Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покритий

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2012
• Hauptverfasser: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кошевой, К.И., Опалев, О.А., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101867
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покритий / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 328-335. — Бібліогр.: 27 назв. — рос.

Приведены экспериментальные результаты исследования влияния величины тока разряда и состава газовой фазы с относительно низким содержанием аргона на кинетику процесса синтеза в плазме тлеющего разряда легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий. Показано, что, при введении азота в газовую фазу за счет соответствующего уменьшения концентрации водорода, скорость роста наноструктурных алмазных покрытий может как возрастать, так и уменьшаться в зависимости от соотношения концентраций компонент газовой фазы. Проведен анализ и сравнение полученных экспериментальных данных с имеющимися литературными данными по влиянию на кинетику процесса синтеза алмазных покрытий состава газовой фазы, мощности разряда (температуры). Наведено експериментальні результати дослідження впливу величини струму розряду і складу газової фази з відносно низьким вмістом аргону на кінетику процесу синтезу у плазмі тліючого розряду легованих азотом наноструктурних алмазних покриттів. Показано, що при введенні азоту в газову фазу за рахунок відповідного зменшення концентрації водню швидкість росту наноструктурних алмазних покриттів може як зростати, так і зменшуватися в залежності від співвідношення концентрацій компонент газової фази. Проведено аналіз і порівняння отриманих експериментальних даних з наявними літературними даними по впливу на кінетику процесу синтезу алмазних покриттів складу газової фази, потужності розряду (температури). The experimental results of investigations of the influence of the discharge current value and composition of the gas phase with a relatively low content of argon on the kinetics of the synthesis process in glow discharge plasma of nitrogen-doped nanostructured diamond coatings have been discussed. It was shown that under feeding of nitrogen into the gas phase by a corresponding decrease of hydrogen concentration the growth rate of nanostructured diamond coatings can increase or decrease depending on the relative concentrations of the gas phase components. The analysis and comparison of the experimental data with the available literature data of the gas phase composition, the discharge power (temperature) on the kinetics of diamond coating synthesis have been performed