Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr
В роботі представлені результати експериментальних досліджень кристалічної структури та дифузійних процесів в магнітних плівках Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/Co/П. Показано, що для всіх отриманих зразків у невідпаленому стані спостерігаються фази ГЩП-Со, ГЦК-Cu, ОЦК-Cr. Відпал цих плівок за температури...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2012
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101877 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr / В.М. Коломієць, В.Б. Лобода, Ю.О. Шкурдода, Л.В. Дехтярук // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 397-402. — Бібліогр.: 15 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859867009170276352 |
|---|---|
| author | Коломієць, В.М. Лобода, В.Б. Шкурдода, Ю.О. Дехтярук, Л.В. |
| author_facet | Коломієць, В.М. Лобода, В.Б. Шкурдода, Ю.О. Дехтярук, Л.В. |
| citation_txt | Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr / В.М. Коломієць, В.Б. Лобода, Ю.О. Шкурдода, Л.В. Дехтярук // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 397-402. — Бібліогр.: 15 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | В роботі представлені результати експериментальних досліджень кристалічної структури та дифузійних процесів в магнітних плівках Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/Co/П. Показано, що для всіх отриманих зразків у невідпаленому стані спостерігаються фази ГЩП-Со, ГЦК-Cu, ОЦК-Cr. Відпал цих плівок за температури 700 К призводить до появи фази ГЦК-Со. Всі досліджувані зразки, як свіжо сконденсовані так і відпалені за температури 700 К зберігають індивідуальність шарів.
В работе представлены результаты экспериментальных исследований кристаллической структуры и диффузионных процессов в магнитных пленках Co/Cu/Co/Cr/П и Co/Cu/Cr/Co/П. Показано, что для всех полученных образцов в неотожженом состоянии наблюдаются фазы ГПУ-Со, ГЦК-Cu, ОЦК-Cr. Отжиг этих пленок при температуре 700 К приводит к появлению фазы ГЦК-Со. Все исследуемые образцы, как неотожженные так и отожженные при температуре 700 К сохраняют индивидуальность слоев.
The paper presents results of experimental studies of crystal structure and diffusion processes in magnetic films Co/Cu/Co/Cr/S and Co/Cu/Cr/Co/S. It is shown that for all of the samples are observed in the unannealed state phase of HCP Co, FCC-Cu, the BCC-Cr. Annealing these films at a temperature of 700 K leads to a phase of FCC-Co. All of the samples as fresh condensed and annealed at 700 K retain their individual layers.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:48:52Z |
| format | Article |
| fulltext |
397
ВСТУП
Питання про взаємну дифузію атомів та кри-
сталічну структуру в плівкових системах по-
стійно знаходиться в полі зору дослідників [1],
оскільки наявність домішок на поверхні та в
об’ємі шарів тонких провідників призводить
до зміни їх транспортних характеристик. Зо-
крема, наявність домішок у об’ємі феромагніт-
них шарів та на інтерфейсах у багатошарових
магнітних структурах суттєво впливає на амп-
літуду ефекту гігантського магнітоопору [2].
Однією із проблем нанокристалічного мате-
ріалознавства є нестабільність плівкових сис-
тем у зв’язку із можливістю протікання рекри-
сталізаційних процесів навіть за кімнатної
температури. Крім цього, інтенсивні процеси
взаємної дифузії атомів можуть обумовити не
тільки розмиття меж поділу окремих шарів (ін-
терфейсів), але і спричинити фазоутворення
у всьому об’ємі плівкової системи.
Внаслідок високої дисперсності кристалітів
і малої товщини окремих шарів дифузія в плів-
ках проходить більш інтенсивно порівняно з
масивними зразками і може відігравати як по-
зитивну, так і негативну роль у стабільній ро-
боті елементів на їх основі. Так, швидке масо-
перенесення по межах зерен і дислокаціях
може бути однією з важливих причин відмов
при роботі мікроелектронних приладів. Все це
стимулює активні теоретичні і експеримен-
тальні дослідження процесів взаємної дифузії
атомів у дво- та багатошарових плівкових
структурах.
УДК 539.216:544.003.26
СТРУКТУРНО-ФАЗОВИЙ СТАН ТА ДИФУЗІЙНІ ПРОЦЕСИ В ПЛІВКОВИХ
СИСТЕМАХ НА ОСНОВІ Co, Cu ТА Cr
В.М. Коломієць1, В.Б. Лобода1, Ю.О. Шкурдода1, Л.В. Дехтярук2
1Сумський державний педагогічний університет ім. А.С. Макаренка,
Україна
2Харківський національний університет будівництва та архітектури
Україна
Поступила в редакцию 10.10.2012
В роботі представлені результати експериментальних досліджень кристалічної структури та
дифузійних процесів в магнітних плівках Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/Co/П. Показано, що для
всіх отриманих зразків у невідпаленому стані спостерігаються фази ГЩП-Со, ГЦК-Cu,
ОЦК-Cr. Відпал цих плівок за температури 700 К призводить до появи фази ГЦК-Со. Всі
досліджувані зразки, як свіжо сконденсовані так і відпалені за температури 700 К зберігають
індивідуальність шарів.
Ключові слова: структурно-фазовий стан, конденсаційно-стимульована дифузія, кристалічна
структура, термостабілізація.
В работе представлены результаты экспериментальных исследований кристаллической струк-
туры и диффузионных процессов в магнитных пленках Co/Cu/Co/Cr/П и Co/Cu/Cr/Co/П. Пока-
зано, что для всех полученных образцов в неотожженом состоянии наблюдаются фазы
ГПУ-Со, ГЦК-Cu, ОЦК-Cr. Отжиг этих пленок при температуре 700 К приводит к появлению
фазы ГЦК-Со. Все исследуемые образцы, как неотожженные так и отожженные при
температуре 700 К сохраняют индивидуальность слоев.
Ключевые слова: структурно-фазовое состояние, конденсационно-стимулированная диффузия,
кристаллическая структура, термостабилизация.
The paper presents results of experimental studies of crystal structure and diffusion processes in
magnetic films Co/Cu/Co/Cr/S and Co/Cu/Cr/Co/S. It is shown that for all of the samples are observed
in the unannealed state phase of HCP Co, FCC-Cu, the BCC-Cr. Annealing these films at a temperature
of 700 K leads to a phase of FCC-Co. All of the samples as fresh condensed and annealed at 700 K
retain their individual layers.
Keywords: structural-phase state, condensation-stimulated diffusion, crystal structure, heat setting.
В.М. Коломієць, В.Б. Лобода, Ю.О. Шкурдода, Л.В. Дехтярук, 2012
ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4398
Тому метою даної роботи було експеримен-
тальне дослідження структурно-фазового ста-
ну та дифузійних процесів у невідпалених та
відпалених за температури 700 К плівкових
зразках Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/Co/П.
МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ
Багатошарові плівкові системи з товщиною
шарів окремих металів (1 – 50) нм отримували
у вакуумній камері установки ВУП-5 за тиску
газів залишкової атмосфери 10–4 Па [3]. По-
чергова конденсація плівок здійснювалася в
результаті випаровування металів чистотою
не менше 99,98% з незалежних джерел (Сu,
Cr – з вольфрамової стрічки, Co – з електрон-
но-променевої гармати). Конденсація плівок
проводилася за кімнатної температури під-
кладки зі швидкістю ω = (0,5 – 1) нм/с залежно
від режимів випаровування. Для структурно-
фазових досліджень як підкладки використо-
вувалися монокристали NaCl (KBr) та вуг-
лецеві плівки, для дослідження дифузійних
процесів ситалові підкладки.
Структурно-фазові дослідження зразків
проводилися за допомогою просвічуючого
електронного мікроскопа ПЕМ-125 та елект-
ронографа. Дифузійні процеси досліджувалися
за допомогою вторинно-іонної мас-спектро-
метрії (мас-спектрометр МС 7201 М)
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНІ РЕЗУЛЬТАТИ
Проведені електронно-мікроскопічні та диф-
ракційні дослідження вказують на те, що не-
відпалені плівки Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/
Co/П мають дрібнодисперсну структуру (роз-
мір зерен не перевищує 10 нм) (рис. 1а,
рис. 2а). На електронограмах від цих зразків
спостерігаються широкі кільця, що належать
фазам Cu(ГЦК), Cr(ОЦК), α-Co(ГЩП) та можливо фазі
β-Co(ГЦК) (рис. 1б, рис. 2б). Лінії, що належать
фазам ГЦК-Cu і ГЦК-Cо для невідпалених
плівок, електронографічно не розділяються.
Тому впевнено стверджувати, що лінії на елек-
тронограмі належать саме ГЦК-фазі кобальту
не можна, оскільки їх можна віднести і до
ГЦК-Cu. Неоднозначність інтерпретації обу-
мовлена тим, що dhkl для Со і dhkl для Сu до-
сить близькі (d220Cu = 1,271, d220βCo = 1,253,
d311Cu = 1,083, d311Co = 1,066). Слід зазначити,
що автори [4] пов’язують утворення дифрак-
ційних ліній для невідпалених плівок, що від-
повідають фазі β-Co, з дефектами пакування
α-Co, оскільки між двома фазами кобальту
існує кристалографічна відповідність (111)
ГЦК||(100) ГЩП (згідно [5]).
Параметри решіток для ГЩП-Со (а = 0,251
– 0,252 нм, с = 0,410 – 0,412 нм), ГЦК Cu
(а = 0,358 – 0,361 нм) і ОЦК-Сr (а = 0,287 –
а)
б)
в)
г)
Рис. 1. Кристалічна структура та електронограми не-
відпаленої (а, б) і відпаленої при 700 К (в, г) плівки
Co/Cu/Co/Cr/П (2dCo = 70 нм, dCu = 15 нм, dCr = 10 нм).
а)
б)
в)
г)
Рис. 2. Кристалічна структура та електронограми не-
відпаленої (а, б) і відпаленої при 700 К (в, г) плівки
Co/Cu/Cr/Co/П (2dCo = 50 нм, dCu = 15 нм, dCr = 10 нм).
СТРУКТУРНО-ФАЗОВИЙ СТАН ТА ДИФУЗІЙНІ ПРОЦЕСИ В ПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ НА ОСНОВІ Co, Cu ТА Cr
399
0,288) добре узгоджуються з відповідними
параметрами для масивного кобальту, міді та
хрому (а0αCo = 0,2514 нм, c0αCo = 0,4105 нм,
а0Cu = 0,3615 нм, а0Cr = 0,2884 нм) [6].
Після відпалювання при температурі 700 К
у плівках Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/Co/П
присутні фази α-Co, β-Co та Cu(ГЦК) і Cr(ОЦК), а
ширина дифракційних кілець істотно змен-
шується. На електронограмах спостерігається
“розщеплення” ліній (220) і (311), що належать
ГЦК-Cu і ГЦК-Со (рис. 1г, рис. 2г). У випадку
ліній (111) і (200) таке “розщеплення” не спо-
стерігається через недостатню роздільну здат-
ність електронографа. Подібну картину спо-
стерігали й автори роботи [7].
Параметри кристалічних решіток для ГЩП-
Со, ГЦК-Со, ГЦК-Cu й ОЦК-Сr для відпале-
них плівок також добре узгоджуються з відпо-
відними параметрами для кристалічних реші-
ток масивного кобальту, міді та хрому. Двофаз-
ний склад Со для плівок Co/Cu/Co/П, відпале-
них за Твідп = 620 К, спостерігали автори [8],
однак автори [9] у плівках сплавів Со-Cu
фіксували тільки ГЩП кобальт.
У роботах [10, 11] після відпалювання за
Т і 600 К фіксували утворення метастабіль-
ного ГЦК твердого розчину (Со-Cu) з вели-
чиною параметра решітки в межах від
а = 0,355 нм до а = 0,362 нм. Твердий розчин
Со-Cu частково розпадається при охолоджен-
нні до 300 К з виділенням частинок ГЩП-Со.
У нашому випадку твердий розчин елект-
ронографічно не фіксувався, можливо, у зв’яз-
ку з відносно великою товщиною шарів Со
(2dCо = 50 – 80 нм) та малістю товщини про-
шарку міді (dCu = 2 – 20 нм).
Слід відмітити, що на електронограмах від
плівкових зразків з ефективною товщиною мі-
ді dCu < 2 нм лінії, які належать ГЦК-Cu, взагалі
не фіксуються.
Середній розмір зерен у відпалених плівках,
порівняно з невідпаленими, збільшується при-
близно в 10 разів. На знімках мікроструктури
(рис. 1, рис. 2) відпалених плівок сірий колір
відповідає гексагональному кобальту, а темно-
сірий - кубічному.
Результати пошарового аналізу цих систем
(рис. 3а, рис. 4а) показали, що невідпалені
зразки незалежно від товщини шарів Co, Cu
та Cr мають незначну область взаємної ди-
фузії. Згідно діаграми стану (якщо допустити,
що плівки Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/Co/П
мають ті ж самі діаграми стану, що й масивні
зразки [12]), ці плівкові системи повинні ха-
рактеризуватися обмеженою розчинністю
компонентів. Авторами роботи [13] показано,
що розмір областей взаємної дифузії залежить
від температури підкладки при конденсації: вони
є мінімальними для систем, які формувались на
холодних підкладках (температура яких не
перевищувала 317 К). Хоча слід відмітити, що
взаємопроникнення атомів Co та Cr більш
значне, ніж Co та Cu. У даному випадку атоми
Cr фіксуються майже у всьому нижньому шарі
Co.
Причин існування дифузійної області в сві-
жосконденсованих зразках може були декілька.
По-перше, це наявність великого градієнту кон-
центрацій біля межі поділу шарів [14]. На користь
цього механізму говорить той факт, що дифузія
атомів відбувається як у нижній, так і у верхній
шари. По-друге, це більша шорсткість поверхні
для зразків у невідпаленому стані порівняно з
а)
б)
Рис. 3. Дифузійні профілі для плівок Со (30 нм)/Cu
(25 нм)/Co(30 нм)/Cr(25 нм)/П (♦ – Co, • – Cu, • – Cr)
в невідпаленому (а) та відпаленому стані за темпе-
ратури 700 К (б).
В.М. КОЛОМІЄЦЬ, В.Б. ЛОБОДА, Ю.О. ШКУРДОДА, Л.В. ДЕХТЯРУК
ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4
ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4400
відпаленим. По-третє, це те, що свіжосконден-
совані зразки мають більшу концентрацію де-
фектів кристалічної будови і більшу дисперсність
кристалітів. За рахунок більшої густини меж зе-
рен при наявності градієнта концентрацій за кім-
натної температури відбувається певне масопе-
ренесення переважно по межах кристалітів.
Четверта причина існування дифузійної об-
ласті обумовлена самою методикою досліджен-
ня дифузійних процесів. Оскільки пошаровий
елементний аналіз відбувається в результаті бом-
бардування зразків пучком прискорених іонів
(Е = 4 – 6 кеВ) аргону, то одними з наслідків
взаємодії високоенергетичних іонів з твердим
тілом є нагрівання поверхні та іонно-стимульо-
ване масоперенесення (переважно атомів верх-
нього шару у нижній) [15]. П’ята причина обу-
мовлена конденсаційно-стимульованою дифу-
зією.
Оскільки Co в Cu (і навпаки) практично не
розчиняються при відпалюванні за темпера-
тури Твідп = 700 К, то термообробка зразків
Со/Cu/Co/Cr/П та Со/Cu/Cr/Co/П з товщиною
шарів dСо = 20 – 50 нм dCr = 2 – 20 нм та
dCu = 2 – 25 нм за цієї температури призводить
лише до незначного подальшого взаємопро-
никнення атомів Со та Cu (рис. 3б, рис. 4б).
Дифузія атомів Cr в процесі відпалювання від-
буватиметься значно інтенсивніше. Для плівок
Со/Cu/Co/Cr/П атоми Cr досягають не лише
інтерфейсів Co/Cu, а й проникають безпосе-
редньо у верхній шар Со.
Слід відмітити, що однією з особливостей
цих систем є їх здатність до утворення високо-
дисперсних магнітних утворень (гранул) Со
в немагнітній матриці Cu. Тому можливо, що
у відпалених плівках у немагнітному прошар-
ку реалізується гранульований стан. Але мож-
на точно стверджувати, що в цій системі за
достатньо товстого прошарку (dCu > 10 нм) ін-
дивідуальність шарів значною мірою зберіга-
ється після термообробки.
Якщо ж розташовувати додатковий шар Cr
на межі поділу Co/Cu, то для невідпалених
плівок Co/Cu/Cr/Co/П спостерігається зовсім
незначна взаємодія атомів Со і Cr. Після від-
палювання цих зразків за температури 700 К
спостерігається проникнення атомів Cr через
прошарок Cu та подальша взаємодифузія ато-
мів Со та Cr в нижньому шарі Со.
ВИСНОВКИ
Проведені дослідження структурно-фазового
стану та дифузійних процесів для невідпале-
них та відпалених за температури 700 К
плівкових систем Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/
Co/П показали, що:
а) у невідпаленому стані всі досліджувані
зразки мають фази ГЩП-Со, ГЦК-Cu, ОЦК-
Cr. Після відпалювання за температури 700 К
з’являється фаза ГЦК Со.
б) для всіх свіжосконденсованих плівкових
зразків, незалежно від товщини шарів Co, Cu
та Cr, існує незначна область взаємної дифузії
обумовлена в основному конденсаційно-сти-
мульованою дифузією;
в) термообробка зразків Со/Cu/Co/Cr/П з
товщиною шарів dСо= 20 – 50 нм dCr= 2 – 20 нм
та dCu = 2 – 25 нм за температури 700 К при-
зводить лише до незначного подальшого вза-
ємопроникнення атомів Со та Cu. При цьому
атоми Cr досягають не лише інтерфейсів
Co/Cu, а й проникають у верхній шар Со.
г) для невідпалених зразків Со/Cu/Cr/Co/П
спостерігається незначна взаємодія атомів Со
а)
б)
Рис. 4. Дифузійні профілі для плівок Со(30 нм)/Cu
(25 нм)/Cr(20 нм)/Co(30 нм)/П (♦ – Co, • – Cu, • – Cr)
в невідпаленому (а) та відпаленому стані за темпера-
тури 700 К (б).
СТРУКТУРНО-ФАЗОВИЙ СТАН ТА ДИФУЗІЙНІ ПРОЦЕСИ В ПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ НА ОСНОВІ Co, Cu ТА Cr
401
і Cr. Після відпалювання даних систем за
температури 700 К спостерігається проник-
нення атомів Cr через прошарок Cu та по-
дальша взаємодифузія атомів Со та Cr в ниж-
ньому шарі Со.
ЛІТЕРАТУРА
1. Бібик В.В., Гричановська Т.М., Марша-
лек М. та ін. Дифузійні процеси в нанокрис-
талічних двошарових плівкових системах на
основі металів//Металлофиз. новейшие тех-
нол. – 2006. – Т.28, № 6. – С. 707 715.
2. Dieny B. Giant magnetoresistance in spin-valve
multilayers//J. Magn. and Magn. Mater. –
1994. – Vol. 136, No. 3. – P. 355-359.
3. Loboda V. B., Shkurdoda Yu.A., Kravchen-
ko V.A. //Functional materials. – 2007. – Т. 14,
№ 1 – С. 37-41.
4. Маршалек М., Проценко С.И., Чорноус А.Н.
Структурно-фазовое состояние двухслойных
пленок Co/Cu и Co/Cr//Тонкие пленки в оптике
и электронике. – 2003. – С. 205-208.
5. Горбачева Т.Б. Рентгенография твердых спла-
вов. – М.: Металлургия, 1985. – 102 с.
6. Самсонов В.Г. Физико-химические свойства
элементов: Справочник. – К.: Наукова думка,
1965. – 870 с.
7. Тонкие пленки в оптике и электронике. Ч. 2.
– Харьков: ННЦ ХФТИ, 2002. – 266 с.
8. Чеботкевич Л.А., Воробьев Ю.Д., Бурко-
ва И.Н., Корнилов А.В. Структура и магнит-
ные свойства отожженных пленок Co/Cu/Co
//ФММ – 2000. – Т. 89, № 3. – С. 56-61.
9. Васьковский В.О., Щеголева Н.Н., Лепаловс-
кий В.Н. и др. Структурно-обусловленные
особенности свойств гранулированных сред
Co-Cu//Известия ВУЗов. Физика. – 2002. –
Т. 45, № 12. – С. 35-42.
10. Касютич О.И., Федосюк В.М, Точицкий Т.А.
Структура наноразмерных систем Co/Cu и
механизм его формирования//Поверхность. –
2002. – № 3. – С. 34-41.
11. Леванов Н.А., Бажанов Д.И., Степанюк В.С.
и др. Энергетические характеристики струк-
турной стабильности адатомов и ультрама-
лых кластеров Со на поверхности Cu(001)//
Поверхность. – 2000. – № 9. – С. 69-72.
12. Лякишев Н.П. Диаграммы состояния двойных
металлических систем: Справочник: В 3 т.;
Т. 2. – М.: Машиностроение, 1997. – 1024 с.
13. Белоус М.В., Волошко СМ., Красюк А.Д. и
др. Низкотемпературная взаимная диффузия в
тонкопленочной системе Cu-Ni//Металл-
офизика. – 1986. – Т 8, №5. – С. 54-60.
14. Исаков М.Г., Карпельев В.А. Аномальный
массоперенос в окрестностях границы раз-
дела двух металлических сред//ФТТ. – 2001.
– Т. 43, № 3. – С. 563-568.
15. Черепин В.Т. Ионный микрозондовый анализ.
– К.: Наукова думка, 1992. – 344 с.
LІTERATURA
1. Bіbik V.V., Grichanovs’ka T.M., Marshalek M.
ta іn. Difuzіjnі procesi v nanokristalіchnih dvo-
sharovih plіvkovih sistemah na osnovі metalіv//
Metallofiz. novejshie tehnol. – 2006. – T. 28,
№ 6. – S. 707-715.
2. Dieny B. Giant magnetoresistance in spin-valve
multilayers//J. Magn. and Magn. Mater. – 1994.
– Vol. 136, No. 3. – P. 355-359.
3. Loboda V. B., Shkurdoda Yu.A., Kravchen-
ko V.A.//Functional materials. – 2007. – T 14,
№ 1. – S. 37-41.
4. Marshalek M., Procenko S.I., Chornous A.N.
Strukturno-fazovoe sostoyanie dvuhslojnyh plenok
Co/Cu i Co/Cr//Tonkie plenki v optike i elekt-
ronike. – 2003 . – S. 205-208.
5. Gorbacheva T.B. Rentgenografiya tverdyh spla-
vov. – M.: Metallurgiya, 1985. – 102 s.
6. Samsonov V.G. Fiziko-himicheskie svojstva
elementov: Spravochnik. – K.: Naukova dumka,
1965. – 870 s.
7. Tonkie plenki v optike i elektronike. Ch. 2. –
Harkov: NNC HFTI, 2002. – 266 s.
8. Chebotkevich L.A., Vorobev Yu.D., Burko-
va I.N., Kornilov A.V. Struktura i magnitnye svoj-
stva otozhzhennyh plenok Co/Cu/Co//FMM. –
2000. – T. 89, № 3. – S. 56-61.
9. Vaskovskij V.O., Schegoleva N.N., Lepalov-
skij V.N. i dr. Strukturno-obuslovlennye osoben-
nosti svojstv granulirovannyh sred Co-Cu//Iz-
vestiya VUZov. Fizika. – 2002. – T. 45, № 12. –
S. 35-42.
10. Kasyutich O.I., Fedosyuk V.M, Tochickij T.A.
Struktura nanorazmernyh sistem Co/Cu i meha-
nizm ego formirovaniya//Poverhnost. – 2002. –
№ 3. – S. 34-41.
11. Levanov N.A., Bazhanov D.I., Stepanyuk V.S. i
dr. Energeticheskie harakteristiki strukturnoj
stabilnosti adatomov i ultramalyh klasterov So na
poverhnosti Cu(001)//Poverhnost’. – 2000. –
№ 9. – S. 69-72.
12. Lyakishev N.P. Diagrammy sostoyaniya dvojnyh
metallicheskih sistem: Spravochnik: v 3 t.; T. 2.
– M.: Mashinostroenie, 1997. – 1024 s.
В.М. КОЛОМІЄЦЬ, В.Б. ЛОБОДА, Ю.О. ШКУРДОДА, Л.В. ДЕХТЯРУК
ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4
ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4402
13. Belous M.V., Voloshko SM., Krasyuk A.D. i dr.
Nizkotemperaturnaya vzaimnaya diffuziya v
tonkoplenochnoj sisteme Cu-Ni//Metallofizika. –
1986. – T. 8, № 5. – S. 54-60.
14. Isakov M.G., Karpelev V.A. Anomalnyj mas-
soperenos v okrestnostyah granicy razdela dvuh
metallicheskih sred//FTT. – 2001. – T. 43, № 3.
– S. 563-568.
15. Cherepin V.T. Ionnyj mikrozondovyj analiz. – K.:
Naukova dumka, 1992. – 344 s.
СТРУКТУРНО-ФАЗОВИЙ СТАН ТА ДИФУЗІЙНІ ПРОЦЕСИ В ПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ НА ОСНОВІ Co, Cu ТА Cr
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101877 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:48:52Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Коломієць, В.М. Лобода, В.Б. Шкурдода, Ю.О. Дехтярук, Л.В. 2016-06-08T16:50:47Z 2016-06-08T16:50:47Z 2012 Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr / В.М. Коломієць, В.Б. Лобода, Ю.О. Шкурдода, Л.В. Дехтярук // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 397-402. — Бібліогр.: 15 назв. — укр. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101877 539.216:544.003.26 В роботі представлені результати експериментальних досліджень кристалічної структури та дифузійних процесів в магнітних плівках Co/Cu/Co/Cr/П та Co/Cu/Cr/Co/П. Показано, що для всіх отриманих зразків у невідпаленому стані спостерігаються фази ГЩП-Со, ГЦК-Cu, ОЦК-Cr. Відпал цих плівок за температури 700 К призводить до появи фази ГЦК-Со. Всі досліджувані зразки, як свіжо сконденсовані так і відпалені за температури 700 К зберігають індивідуальність шарів. В работе представлены результаты экспериментальных исследований кристаллической структуры и диффузионных процессов в магнитных пленках Co/Cu/Co/Cr/П и Co/Cu/Cr/Co/П. Показано, что для всех полученных образцов в неотожженом состоянии наблюдаются фазы ГПУ-Со, ГЦК-Cu, ОЦК-Cr. Отжиг этих пленок при температуре 700 К приводит к появлению фазы ГЦК-Со. Все исследуемые образцы, как неотожженные так и отожженные при температуре 700 К сохраняют индивидуальность слоев. The paper presents results of experimental studies of crystal structure and diffusion processes in magnetic films Co/Cu/Co/Cr/S and Co/Cu/Cr/Co/S. It is shown that for all of the samples are observed in the unannealed state phase of HCP Co, FCC-Cu, the BCC-Cr. Annealing these films at a temperature of 700 K leads to a phase of FCC-Co. All of the samples as fresh condensed and annealed at 700 K retain their individual layers. uk Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr Article published earlier |
| spellingShingle | Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr Коломієць, В.М. Лобода, В.Б. Шкурдода, Ю.О. Дехтярук, Л.В. |
| title | Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr |
| title_full | Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr |
| title_fullStr | Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr |
| title_full_unstemmed | Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr |
| title_short | Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі Co, Cu та Cr |
| title_sort | структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових системах на основі co, cu та cr |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101877 |
| work_keys_str_mv | AT kolomíêcʹvm strukturnofazoviistantadifuzíiníprocesivplívkovihsistemahnaosnovícocutacr AT lobodavb strukturnofazoviistantadifuzíiníprocesivplívkovihsistemahnaosnovícocutacr AT škurdodaûo strukturnofazoviistantadifuzíiníprocesivplívkovihsistemahnaosnovícocutacr AT dehtâruklv strukturnofazoviistantadifuzíiníprocesivplívkovihsistemahnaosnovícocutacr |