3
��.�Y��#��:�!:�#� /�%�!.�� �=
�
N
�
�G�
�M�L
abHc�# !3
-. ��1$#����)
�
d
�
,
J
�G�
a�Hc�# !-. ��:��#�!��"��!���3
; ��ef
�
�GKL
a��Hc��# !-. ��1�!$.9: � �% .�/�G�L
a��H�
U#����# !!���#����0���������-�#!-�%������" 6�3
����-�.�#$>?����# �.�����! -:�# ��P./��-#���.���/
#�@������1# 1���%�7�-����!!.���� ���-#�;�!!���13
# 1��%�� �-. !����! -:�# ��%���#���-#����/>�!/��
% 7�!����-��.�@�%��./�DE��M�"��#����5�<-�� %!��
"���#�!�#$%�$#�&'()�*()�*+�
�
E
�
���6��!�����7���# 1�3
7$>�-���#0��!�9� ! -:�# �� � � %���#$>�-#������!/
<-�� %!�/� ���#������ ���10������ �1# 1 ��� �9� ��
-�.$7���/��7��9�� .�5�2�#�0�� ��!�������92�����
7���!$?�!�������$��#�@ ���-. !������E1# ��$>����3
# 1�7$>��-���#0��!�9���@����1# 1 ��� �9�!�1�.92�5
2�#�0�� ��!�9>�� %���# /� �-#���./��!/� �-#���.��3
�����$!.���/���<%!�# %;����6.$7���/��6�7�-���
4�% 7�!����-�.�#$>?�"���# ����./�1�.��!!.���� �
;�.�5�#/��!.�@��0�!��������5���- � ghb�
�
ih
�
��# 6.�73
����:��#�!���� !��������/� !�#��� 0.�#�#�:.>�#�3
��� ��G���f
�
H�����#�
bb�f
�
�/�./��!/�� �.$72���-�.�#$>?����# ����3
.����./�-.�!%�!��5�! -:�# �G�
��H��G���
H��G
�H��
G�
��H��-�!%�.9%$��1�!-�7�� ���� �.$72���% 7�!���
-���#0��!���!������#��������$� .������6 "#/6��3
��5���R��-�# �$#���# �.���/�.�@ ������ - 6�������
M�L
a��A�B��D %!�� .9� /�!%�#�!�9��# �.���/�M�
�W
�%�*������-#���L
a���
E�� %��� �1�.���# !-#�!�# ��������636 �-#�!��3
�������0��.�"�7��!���/�./��!/�-#�;�!!��# �.���/�! -3
:�# �-���%�������#�� ����� - 6�������-�# �$#���
M���
�����
M��
a����%�#�!�9��# �.���/�! -:�# ��
���������� �
�������
������� ��������������
�W �����������
���
�����������������������������
-���%������#�� �/�./��!/�.�" #�:��7�!%�5�:$�%;��5
���-�# �$#��G#�!���H�
=���!� �% ���<��"��!-�!�1 �/�./>�!/Y�!�.�%���3
��!�9��# �.���/����!�% /����-�# �$# �-#�;�!! ��6 3
�#$��/>? /��"��-#�����������<-�� %!� .9��5�$!� ���3
%�����-#���.���!�9��./��1# 1��%��7�-����P./�!��@�3
��/����-�# �$#���# �.���/��-#����/��!/�����6 ;�/
" 6���5�!#����
�#��#� %������������3-. 6��������# �.��������3
-�# �$#��-#�;�!!���-���@ >�!/�����
�M�L
�����7��
-#���.�����./��# �.���/�7�-���
���!# �����>�!��1�7���������� ���@��%�!���5
0���7�!%�5��1# 1��%��������-. 6��0���7�!%�"���# �3
.���/� �1. � ��� #/����-#���$?�!��Y��^R�-#�;�!!
!$0�5����������- !��5����%���!-�.96$�����#� %������
" 6��1�6�#�����������!-. ������������2����c��^R
�1�!-�7�� ���1�.�����!�%$>�# 6#�2 >?$>�!-�!�13
��!�9������92$>�!��-��9�1�%���"��-���# �.�� ��/�
�#����^R��-�/�./��!/���6��@��!�9�!����!���9��������
� %$$������1S����#/��-�!.���� ��.9��� ��-�.�/�3
��0��-�# ;�5��# �.���/��!�%# ���9���0��.�"�7�!%�5
-#�;�!!��1# 1��%�����$���92��9���#�/���!�9�6 "#/63
����/��.��-��#�@����/�7�-����.��-��.�@�%�
4�% 7�!�����# �/?�0�" 6�����"$���!-�.96�� �9!/� #3
"����:��#!���#@ ?���!��������/�bf
�
��bf
�
�� f
W
��bhf
�
G-#��-�#�"���0�6� 7���/0�1��1 #��#$>?�0��������
M��
�<4H�G#�!��H��$".�#��!���#@ ?���!��������/�b,�
b,
�
��G-#��� �.�����W
�M�K
�� ���-#�����-�# �$# 0���2�
�
�U�!%�#�!�9��# �.���/�]�
�
,
�
�G
�H�!�!� �./����
ML
M�����
M��!�*!H��� ��� %@��db�
�
��ddj
��
G!%�#�!�9��# �.���/
��L���*!�-#���
E�����4k���?��!���
����4�*!��H�A�B�
�����5���# �� ;�����5���@�"��4�!�%�"��%#�!� .3
.�7�!%�"��!���#2��!�� �-���#0��!���-��.�@�%���7�3
-�����@�����1��9!/������.9%��0���7�!%����# �.�3
������ #$2����"��!.�/�������!�-���?9>������"���.�
# �� ;�����"����@�" �
E!�������: %��#����$.$72 >?���!�#$%�$#$�-�3
��#0��!���-#����@�"���/�./��!/�-#�;�!!�#�%#�!� ..�3
6 ;���� #$2����"��!.�/�� %������-#���% >?�5�-#�
���������# �� ;���������@�"���N�%#�!� ..�6 ;�/
� #$2����"��!.�/�!�-#���@� ��!/�!�/�������$�#��3
��0�� -#/@���5���%#$"���:�%��������!����0���0 3
��7�!%�5��1# 1��%�5��_���� <::�%����7��.����:�%3
!�#$��!/����������#���"����!%�5���-�"# :������!9�
7$�!�����.9����%�� -#/@�����$�!�!��/��>�-���#03
��!����1# 6; ��4���!� 0�!�.�% .9������ -#/@���/���
� -#���#���1.�6��; # -���������@�" �� 1.>� ��!/���3
-�.����.9��5�%���# !����!7�6 >?�5�-�!.����@�" �
0��/�! ���; # -����0�#�2�����������-��7�!%�����%3
#�!%�-��� ����@@����5�-���#0��!����1# 6; �
= �!� ��/0�0���7�!%�5�G0���%�3��0 ��7�!%�5H��13
# 1��%��� �� %@��� ��-�# ;�/0��7�!�%��7�-���%���#�.�3
#$>��7�!���$���0��.�"�7�!%�0�!#���G# 6.�7�����#" 3
��7�!%���# !���#���.����!�!� ����./��# �.���/���-�.�3
#��%������$����#�H�
U 7�!������5�%���#�.9�6 "#/6����5��#�!�%��-/����
-����%�����!%�.���� �-���#0��!���-��.�@�%���7�-��
�!$?�!��./.!/���6$ .9����!��!-�.96�� ������-��7�!3
%�0���%#�!%�-����. 6�#���������#:�#����# �����!
-���?9>�-#�:�.����# �
P./�!# �����/�1�.��!�/���l)!-#���.������2�#�0�3
� ��!���� ��$7 !�%����.���5���
��%����./��-���#0��!���
�1# 1�� ���5�� ���G#�!���H����-�%$-��5�G��-�#���5H
G#�!��LH�-. !����! -:�# ��= �#�!��W�-�% 6 � �-#�:�.�3
"# �� �2�#�0�� ��!�������%#�!�#$%�$# �G#�!��JH����# 3
1�7�5�-���#0��!����4������7�����0 ��7�!% /�-�.�#��3
% �6 �������!��@ ����2�#�0�� ��!�9���$.$72 �����%#�3
����#����!�9�-���#0��!���G#�!��KH��E�� %��".$1�� �� 3
#$2����"��!.�/��!��@���!� ��!/�6� 7���.9��5�G#�!����
WH�� �-�<���$�:���2�$>��-�# ;�>�-�.�#��%�����10�3
�����-#������9�0���%�3��0 ��7�!%�����.��-. 6��3
0���7�!%�������� ���
N�!�����` ��!���!�9�!%�#�!����# �.���/�! -:�# �m�������-�# 3
�$#��X� �� -���%�� � 7�!��"�� ����#�� �
N�!�� ��� ` ��!���!�9� � ��.?���� !�# �.����"�� !.�/�+�
�
,
�
�� �6��3
#����5� <..�-!����#�7�!%������������ ��� �#������ ��6��5!���/
������+j��bhf
�
� �� �0� !��!�5� A�B�
���������
� ��
������
�����������������
��
�
�����������������
��
����������������������
���
�
��
�����������
!
"
�����:��;���)������
��� �������-
�����,������������+� ����.
�!� �������
�
����� <�� ��)����� �
��� �� �����-
�� � ���,���� ������ ��+� ����.
�!� � �������
��
�J�����������
���
����������������������������
N�!����V�#�0�� ��!�9� �-��7�!%�� ��-�.�#�� ���5� -���#0��!��� ! -:�# �� !#���� #�:����7�!%��� ��%.������� -#�:�./
[
)
� I� �
��� � �1�.92 /� ��!�� ���%#���#����!��5� �[
n)o�
I� ��
��
N�!�L��V�#�0�� ��!�9� # 1�7�5� !��#���� -��.�@%�� ! -:�# � G6 #$1�@��"�� -#��6���!�� H�� [
n)o
� I� ��L�� � [
� I�JÅ
N�!�� W��V�#�0�� ��!�9� ��# 1�7�5� !��#����-��.�@%�� ! -:�# �[
n)o
� I���K� %�� � [
�
I� L� %�
���������� �
�������
������� ��������������
�K �����������
���
�����������������������������
���������
� ��
������
�����������������
��
�
�����������������
��
����������������������
���
�
��
�����������
!
"
R 1.�; ��
E-��� .9����$!.���/�-�.$7���/�<.�������
��%#��-��%��!�<%�����7�!%�5��;��%�5�
�
�������
R %����1# 6�����!!.���� ����-#�;�!!���:�#��#�� ��/
<.����������%#��-��%��� �7�- 0�"���#�!�#$%�$#�!����3
�������()&'�*+&
�
,
�
�-�% 6�� ����7����./�� %!�� .9��5
<%!�# %;����6.$7���/�<%�����7�!%���1�!��� ����
/�./��!/�!�6� �����-��7�!%��!���#2����5���-���#0��!��
��%#�.��6�!�2�#�0�� ��!�9>��0 # %��#�6$���5�!#����3
#�:����7�!%�����%.��������-#�:�./�[
)�
I��
��
� %!�� .9��5����!���5�����%#���#����!��5��[
n)o
�I���
��
��!.����!��@���/�<��0�- # ���#����1# 1��%��-�3
��#0��!���� .9��52�����#�"�!��/?��� $���92����
2�#�0�� ��!���!$?�!����������$��.�7�� ���<::�%�����!��
����� ��6.$7���/�
�#��;�-� .9� /�����6� �-#��.�@����"��� ���-��0��
!�!������������7������1 6�#$��!/�� �#� .9��0�-#���# 0�1�6
�#$����%�0���0��.�"�5��-#����/���0��1�7����-#�
-��"����%��-���#0��!���! -:�# ��./�<-�� %!� .9��"�
��# ?�� ��/�"���#�!�#$%�$#��P .9��52����!!.���� ���
;�.�!��1# 6���-#���.@��9���� -# �.������-����6 ;��
-�% 6 ��./�-#�.��.���/��-��7�!%�5�!#�������%���#$>
�������!/��6.$7�����!�-���#0��!���! -:�# �
�����
���
�� E!��!%�5�4������#�� .���4�����R�0����%��E�p��E-��3
<.�%�#������ !�#$%�$#��� ����"�%��-�������0�-�3
.$-#������% 0��M�D��!%Y�= $% �����0��% ����K��M��
Kq!�
�� Q�#"�]���P�����������������3�D�Y�D�#����J���M����LL
M�LW��
�� = 2�.9!%�5��]��p��R�0��.�"�/��-�.$-#������%���0
� ��#� .����M�D�Y�D�� ..$#"�/����KJ��M�����!�
�� r)')st�gu�h��r��()s� M� lv)st� tuwvg'x� �y� s)llvgjt**� � z�
�twuj�wvtn�� �w�M���J���M�m��������������M�N�����
L� 4�#1�;%�5�4�C���������� ����0��.�"��� �� <.�%�#�3
��%���M�U�Y�{D��|�!/}���
���M��JW�!�
����� ��� =��� ��������
�� �
� ��� ��
�� � � ���� ���>7� �G�*[H�
3���6� ?� �(��
�� ��
�� ���� ��
�!� ���
�������� �� ��
���� �!
�� ����� �,��(� G
������ �@/� ��>I� �GAH�� 3��� A� .� �����!�
�
� ����
���
������ �� ������3��2 �!�,����!� ����� B$@� �� B'@� .� ��� �,���.
���
�!� ��
���� �!�
��4
�"�%!�7�"�.��0��
!!�;�#-
� ��!�?$���#�
������%� �!����
9�!��6 #1��!�.�O
/�� ��69.�-!�
�����
/ %!�7�� 0�D
%��#�.�-
3��6��#-/ %�!�4
3/.�/9�!��9.����
3��'�# ���#-/!��
5��; #�-�5��9.
3�- �/�� ��#�.�-
��/.� �!�$���<
5�.!5����2$# �
�%�0�%9.�%!����
3!�-�����01��=
39.�-!���?>$��.
���������� ��6
�1�.�"���!�%��@
/���.� #�^�
3�� 0��3�%���^
%��#�.�-/ %!�7
���!�7 %��%�!�4
3 ����!��0#���-
�9�!�� ��0�#�2/ .
3#�:9�!��@��6��
3�#%��/�� ��#��
6��.
3��#-/!�>���
��#�- ��!�?$�
3�-5�%!�7�� 0��
��@���5�%��#�.
3�� 7��%�9��1
5��� �!5��9.
��%��1 #1�
3!�7���0��6 .�
����.� #���%
5�0$!!!�;�#-R^�
�5��! -�������
��.�1�� ��7�-!�1�
����!�7 %��%�!��
��3.�%/!�� 29���$
3%$��#-0��7�1�-
>����� #!�-���
3��@�� �����!
3!�7���0�"���!�%
/���.� #��"�%
3���#-��%�#�V
3.��0��������
�%��1 #1���"�
�%�@�.��-
�����7�� #"E
/.���������#-
�%��-��#%��
���-�7
= ��#�!�����-�% 6 ���0����6 ��!���!����������!����!��
�6.$7���/�����I���G�*[H����./���&'()�*+&
�
,
�
����"���#�3
!�������� ��!���!:�#�7�!%�5����.��6�5�������2�#�0�� ��!������[
G%#�� /��H����0�����%���5�6 ��!���!���������!����!��
�6.$7���/����I���G&H��- # ..�.�-�-����1# 6��0�7�-��
G%#�� /��H�����7�-����!����!:�#�7�!%�5������%#�.��6�5
G%#�� /� �H��]� .�6� 6 ��!���!��5� -�% 6�� ���� 7��
�����!����!�9��6.$7���/�-# %��7�!%�����$��.�7�� ��!/��-#�
2�#�0�� ��!���������������
��
��.$7������� %!�� .9����6� 7�������!������%3
#���#����!��5��
n)o
�I���
�!$?�!����������92���.�3
������.����6.$7���/�!������������!�!� �./>?�5���
M�L
����
E-��� .9����$!.���/�-�.$7���/�<.����������%3
#��-��%�� !� <%�����7�!%�5� �;��%�5� -#�������� �
� 1.���
���������������������������������
��!�� �"�#�������$��#� ��%
� &�%!�� �����!�����&��&�����
�����!��'��'� �� � ()*+,-./
#
$
%
�����������0 �
�������
������� ��������������
�� 3�� �
C� ���)����� �
�
��
�CD� ��C
��/� ������C �.
� �3�� �C����� ����
����+� ���� ��C
���C��C�� �� ���.
,C���C!� �C�
���� �C� �� ���- ��
C� �C��
�+ ���3C!
�)��)
�� �����+ C�� �� ��)�� ��
�+ ���3C#� ������C�� ��.
�C���� �� ���,C��/� �
�� � 3��-�E
2��� �
�+ ���3CE#� ��3.
�
���� �� ��C
���C��C��� F� ��� C� ��
����2 C� �����
�)��)
�� �����+ C� ���,C��� �� ������C� �
���� �� � 2�3�
�����
C�� �C
����
�
�/� �� ����� ��C�
�� �+� C� �,���� �+
�C ����
���C��C�C����C
���C��C���F�
� ���� �� �- #�3��.
��#� 5��5����
C/� 0�� +���
��� �E
2��� ����� 2�.
���,��
�� ��� �C�+��� ��� ���,��#�6
�
� 7� $&� �
�� ��
.
�����2 �#� �(��
�#� �C
�� ��C� ��
�!�6
8�9�
7� $$& �
� &'() *� ��$&�+(,&"*� ��*-�.+�$
)/0,"*0�$ �$&�,"1�"0�$ �$&�+(.),2,��-0
'��-0�)3�00� ��1�$1)+�$
-)0),$+0,(*0(,)+� ()*+,-./
#
$
%
45�5�$67�689:�05�5��;�<=�>?�8;:� 5 5�'9�=;@�
Xvt��gxvu�touj)wug�'�lj�e�tns�y�j�vgxv�ejgxvu'tss�()��~
���'
)� s)llvgjt� s�esuj)ut��tjt� �gsw�sst�� �'�tj� w�'3sg�tj)ug�'� �y
�gyytjt'u� s�jy)wt� ujt)unt'us�� &'tolt'sg�t� s)llvgjt� l��gsvg'x
utwv'g��t� w�nl)uge�t��guv�~
��lj�3��wug�'� utwv'���x��v)s
ett'��t�t��lt���guv��lugng�)ug�'��y�s)llvgjt�s�jy)wt�ujt)unt'u
��jg'x�uvt�y�jn)ug�'��y�s)l3lvgjt�ngwj���lugw��t's��y�t��glugw
)'��slvtjgw)��xt�ntuj����tjngssge�t��)��t��y�s�jy)wt�j��xv'tss
v)s�ett'��tutj3ng't��)s�su)'�)j���t�g)ug�'��y�stwug�'��[
)
�I��
Å
��)'��n)ogn�n�vtgxvu��y�s�jy)wt�j��xv'tss��[
n)o
�I���
��
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101844 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-29T08:58:02Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Осинский, В.И. Гончаренко, Т.И. Ляхова, Н.Н. 2016-06-08T10:58:16Z 2016-06-08T10:58:16Z 2003 Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ / В.И. Осинский, Т.И. Гончаренко, Н.Н. Ляхова // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 94-98. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101844 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ Осинский, В.И. Гончаренко, Т.И. Ляхова, Н.Н. |
| title | Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ |
| title_full | Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ |
| title_fullStr | Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ |
| title_full_unstemmed | Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ |
| title_short | Влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах InGaN/Al₂O₃ |
| title_sort | влияние обработки поверхности чипов на экстракцию излучения сверхъярких светодиодов на гетероструктурах ingan/al₂o₃ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101844 |
| work_keys_str_mv | AT osinskiivi vliânieobrabotkipoverhnostičipovnaékstrakciûizlučeniâsverhʺârkihsvetodiodovnageterostrukturahinganal2o3 AT gončarenkoti vliânieobrabotkipoverhnostičipovnaékstrakciûizlučeniâsverhʺârkihsvetodiodovnageterostrukturahinganal2o3 AT lâhovann vliânieobrabotkipoverhnostičipovnaékstrakciûizlučeniâsverhʺârkihsvetodiodovnageterostrukturahinganal2o3 |