Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках

В работе сделана попытка применить метод склерометрии к изучению толстослойных силицидных покрытий на молибдене. Метод позволяет качественно оценить относительную адгезию силицидных покрытий и уровень допустимых напряжений в нем. Анализ сигналов акустической эмиссии позволяет оценивать уровень дегра...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2012
Автори: Азаренков, Н.А., Литовченко, С.В., Береснев, В.М., Чишкала, В.А., Гравнова, Л.В., Огиенко, С.И.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101879
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Л.В. Гравнова, С.И. Огиенко // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 411-417. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859687025702076416
author Азаренков, Н.А.
Литовченко, С.В.
Береснев, В.М.
Чишкала, В.А.
Гравнова, Л.В.
Огиенко, С.И.
author_facet Азаренков, Н.А.
Литовченко, С.В.
Береснев, В.М.
Чишкала, В.А.
Гравнова, Л.В.
Огиенко, С.И.
citation_txt Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Л.В. Гравнова, С.И. Огиенко // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 411-417. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
description В работе сделана попытка применить метод склерометрии к изучению толстослойных силицидных покрытий на молибдене. Метод позволяет качественно оценить относительную адгезию силицидных покрытий и уровень допустимых напряжений в нем. Анализ сигналов акустической эмиссии позволяет оценивать уровень деградации силицидного покрытия и потери защитных функций. Установлено, что наилучшие механические характеристики имеет силицидное покрытие, полученное двухстадийной обработкой через низшие фазы. У роботі зроблено спробу застосувати метод склерометрії до вивчення товстошарових силіцидних покриттів на молібдені. Метод дозволяє якісно оцінити відносну адгезію силіцидних покриттів і рівень прийнятних напружень в ньому. Аналіз сигналів акустичної емісії дозволяє оцінювати рівень деградації силіцидних покриттів і втрати захисних функцій. Встановлено, що найкращі механічні характеристики має силіцидне покриття, що отримане шляхом двостадійної обробки через нижчі фази. In this paper we attempt to apply scratch-method to the study thick-film silicide coatings on molybdenum. The scratch-testing method provides a qualitative assess the relative adhesion of silicide coatings and the level of allowable stresses in coatings. Analysis of acoustic emission signals allows to evaluate the level of degradation of the silicide coatings and loss of protective functions. It is established that the best mechanical properties has silicide coating obtained through the lower two-stage processing phase.
first_indexed 2025-11-30T22:37:34Z
format Article
fulltext 411 ВВЕДЕНИЕ Эффективность работы многих устройств, например, высокотемпературного оборудо- вания, определяется правильным сопостав- лением с одной стороны – общего разрушаю- щего действия окружающей среды при эксп- луатации, а с другой стороны – функциональ- ного запаса работоспособности, закладывае- мого материалами, конструкцией и техноло- гией изготовления. Одними из важнейших свойств покры- тий, определяющих их работоспособность, является адгезия и адгезионная прочность. Применяемые в промышленности методы контроля прочности сцепления покрытий с подложками основаны на таких методиках как крацевание, изгиб, растяжение, нанесе- ние сетки царапин и т.д. [1]. Однако эти мето- ды не дают количественных значений вели- чины прочности сцепления. Количествен- ные показатели получают применением ме- тодов прямого отрыва пленки от подложки [2] либо их сдвига [3]. В большинстве случаев при изучении адгезии объектами исследова- ний являются тонкопленочные покрытия и системы. Достаточно распространенным методом изучения адгезионных свойств является метод царапания или склерометрии [4, 5]. Этот ме- тод является достаточно тонким физико-меха- ническим инструментом, и его применение обычно налагает весьма строгие ограничения на исследуемые материалы [6, 7]. В данной работе сделана попытка применить этот ме- тод к изучению толстослойных достаточно хрупких материалов – силицидных покрытий на молибдене. ЭКСПЕРИМЕНТ И ПОЛУЧЕННЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ Исследовались образцы композиций “молиб- ден-силицидное покрытие”, полученные диф- УДК 620.178.143:620.186 ОСОБЕННОСТИ РАЗРУШЕНИЯ СИЛИЦИДНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ДИНАМИЧЕСКИХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАГРУЗКАХ Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала Л.В. Гравнова, С.И. Огиенко1 Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина 1Харьковский лицей “Профессионал” Поступила в редакцию 15.11.2012 В работе сделана попытка применить метод склерометрии к изучению толстослойных сили- цидных покрытий на молибдене. Метод позволяет качественно оценить относительную адгезию силицидных покрытий и уровень допустимых напряжений в нем. Анализ сигналов акустической эмиссии позволяет оценивать уровень деградации силицидного покрытия и потери защитных функций. Установлено, что наилучшие механические характеристики имеет силицидное покры- тие, полученное двухстадийной обработкой через низшие фазы. Ключевые слова: молибден, покрытия, силициды, склерометрия, акустическая эмиссия, ад- гезия. У роботі зроблено спробу застосувати метод склерометрії до вивчення товстошарових силі- цидних покриттів на молібдені. Метод дозволяє якісно оцінити відносну адгезію силіцидних покриттів і рівень прийнятних напружень в ньому. Аналіз сигналів акустичної емісії дозволяє оцінювати рівень деградації силіцидних покриттів і втрати захисних функцій. Встановлено, що найкращі механічні характеристики має силіцидне покриття, що отримане шляхом двостадійної обробки через нижчі фази. Ключові слова: молібден, покриття, силіциди, склерометрія, акустична емісія, адгезія. In this paper we attempt to apply scratch-method to the study thick-film silicide coatings on molybdenum. The scratch-testing method provides a qualitative assess the relative adhesion of silicide coatings and the level of allowable stresses in coatings. Analysis of acoustic emission signals allows to evaluate the level of degradation of the silicide coatings and loss of protective functions. It is established that the best mechanical properties has silicide coating obtained through the lower two-stage processing phase. Keywords: molybdenum, coatings, silicides, scratch-method, acoustic emission, adhesion  Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Л.В. Гравнова, С.И. Огиенко, 2012 ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4412 фузионным насыщением молибдена крем- нием из порошковых сред активированным методом или вакуумным парофазным мето- дом, а также термическим испарением крем- ния с конденсацией на молибденовой под- ложке и вакуумным отжигом для образова- ния силицидов [8 – 10]. Для исследований готовили образцы с покрытиями толщиной 20 – 300 мкм. На всех стадиях технологиче- ской обработки образцов проводился конт- роль их структуры и фазового состава. Метал- лографические исследования микроструктуры (рис. 1 – 4) полученных разными методами силицидных покрытий проведены с приме- нением оптической (МИМ-8) и электронной (Quanta 200) микроскопии. Рис. 1. Поры в покрытии при активированном силици- ровании а) б) Рис. 2. MoSi2, получен вакуумным способом: Quanta 200 (а), МИМ-8 (б). а) б) Рис. 3. Слой кремния, осажденного на молибдене (а), и слой низшего силицида Mo5Si3. ОСОБЕННОСТИ РАЗРУШЕНИЯ СИЛИЦИДНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ДИНАМИЧЕСКИХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАГРУЗКАХ 413 На поверхности образцов, полученных ак- тивированным силицированием, зафиксиро- вано весьма заметное содержание алюминия (рис. 5). Это связано с использованием в ка- честве активатора его соли – трехфтористого алюминия AlF3. Применение других традици- онных галогенных активаторов (например, хлорида натрия или фторидов кальция и маг- ния) не изменяет ситуацию с примесями. Эти примеси оказывают негативное влияние на свойства силицидных покрытий, что сущест- венно ограничивает использование указан- ной технологии. В образцах, полученных вакуумным паро- фазным силицированием и отжигом твердо- фазного композита кремний-молибден, за- фиксированы кроме основных элементов и силицидов молибдена незначительные при- меси вольфрама и кислорода на поверхности. Адгезионные и прочностные характерис- тики покрытий изучали с использованием ме- то-а склерометрии на скретч-тестере CSM INSTRUMENTS “REVETEST”. Макро скретч-тестеры тестеры (Revetest RST и Revetest XPress) используются, как пра- вило, для исследования твердых покрытий с толщиной свыше 1 мкм, для получения меха- нических характеристик (адгезия, хрупкость, деформация, отслаивание, износостойкость, устойчивость и сопротивление к царапанию, коэффициент трения) путем испытания цара- паньем. Метод основан на контролируемом цара- пании индентором [11] выбранного участка образца (рис. 6), при этом вертикальная на- грузка и максимальная сила трения варьиру- ются от 0 до 200 Н при разрешении не хуже 3 мН и скорости нагружения до 10 Н/мин, максимальная длина царапания составляет 70 мм при скорости царапания от 0,4 до 600 мм/мин и максимальной глубине до 1 мм с разрешением по глубине ~1,5 нм. Для ви- зуализации царапин прибор совмещен с ви- а) б) Рис. 4. Микроструктура композита молибден-кремний (а) и слоя кремния (б). Рис. 5. Примеси в покрытии после активированного силицирования. Микрорентгеноспектральный анализ. Рис. 6. Схема метода склерометрии. Н.А. АЗАРЕНКОВ, С.В. ЛИТОВЧЕНКО, В.М. БЕРЕСНЕВ, В.А. ЧИШКАЛА, Л.В. ГРАВНОВА, С.И. ОГИЕНКО, ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4 ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4414 деомикроскопом, позволяющим проводить фотосъемку при увеличениях ×200 и ×800. В наших испытаниях алмазный наконеч- ник индентора перемещался по поверхности образца с возрастающей нагрузкой, при этом фиксировались параметры нагружения, сила трения, глубина проникновения индентора, а также сигналы акустической эмиссии. При определенной критической нагрузке покрытие начинало разрушаться. Уровень критической нагрузки с высокой точностью регистрировался акустическим сенсором, за- крепленным на нагружающем плече. При не- которых значениях нагрузки через встроен- ный оптический микроскоп фиксировались изображения микроструктуры поверхности. Проведенный с учетом относительности полученных от разных по составу и толщине покрытий данных анализ свидетельствует, что для исследованных образцов критическая нагрузка близка к 40 Н (что приблизительно соответствует напряжениям 20 кН/см2). При большей величине нагрузки происходил срыв покрытия. Для покрытий с большей изнача- льной дефектностью, а это покрытия, полу- ченные с большими скоростями насыщения (активированным способом, либо вакуумным способом при более высоких температурах), растрескивание покрытия активно происхо- дит даже при небольших нагрузках, сигналы акустической эмиссии это подтверждают (рис. 7). Повышенная дефектность таких покрытий подтверждается профилограммой (рис. 8) проникновения индентора, на которой име- ются провалы. Микрофотографии показы- вают постепенно растущее поперечное раст- рескивание покрытия (рис. 9). Анализ экспериментальных кривых позво- ляет оценить относительную адгезию покры- тий, определить опасные для него уровни на- пряжений. А Б В Рис. 7. Спектры акустической эмиссии от образцов с покрытиями: А – активированное, Б – парофазное, В – па- рофазное (в две стадии). А Б Рис. 8. Спектры при индентировании покрытий, полу- ченных вакуумным парофазным (А) и активирован- ным (Б) методами. ОСОБЕННОСТИ РАЗРУШЕНИЯ СИЛИЦИДНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ДИНАМИЧЕСКИХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАГРУЗКАХ 415 Анализ сигналов акустической эмиссии позволяет оценивать уровень деградации си- лицидного покрытия и потери защитных функций. Замечено, что повышение общей толщины силицидного покрытия приводит к существенному увеличению разброса полу- чаемых значений адгезии и прочности. Это может быть связано с повышенной дефект- ностью толстослойных покрытий, которая обусловлена структурными, термодинами- ческими и технологическими факторами. Кроме того, при формировании толстых си- лицидных слоев заметнее проявляются ин- дивидуальные особенности структурно-фазо- вого состояния каждого конкретного образца. Установлено, что наилучшие механичес- кие характеристики имеет силицидное по- крытие, полученное с максимально малыми скоростями диффузии и минимальными скач- ками концентрации кремния на границах фаз. С учетом технической целесообразности и экономических факторов технологического процесса оптимальным является покрытие, получаемое двухстадийной обработкой через низшие фазы. ВЫВОДЫ 1. Подтверждено существенное влияние спо- соба формирования силицидного покры- тия на примеси в нем. Наиболее опасным с точки зрения загрязнений является ак- тивированное силицирование. Лучшую однородность и качество имеют покры- тия, полученные вакуумным отжигом без активаторов. 2. Установлено, метод скретч-тестирования позволяет качественно оценить относи- тельную адгезию силицидных покрытий и уровень допустимых напряжений в нем. Анализ сигналов акустической эмиссии позволяет оценивать уровень деградации силицидного покрытия и потери защит- ных функций. 3. Более толстые покрытия характеризуются б\льшим разбросом адгезионно-проч- ностных показателей, что обусловлено а) б) в) г) Рис. 9. Развитие поперечных трещин в царапине (а,б), дефекты покрытия, фиксируемые профилограммой глубины проникновения индентора (в, г). Н.А. АЗАРЕНКОВ, С.В. ЛИТОВЧЕНКО, В.М. БЕРЕСНЕВ, В.А. ЧИШКАЛА, Л.В. ГРАВНОВА, С.И. ОГИЕНКО, ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4 ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4416 индивидуальными особенностями струк- турно-фазового состояния и повышенной дефектностью. Установлено, что наилуч- шие механические характеристики имеет силицидное покрытие, полученное двух- стадийной обработкой через низшие фазы. 4. Метод склерометрии применим для качес- твенного описания поведения силицид- ных покрытий при механических нагруз- ках. ЛИТЕРАТУРА 1. Покрытия металлические и неметаллические, неорганические. Методы контроля. ГОСТ 9.302-88. 2. Schmidbauer S., Hahn J., Richter F. Adhesion of metal coatings on ceramics deposited by different techniques//Surface and Coatings Technology. – 1993. – Vol. 59. – P. 325-329. 3. Sheng Zhu, W. Wlosinski. Joining of AlN ceramic to metals usings sputtered Al or Ti films//Journal of Materials Processing Technology. – 2001. – Vol. 109. – P. 277-282. 4. Марченко Ю.А., Перун Н.В., Воеводин В.Н., Ванжа А.Ф., Александров В.А. Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, на- несенных на стекло методом ионно-стиму- лированного осаждения//ВАНТ. Серия: Фи- зика радиационных повреждений и радиацион- ное материаловедени. – 2009. – № 4-2 (94). – С. 298-301. 5. Фукс-Рабинович Г.С., Моисеев В.Ф., Кацу- ра А.А. и др. Использование метода скле- рометрии для определения адгезионных свойств ионно-плазменных покрытий//За- водская лаборатория.–1990.– № 2.– С. 95-98. 6. Лунёв В.М., Немашкало О.В. Адгезионные характеристики покрытий и методы их изме- рения// ФИП. – 2010. – Т. 8, № 1. – С. 64-71. 7. Борисенко Ю.Н., С.В.Литовченко, Н.А. Аза- ренков. Газовыделение в тонкопленочных системах при ионном воздействии и его ис- пользование для расчета адгезионного меж- фазного взаимодействия//ВАНТ. Физика ра- диац. повреждений и радиац. материалове- дение. – 1999. – Вып. 1 (73), № 2 (74). – С. 178-183. 8. Литовченко С.В., Нечипоренко Е.П., Чишка- ла В.А. и др. Исследование особенностей фазообразования в системе кремний-молиб- ден//Вопросы атомной науки и техники. Сер. “Вакуум, чистые металлы, сверхпроводни- ки”. – 1998. – Вып. 6 (7), 7 (8). – С. 239-241. 9. Нечипоренко Е.П., Петриченко А.П., Павлен- ко Ю.Б. и др. Получение комбинированных силицидных покрытий на молибдене//Защит- ные покрытия на металлах. – 1989. – Вып. 23 – С. 54-57. 10. Литовченко С.В. Исследование структуры си- лицидных покрытий на молибдене//Вісник ХДУ. Серія фізична “Ядра, частинки, поля”. – 1998. – № 1301. – С. 222-224. 11. Ichimura H., Ishii Y. Effects of indenter radius on the critical load in scratch testing//Surf. And Coat. Techn. – 2003. – Vol. 165. – P. 1-7. LITERATURA 1. Pokrytiya metallicheskie i nemetallicheskie, neorganicheskie. Metody kontrolya. GOST 9.302-88. 2. Schmidbauer S., Hahn J., Richter F. Adhesion of metal coatings on ceramics deposited by different techniques//Surface and Coatings Technology. – 1993. – Vol. 59. – P. 325-329. 3. Sheng Zhu, W. Wlosinski. Joining of AlN ceramic to metals usings sputtered Al or Ti films//Journal of Materials Processing Technology. – 2001. – Vol. 109. – P. 277-282. 4. Marchenko Yu.A., Perun N.V., Voevodin V.N., Vanzha A.F., Aleksandrov V.A. Adgezionnye svojstva tonkih metallicheskih pokrytij, nanesen- nyh na steklo metodom ionno-stimulirovannogo osazhdeniya//VANT. Seriya: Fizika radiacionnyh povrezhdenij i radiacionnoe materialovedeni. – 2009. – № 4-2 (94). – S. 298-301. 5. Fuks-Rabinovich G.S., Moiseev V.F., Kacu- ra A.A. i dr. Ispolzovanie metoda sklerometrii dlya opredeleniya adgezionnyh svojstv ionno- plaz-mennyh pokrytij//Zavodskaya laboratoriya. – 1990. – № 2. – S. 95-98. 6. Lunev V.M., Nemashkalo O.V. Adgezionnye harakteristiki pokrytij i metody ih izmereniya//FIP. – 2010. – T. 8, № 1. – S. 64-71. 7. Borisenko Yu.N., Litovchenko S.V., Azaren- kov N.A. Gazovydelenie v tonkoplenochnyh sis- temah pri ionnom vozdejstvii i ego ispolzovanie dlya rascheta adgezionnogo mezhfaznogo vzaimo- dejstviya //VANT. Fizika radiac. povrezhdenij i radiac. materialovedenie. – 1999. – Vyp. 1 (73), 2 (74). – S. 178-183. 8. Lytovchenko S.V., Nechiporenko E.P., Chishka- la V.A. i dr. Issledovanie osobennostej fazoob- razovaniya v sisteme kremnij-molibden//Voprosy atomnoj nauki i tehniki. Ser. “Vakuum, chistye metally, sverhprovodniki”. – 1998. – Vyp. 6 (7), 7 (8). – S. 239-241. ОСОБЕННОСТИ РАЗРУШЕНИЯ СИЛИЦИДНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ДИНАМИЧЕСКИХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАГРУЗКАХ 417 9. Nechiporenko E.P., Petrichenko A.P., Pavlen- ko Yu.B. i dr. Poluchenie kombinirovannyh sili- cidnyh pokrytij na molibdene//Zaschitnye po- krytiya na metallah. –1989. – Vyp. 23.– S. 54-57. 10. Lytovchenko S.V. Issledovanie struktury silicid- nyh pokrytij na molibdene//Vіsnik HDU. Serіya fіzichna “Yadra, chastinki, polya”. – 1998. – № 1301. – S. 222-224. 11. Ichimura H., Ishii Y. Effects of indenter radius on the critical load in scratch testing//Surf. And Coat. Techn. – 2003. – Vol. 165. – P. 1-7. Н.А. АЗАРЕНКОВ, С.В. ЛИТОВЧЕНКО, В.М. БЕРЕСНЕВ, В.А. ЧИШКАЛА, Л.В. ГРАВНОВА, С.И. ОГИЕНКО, ФІП ФИП PSE, 2012, т. 10, № 4, vol. 10, No. 4
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-101879
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-11-30T22:37:34Z
publishDate 2012
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Азаренков, Н.А.
Литовченко, С.В.
Береснев, В.М.
Чишкала, В.А.
Гравнова, Л.В.
Огиенко, С.И.
2016-06-08T17:06:07Z
2016-06-08T17:06:07Z
2012
Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Л.В. Гравнова, С.И. Огиенко // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 411-417. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101879
620.178.143:620.186
В работе сделана попытка применить метод склерометрии к изучению толстослойных силицидных покрытий на молибдене. Метод позволяет качественно оценить относительную адгезию силицидных покрытий и уровень допустимых напряжений в нем. Анализ сигналов акустической эмиссии позволяет оценивать уровень деградации силицидного покрытия и потери защитных функций. Установлено, что наилучшие механические характеристики имеет силицидное покрытие, полученное двухстадийной обработкой через низшие фазы.
У роботі зроблено спробу застосувати метод склерометрії до вивчення товстошарових силіцидних покриттів на молібдені. Метод дозволяє якісно оцінити відносну адгезію силіцидних покриттів і рівень прийнятних напружень в ньому. Аналіз сигналів акустичної емісії дозволяє оцінювати рівень деградації силіцидних покриттів і втрати захисних функцій. Встановлено, що найкращі механічні характеристики має силіцидне покриття, що отримане шляхом двостадійної обробки через нижчі фази.
In this paper we attempt to apply scratch-method to the study thick-film silicide coatings on molybdenum. The scratch-testing method provides a qualitative assess the relative adhesion of silicide coatings and the level of allowable stresses in coatings. Analysis of acoustic emission signals allows to evaluate the level of degradation of the silicide coatings and loss of protective functions. It is established that the best mechanical properties has silicide coating obtained through the lower two-stage processing phase.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
Article
published earlier
spellingShingle Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
Азаренков, Н.А.
Литовченко, С.В.
Береснев, В.М.
Чишкала, В.А.
Гравнова, Л.В.
Огиенко, С.И.
title Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
title_full Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
title_fullStr Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
title_full_unstemmed Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
title_short Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
title_sort особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101879
work_keys_str_mv AT azarenkovna osobennostirazrušeniâsilicidnyhpokrytiipridinamičeskihmehaničeskihzagruzkah
AT litovčenkosv osobennostirazrušeniâsilicidnyhpokrytiipridinamičeskihmehaničeskihzagruzkah
AT beresnevvm osobennostirazrušeniâsilicidnyhpokrytiipridinamičeskihmehaničeskihzagruzkah
AT čiškalava osobennostirazrušeniâsilicidnyhpokrytiipridinamičeskihmehaničeskihzagruzkah
AT gravnovalv osobennostirazrušeniâsilicidnyhpokrytiipridinamičeskihmehaničeskihzagruzkah
AT ogienkosi osobennostirazrušeniâsilicidnyhpokrytiipridinamičeskihmehaničeskihzagruzkah