Buchumschlag

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO

Изучено влияние температуры подложки, состава рабочего газа и режимов DC и MF реактивного магнетронного распыления сплава 90%In + 10%Sn на структурное состояние, электрическое сопротивление, прозрачность и ширину запрещенной зоны пленок ITO, осажденных на стеклянные подложки. Установленная зависимос...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Бажин, А.И., Троцан, А.Н., Чертопалов, С.В., Стипаненко, А.А., Ступак, В.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101869
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO / А.И. Бажин, А.Н. Троцан, С.В. Чертопалов, А.А. Стипаненко, В.А. Ступак // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 342-349. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
von: Юрченко, Г.В.
Veröffentlicht: (2000)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
von: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Veröffentlicht: (2003)

Механизм начального этапа роста пленок Cr, полученных при помощи магнетронного распыления на постоянном токе
von: Перекрестов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
von: Чертопалов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок
von: Петухов, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
von: Мохненко, М.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Брус, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Khoverko, Yu. N.
Veröffentlicht: (2010)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
von: Першин, Ю.П., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
von: Шагинян, Л.Р., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
von: Василенко, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Двойникование в фуллеритовых пленках при ионном облучении аргоном
von: Бажин, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Механизм взаимодействия порошков ферромарганца и меди в процессе реакционного спекания
von: Баглюк, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
von: Севрюкова, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Термокинетическая модель и механизм реакционного взаимодействия, инициированного перитектическим плавлением
von: Солнцев, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
von: Агулов, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Костин, Е.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Kostin, E. G., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
von: Буранич, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Исследование реакционного очага взаимодействия кислородной струи с металлическим расплавом
von: Семыкин, С.И.
Veröffentlicht: (2006)

Исследование состава газа и углеродной связки в процессе физико-химического синтеза композиционных материалов
von: Полторацкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
von: Зыков, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами
von: Гончаров, А.А.
Veröffentlicht: (2011)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
von: Глебова, А.Н.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние состава сердечника порошковой проволоки и защитного газа на стабильность процесса дуговой сварки
von: Шлепаков, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Влияние дефектов на электронную структуру углеродных нанотрубок
von: Попов, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
von: Кириченко, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние различных технологических условий на процессы реакционного электроразрядного спекания композиции TiN—TiB2
von: Петухов, А.С.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние состава наплавленного металла на структуру и механические свойства восстановленных железнодорожных колес
von: Гайворонский, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀
von: Малеев, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Анализ и кинетика процесса термоцентробежного распыления слитков из плавленых карбидов вольфрама
von: Литвиненко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

On Invariant Tori of Itô Stochastic Systems
von: Samoilenko, A. M., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Влияние состава и режимов термической обработки на структуру, метастабильность аустенита и свойства износостойких чугунов
von: Чейлях, Я.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Влияние различных видов бора на процессы синтеза композиции TiN—TiB₂ методом реакционного электроразрядного спекания
von: Петухов, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
von: Порада, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
von: Aslan, Aslan, et al.
Veröffentlicht: (2015)