Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покритий

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2012
• ISSN: 1999-8074
• Hauptverfasser: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кошевой, К.И., Опалев, О.А., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101867
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покритий / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 328-335. — Бібліогр.: 27 назв. — рос.

Приведены экспериментальные результаты исследования влияния величины тока разряда и состава газовой фазы с относительно низким содержанием аргона на кинетику процесса синтеза в плазме тлеющего разряда легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий. Показано, что, при введении азота в газовую...