Бажин, А., Троцан, А., Чертопалов, С., Стипаненко, А., & Ступак, В. (2012). Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Физическая инженерия поверхности.
Chicago Style (17th ed.) CitationБажин, А.И, А.Н Троцан, С.В Чертопалов, А.А Стипаненко, and В.А Ступак. "Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO." Физическая инженерия поверхности 2012.
MLA (8th ed.) CitationБажин, А.И, et al. "Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO." Физическая инженерия поверхности, 2012.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.