Влияние механизмов сегрегации на смещение границ раздела и стабильность сверхтвердых нанокомпозитов Zr-Ti-Si-N.

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2009
• Hauptverfasser: Погребняк, А.Д., Соболь, О.В., Береснев, В.М., Турбин, П.В., Толмачева, Г.Н., Махмудов, Н.А., Шипиленко, А.П., Каверин, М.В., Пшик, А.В., Фурсова, Е.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101955
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние механизмов сегрегации на смещение границ раздела и стабильность сверхтвердых нанокомпозитов Zr-Ti-Si-N. / А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, В.М. Береснев, П.В. Турбин, Г.Н. Толмачева, Н.А. Махмудов, А.П. Шипиленко, М.В. Каверин, А.В. Пшик, Е.В. Фурсова // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 374-384. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Впервые с помощью вакуумно-дугового осаждения в ВЧ разряде были получены сверхтвердые наноструктурные покрытия с Н (твердостью) ≥ 55,3 ГПа. Проведен анализ влияния высокотемпературного отжига в вакууме 1180 °С и воздушной среде 800 °С на фазовый состав, структуру и напряженное состояние ионно-плазменных покрытий Zr-Ti-Si-N. Вперше за допомогою вакуумно-дугового осадження у ВЧ розряді були отримані надтверді наноструктурні покриття з Н (твердістю) ≥ 55,3 ГПа. Проведений аналіз впливу високотемпературного відпалювання у вакуумі 1180 °С і повітряному середовищі 800 °С на фазовий склад, структуру і напружений стан іонно-плазмових покриттів Zr-Ti-Si-N. The paper reports results of studies concerning structure, phase composition, and physical-mechanical properties of nanocomposite superhard coatings ZrN and Zr-Ti-Si-N with varying Ti and Si concentrations. The coatings were fabricated using vacuum-arc method, according to a standard scheme, under direct current, and with HF (High Frequency Discharge). Zr target sputtering in nitrogen atmosphere resulted in formation of zirconium nitride coatings. Zr-Ti-Si-N coating had high thermal stability of phase composition and remained structure state under thermal annealing temperatures reached 1180 °С in vacuum and 800 °С in air.